太阳能硅片检查装置的制作方法

文档序号:5912088阅读:111来源:国知局
专利名称:太阳能硅片检查装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片,尤其涉及一种太阳能硅片检查装置。
背景技术
目前,在太阳能电池硅片的生产过程中,太阳能晶片洗净后要经过操作人员目检。 在目检过程中,操作人员需要将晶片进行规格检查,根据规格要求将不良挑出,确定无明显的物理缺陷后方可进入下一步的机械检测。目前检测不良硅片的装置为放大10倍的放大镜,由于硅片硬度较大,极易磨损放大镜片,使放大镜的使用寿命缩短,因此需要研制一种成本低且不易磨损的工具,用来对太阳能硅片进行检查。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种太阳能硅片检查装置,以方便对太阳能硅片进行各项检验。为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是太阳能硅片检查装置,包括透明的基板,所述基板的板面上设有亮点和亮线测量部,包括设于板面边缘的刻度线;所述板面上设有污染测量部,包括若干个根据尺寸大小依次排列的检验框;所述板面上设有杂质和黑点测量部,包括填充有颜色的条状区域,所述条状区域上设有未填充颜色的若干个根据直径大小依次排列的透明圆点,还包括设于所述板面上的若干个根据直径大小依次排列的有色圆点。作为一种改进,所述检验框包括一排根据尺寸大小依次排列的正方形检验框和一排根据尺寸大小依次排列的圆形检验框。作为一种改进,在所述杂质和黑点测量部中,所述有色圆点与所述透明圆点一一对应,相对应的有色圆点和透明圆点直径相同。作为一种改进,所述板面上设有黑线到硅片边缘距离测量部,包括若干个根据线宽大小依次排列的有色线条。作为一种改进,所述有色线条设于所述有色圆点的一侧且与所述有色圆点一一对应,相对应的有色线条的线宽与有色圆点的直径相同。作为一种改进,所述板面上设有微晶数量测量部,包括固定面积的检验面。作为一种改进,所述检验面包括两个。作为一种改进,所述两个检验面的形状分别为长方形和正方形。作为一种改进,所述两个检验面的面积均为2cm2。由于采用了以上技术方案,本实用新型可以方便对太阳能硅片的质量进行检验, 检验方法简单易行,方便操作人员按照要求进行检片,与使用放大镜检片相比,操作方法简单,降低了检片过程中的破片率,节约成本,提高生产效率。

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以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。图1是本实用新型实施例的结构示意图;图中10-基板;11-刻度线;12-长方形检验框;13-圆形检验框;14-条状区域; 141-透明圆点;15-有色圆点;16-有色线条;17-正方形检验面;18-长方形检验面;19-标贴栏。
具体实施方式
如图1所示,太阳能硅片检查装置包括有透明材质作成的基板10,基板10上设有亮点和亮线测量部,包括位于基板10的边缘部设有刻度线11,亥Ij度线11用来测量太阳能硅片在生产过程中产生的亮点、亮线的长度或深度。基板10的板面上设有污染测量部,包括用来测量污染的大小检验框,太阳能硅片上的水渍的大小和污染块的形状不一,因此本实施例中,检验框的形状包括圆形和正方形两种,长方形检验框12和圆形的检验框13皆包括多个尺寸规格不同的检验框,如图1中所示,长方形检验框12包括边长为0. 5mm-10mm的共15个长方形,15个长方形根据尺寸大小依次排列成一排,圆形检验框13也包括直径为0. 5mm-10mm的15个圆,按照直径大小依次排列,在本实施例中,为节省空间,长方形检验框12从左向右尺寸逐渐减小排列成一排,圆形检验框13从左到右直径逐渐增大的排列成一排,长方形检验框12位于圆形检验框13的上方。检验时,例如,要求污染块的大小不超过2mm,选定边长或直径为2mm的检验框,将基板10覆盖在太阳能硅片上,若污染块的形状为长方形,挪动基板10将边长为2mm的检验框覆盖在污染块上,若污染块完全位于该检验框内,该太阳能硅片为合格品,反之,为不合格
