专利名称：一种多弧离子镀工件温度检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于温度检测技术，特别涉及一种多弧离子镀工件温度检测装置。
背景技术：
在多弧离子镀工艺中，能及时准确检测所镀工件的温度是非常重要的，因为温度过高，离子镀膜表面就会出现裂纹；温度过低，镀膜与基体结合力差，就会出现离子镀膜易剥落现象。所以随时检测离子镀工件温度是非常必要的。目前，在国内有采用红外探测方法检测工件温度，但是红外检测准确性较差，而且结构复杂成本高。为了解决现有国外引进多弧离子镀工艺中缺少工件实时测温的问题，本技术方案提供一种结构简单、检测准确，在工件既公转又自传的条件下，采用热电偶实时检测工件温度的测温装置。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有多弧离子镀工件检测温度存在的问题，提供一种结构简单、能实时检测、效率高、检测准确、成本低的多弧离子镀工件温度检测装置。
本实用新型包括真空室、公转台、自转台、热电偶、连杆、圆柱体、绝缘板、导电柱、弹簧、绝缘柱、方型钢管、屏蔽罩、补偿导线、屏蔽网、数码显示仪、记录仪、导电环，公转台固定在真空室内，工件设置在自转台上，自转台固定在公转台上，圆柱体固定在公转台的上面，连杆固定在圆柱体和自转台之间，热电偶固定在连杆上，热电偶的一端与工件固定连接，另一端与两个导电环相连接，两个导电环设置在绝缘板的上面，方型钢管的上端固定在真空室上盖的下面，绝缘柱固定在方型钢管的下端，绝缘柱的内孔里装有压缩弹簧，压缩弹簧的下端与导电柱连接固定，导电柱的下端与两个导电环接触，压缩弹簧的上端与补偿导线连接，补偿导线穿过方型钢管的内孔引到真空室的外侧，并与数码显示仪和记录仪串连，补偿导线的外面设置有屏蔽网，屏蔽罩设置在公转台的上面。
本实用新型具有结构简单、能实时检测、效率高、检测准确、成本低等优点，并提高了工件镀膜质量、节省气体和金属离子源。
图1是本实用新型的结构示意图；图2为图1的俯视结构示意图；图中1真空室、2公转台、3自转台、4工件、5热电偶、6连杆、7圆柱体、8绝缘板、9导电柱、10压缩弹簧、11绝缘柱、12方型钢管、13屏蔽罩、14记录仪、15数码显示仪、16屏蔽网、17补偿导线、18导电环。
具体实施方式
结合实例进一步说明本实用新型的结构方案和工作过程。
如图1、图2所示，一种多弧离子镀工件温度检测装置，包括真空室1、公转台2、自转台3、工件4、热电偶5、连杆6、圆柱体7、绝缘板8、导电柱9、弹簧10、绝缘柱11、方型钢管12、屏蔽罩13、记录仪14、数码显示仪15、屏蔽网16、补偿导线17、导电环18。公转台2固定在真空室1的里面，工件4设置在自转台3上，自转台3固定在公转台2的上面。圆柱体7固定在公转台2上面的中心位置。连杆6固定在圆柱体7和自转台3之间的公转台2上面，热电偶5固定在连杆6上。热电偶5的一端与工件4焊接固定在一起，另一端与两个导电环18相连接。两个导电环18设置在绝缘板8的上面。方型钢管12的上端固定在真空室1上盖的下面，绝缘柱11固定在方型钢管12的下端，压缩弹簧10装在绝缘柱11的孔内，压缩弹簧10的下端与导电柱9焊接连接固定，导电柱9的下端在压缩弹簧10的作用下与两个导电环18保持紧密的接触。压缩弹簧10的上端与补偿导线17焊接连接，补偿导线17穿过方型钢管12的内孔引到真空室1的外侧，并与数码显示仪15和记录仪14串连接，补偿导线17的外面设置有屏蔽网16，对电离产生的粒子起到屏蔽作用。屏蔽罩13设置在公转台的上面，并在圆柱体7、绝缘板8、两个导电环18、导电柱9、绝缘柱11和热电偶5、连杆6的外面，防止这些部件在镀膜时被镀上。
本实用新型的工作过程是真空室1内的公转台2公转，工件4在自转台3上自转。当多弧离子镀时，钛离子在负偏压的作用下加速飞向工件4，产生撞击发出光和热，这时工件4上的热电势通过热电偶5检测，并经过两个导电环18、导电柱9、弹簧10、补偿导线17传到数码显示仪15和记录仪14。由数码显示仪15实时显示检测温度的数值，记录仪14可以打印出温度数据曲线。在多弧离子镀时，不同温度工件4会产生不同的热电势，这样通过热电势实时检测和监控工件4上温度，来确保多弧离子镀的产品质量。
权利要求1.一种多弧离子镀工件温度检测装置，其特征是，包括真空室、公转台、自转台、热电偶、导电柱、弹簧、绝缘柱、方型钢管、屏蔽罩、补偿导线、屏蔽网、数码显示仪、记录仪、导电环，公转台固定在真空室内，工件设置在自转台上，自转台固定在公转台上，圆柱体固定在公转台的上面，连杆固定在圆柱体和自转台之间，热电偶固定在连杆上，热电偶的一端与工件固定连接，另一端与两个导电环相连接，两个导电环设置在绝缘板的上面，方型钢管的上端固定在真空室上盖的下面，绝缘柱固定在方型钢管的下端，绝缘柱的内孔里装有压缩弹簧，压缩弹簧的下端与导电柱连接固定，导电柱的下端与两个导电环接触，压缩弹簧的上端与补偿导线连接，补偿导线穿过方型钢管的内孔引到真空室的外侧，并与数码显示仪和记录仪串连，补偿导线的外面设置有屏蔽网，屏蔽罩设置在公转台的上面。
专利摘要一种多弧离子镀工件温度检测装置，公转台固定在真空室内，工件设置在自转台上，自转台固定在公转台的上面，热电偶的一端与工件焊接固定连接，另一端与两个导电环相连接，压缩弹簧的下端与导电柱连接固定，导电柱的下端与两个导电环接触，压缩弹簧的上端与补偿导线连接，补偿导线通过方型钢管的内孔引到真空室的外侧，并与数码显示仪和记录仪串连，在多弧离子镀时，不同温度工件会产生不同的热电势，这样通过热电势实时检测和监控工件上温度，确保多弧离子镀的产品质量，本实用新型具有结构简单、能实时检测、效率高、检测准确、成本低等优点，并提高了工件镀膜质量、节省气体和金属离子源。
文档编号G01K7/02GK2874447SQ200520146058
公开日2007年2月28日 申请日期2005年12月29日 优先权日2005年12月29日
发明者姚俊, 毕鉴智, 金光, 张罡, 赵辉 申请人:沈阳理工大学