本实用新型涉及一种硫酸输送装置，具体涉及一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，属于蓝宝石衬底片加工技术领域。
背景技术：
蓝宝石衬底片在CMP抛光后需要经过酸洗工艺，酸洗工序采用硫酸和过氧化氢混合液清洗；由于硫酸密度为1.84g/cm3，相对于其它液体，其比重大，在输送中经常会出现由于上次传输中断后管道残留的气体和大比重液体造成的管道内过大压力使得这种大比重的液体难以继续传送；由于硫酸是危险化学品，手动拆卸管道来泄压有很大的风险；并且这种拆卸也会影响作业的连续性，影响生产效率。
技术实现要素：
解决的技术问题：针对现有技术存在的不足，本实用新型提供了一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，在现有硫酸输送装置的基础上通过引入泄压管道，确保传输的持续性、稳定性和安全性。
技术方案：本实用新型提供了一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，包括硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽，所述硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽通过管道依次顺序连接；其特征在于，所述泵与所述传输阀之间的管道上设有液位感应器，所述输送装置还包括泄压管道，所述泄压管道的一端与硫酸桶相连接，另一端连接于所述液位感应器与所述传输阀之间的管道上，所述泄压管道上设有泄压阀。
所述传输阀与所述酸洗槽之间的管道上设有液位感应器，所述输送装置还包括泄压管道，所述泄压管道的一端与硫酸桶相连接，另一端连接于所述液位感应器与所述酸洗槽之间的管道上，所述泄压管道上设有泄压阀。
所述泵为气动隔膜泵，型号为TREBOR MODEL 110。所述传输阀和泄压阀均为气动隔膜阀，型号为CKD AMD313R-15BUP-00N4F。所述液位感应器为光电式接近开关，型号为OMRON E2K-L26MC1。
有益效果：本实用新型硫酸输送装置设置了泄压管道、泄压阀及液位感应器，启动装置后泵开始工作，传输阀和泄压阀同时打开，调节管道内压力的平衡，当液位感应器感应到管道内的硫酸液体，关闭泄压阀，硫酸通过传输阀流畅的传输到酸洗槽内，避免了原先管道出现堵塞故障需要人为泄压产生的风险，保证了硫酸传输的持续性、稳定性和安全性，提高了生产效率。
附图说明
图1为实施例1硫酸输送装置的结构示意图；
图2为实施例2硫酸输送装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步说明，但本发明的保护范围并不因此局限于下述实施例，而是由本发明的说明书和权利要求书限定。
实施例1
如图1所示，一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，包括硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽，所述硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽通过管道依次顺序连接；所述泵与所述传输阀之间的管道上设有液位感应器，所述输送装置还包括泄压管道，所述泄压管道的一端与硫酸桶相连接，另一端连接于所述液位感应器与所述传输阀之间的管道上，所述泄压管道上设有泄压阀。
所述泵为气动隔膜泵，型号为TREBOR MODEL 110。所述传输阀和泄压阀均为气动隔膜阀，型号为CKD AMD313R-15BUP-00N4F。所述液位感应器为光电式接近开关，型号为OMRON E2K-L26MC1。
当传输时，启动装置，泵开始工作，传输阀和泄压阀同时打开，调节管道内压力的平衡，当液位感应器感应到管道内的硫酸液体，关闭泄压阀，硫酸通过传输阀传输到酸洗槽内，用于蓝宝石衬底片抛光后的酸洗。
实施例2
如图2所示，一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，包括硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽，所述硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽通过管道依次顺序连接；所述传输阀与所述酸洗槽之间的管道上设有液位感应器，所述输送装置还包括泄压管道，所述泄压管道的一端与硫酸桶相连接，另一端连接于所述液位感应器与所述酸洗槽之间的管道上，所述泄压管道上设有泄压阀。
所述泵为气动隔膜泵，型号为TREBOR MODEL 110。所述传输阀和泄压阀均为气动隔膜阀，型号为CKD AMD313R-15BUP-00N4F。所述液位感应器为光电式接近开关，型号为OMRON E2K-L26MC1。
当传输时，启动装置，泵开始工作，传输阀和泄压阀同时打开，调节管道内压力的平衡，当液位感应器感应到管道内的硫酸液体，关闭泄压阀，硫酸通过传输阀传输到酸洗槽内，用于蓝宝石衬底片抛光后的酸洗。