专利名称：半导体测试仪的制作方法
技术领域：
本发明属于半导体生产测试技术领域，涉及SOC(系统级芯片)，NVM (非挥发性存储器件)的测试,特别涉及一种半导体测试仪。
背景技术：
在半导体产品开发过程中均涉及到使用测试平台的选用问题。针对 S0C(系统级芯片)，NVM (非挥发性存储器件)的测试，目前的测试仪有泰 瑞达的J750系列，惠瑞捷(原安捷伦)的93000系列，爱德万的T6/T5 系列等等。这些测试仪针对测试速度方面，基本要靠改变测试仪内部CPU 的运行速度来实现测试速度的提升。在进行产品的速度测试时，根据测试 仪CPU所能提供的速度，在程序中设定相应的Timing set (时序设置)来 进行针对产品的速度测试。如果测试仪所能提供的速度范围不能达到产品 的速度时，就不能使用测试仪进行测试了，只能购买一台能提供更高速度 的测试仪来进行速度测试。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种半导体测试仪，所述半导体测试 仪能便捷地进行速度测试。
为解决上述技术问题，本发明地半导体测试仪，包括主处理器、主控 模块、被测体接口，其特征在于，还包括时延单元，主控模块经过时延单 元把产生的被测体所需要的数据信号提供给被测体，或者主控模块通过时延单元读取被测体提供的数据信号，时延单元同地址信号配合控制读写被 测体数据信号的速度。
时延单元可以控制在地址信号到达被测体地址线上后的一定时间后 再发送数据信号到相应被测体数据口 。
时延单元可以控制在地址信号到达被测体地址线上后的一定时间后 主控模块通过时延单元读取被测体提供的数据信号。
本发明采用了简易的设计理念，在测试仪上增加了时延单元后，能更 为方便的进行产品的速度测试。当时延单元所能提供的速度不能满足产品 的速度测试时，只须换另外一块时延单元即可，不需改改变测试仪的其他 任何部件，照样可以实现产品的速度测试。不必象目前这样再购买一台新 的测试仪，节约了大量资金，避免浪费测试仪资源。
下面结合附图及具体实施方式
对本发明作进一步详细说明。 图1是本发明的半导体测试仪一实施方式示意图。
具体实施例方式
本发明的半导体测试仪一实施方式如图1所示，常见的测试仪包括主
处理器(MCU)、主控模块(I/O bus，Addr bus, control Gen)、缓冲器 (Buffer)、输入输出总线转换单元(I/OBUS invert )、地址总线转换单 元(Addr BUS invert)、供电单元(Power supply)、被测体接口 (DUT port)， 在常见的测试仪中增加一个时延单元(Delay unit),主处理器、主控模 块、缓冲器、输入输出总线转换单元、时延单元、被测体接口之间的通讯 是双向的。通过控制测试仪的时延单元来实现速度的测试。当时延单元所能提供 的速度不能满足产品的速度测试时，只须换另外一块时延单元即可，不需 改变测试仪的其他任何部件，照样可以实现产品的速度测试。对半导体进 行测试时，过程如下
测试设备上电后，整个系统处于待机状态，在被测体接口相应端口放
好被测体(DUT)，通过控制测试仪上的开始测试按钮开始测试，MCU运行 测试程序，首先MCU控制供电单元，设置好测试电压，接着通过控制主 控模块(I/O bus，Addr bus， control Gen)，产生数据总线信号、地址总 线信号及控制信号。其中产生的控制信号直接连接到被测体接口处，直接 控制被测体(DUT)，产生的地址总线信号经过地址总线转换单元(Addr BUS invert)通过地址总线把地址信号印加到被测体(DUT)的相应地址上。 主控模块产生的数据信号通过缓冲器(Buffer),经过输入输出总线转换 单元(I/C) BUS invert )再经过时延单元(Delay unit)把被测体(DUT) 所需要的数据信号提供给被测体(DUT)。
其中时延单元的作用为同地址信号配合控制读写被测体(DUT)数据 信号的速度，比如在测试flash时，在测试写操作速度时，会先送地址信 号到相应的芯片地址线上，这时的时间点定义为Tl;然后再送要写的数 据信号到芯片相应的数据口中，这是的时间点定义为T2;芯片的写入速 度定义为T (T=T2-Tl)。时延单元可控制在地址信号到相应的芯片地址 线上后的一定时间后再发送数据信号送到芯片数据口。读数据时也同写数 据相类似，时延单元可以控制在地址信号到达被测体地址线上后的一定时 间后主控模块通过时延单元读取被测芯片提供的数据信号。从以上原理可见，我们只要通过调整时延单元便可方便的测试出芯片
的读写速度。其他S0C， NVM的速度测试原理同此相同。
本发明采用了简易的设计理念，通过控制增加的测试仪的时延单元来 实现速度的测试，在测试仪上增加了时延单元后，能更为方便的进行产品 的速度测试。单时延单元所能提供的速度不能满足产品的速度测试时，只 须换另外一块时延单元即可，不需改改变测试仪的其他任何部件，照样可 以实现产品的速度测试。不必象目前这样再购买一台新的测试仪，节约了 大量资金，避免浪费测试仪资源。
权利要求
1、一种半导体测试仪，包括主处理器、主控模块、被测体接口，其特征在于，还包括时延单元，主控模块经过时延单元把产生的被测体所需要的数据信号提供给被测体，或者主控模块通过时延单元读取被测体提供的数据信号，时延单元同地址信号配合控制读写被测体数据信号的速度。
2、 根据权利要求1所述的半导体测试仪，其特征在于，时延单元控 制在地址信号到达被测体地址线上后的一定时间后再发送数据信号到相 应被测体数据口。
3、 根据权利要求1所述的半导体测试仪，其特征在于，时延单元控 制在地址信号到达被测体地址线上后的一定时间后主控模块通过时延单 元读取被测体提供的数据信号。
全文摘要
本发明公开了一种半导体测试仪，包括主处理器、主控模块、被测体接口，其特征在于，还包括时延单元，主控模块经过时延单元把产生的被测体所需要的数据信号提供给被测体，或者主控模块通过时延单元读取被测体提供的数据信号，时延单元同地址信号配合控制读写被测体数据信号的速度。本发明的半导体测试仪能便捷地进行速度测试。
文档编号G01R31/28GK101458302SQ200710094450
公开日2009年6月17日 申请日期2007年12月13日 优先权日2007年12月13日
发明者桑浚之, 谢晋春, 辛吉升 申请人:上海华虹Nec电子有限公司