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ΡΠ O本实施例中,基板10的板面上设有杂质和黑点的测量部,包括位于检验框下方且填充有颜色的条状区域14,条状区域14内设有若干个未填充颜色的透明圆点141,透明圆点141由左到右依次排列且直径逐渐增大,条状区域14的下方设有填充有黑色的有色圆点 15,有色圆点15与透明圆点141 一一对应,相对应的有色圆点15和透明圆点141的直径大小相同。基板10上位于有色圆点15下方的位置还设有黑线到硅片边缘距离的测量部,包括有色线条16,有色线条16与有色圆点15和透明圆点141 一一对应,且有色线条16的线宽大小与有色圆点15和透明圆点141的直径相同。有色圆点15和条状区域14上的透明圆点141用来检验太阳能硅片上的黑点或杂质,例如,产品要求太阳能硅片上的杂质会黑点的直径不得超过0. 5mm,选定直径为0. 5mm 的圆点进行比对,若黑点的边缘位于透明圆点内部,或黑点的边缘没有超出有色圆点的边界,则该太阳能硅片为合格品,反之,为不合格品。有色线条16用来测量黑线到硅片边缘的距离,在的生产过程中,太阳能硅片的边缘处产生一些黑线,产品要求黑线到边缘的距离不得超过某一数值,例如,产品要求黑线到边缘的距离不超过0. 5mm,选定线宽为0. 5mm的有色线条,若黑线不超出有色线条的宽度, 则为合格品,反之,为不合格品。由于太阳能硅片的表面会产生微晶,在生产过程中,要求每2cm2的面积内微晶的数量不超过某一数值,因此基板10上设有微晶数量测量部,包括固定面积的检验面,用于
4检测每2cm2的面积内微晶数量,检验面包括正方形检验面17和长方形18检验面两种,且面积相同,皆为2cm2,检验时,将基板10覆盖在太阳能硅片上,观察太阳能硅片落在检验面内的微晶的数量,若微晶数量小于规定值,则为合格品,反之为不合格品。检验装置的角部设有标贴栏19,方便用户进行仪器分类存档。由于采用了以上技术方案,本实用新型可以方便对太阳能硅片的质量进行检验, 检验方法简单易行,方便操作人员按照要求进行检片,与使用放大镜检片相比,操作方法简单,降低了检片过程中的破片率,节约成本,提高生产效率。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.太阳能硅片检查装置,包括透明的基板,其特征在于所述基板的板面上设有亮点和亮线测量部,包括设于板面边缘的刻度线;所述板面上设有污染测量部,包括若干个根据尺寸大小依次排列的检验框;所述板面上设有杂质和黑点测量部,包括填充有颜色的条状区域,所述条状区域上设有未填充颜色的若干个根据直径大小依次排列的透明圆点,还包括设于所述板面上的若干个根据直径大小依次排列的有色圆点。
2.如权利要求1所述的太阳能硅片检查装置,其特征在于所述检验框包括一排根据尺寸大小依次排列的正方形检验框和一排根据尺寸大小依次排列的圆形检验框。
3.如权利要求1所述的太阳能硅片检查装置,其特征在于在所述杂质和黑点测量部中,所述有色圆点与所述透明圆点一一对应,相对应的有色圆点和透明圆点直径相同。
4.如权利要求1、2或3所述的太阳能硅片检查装置,其特征在于所述板面上设有黑线到硅片边缘距离测量部,包括若干个根据线宽大小依次排列的有色线条。
5.如权利要求4所述的太阳能硅片检查装置,其特征在于所述有色线条设于所述有色圆点的一侧且与所述有色圆点一一对应,相对应的有色线条的线宽与有色圆点的直径相同。
6.如权利要求1、2或3所述的太阳能硅片检查装置,其特征在于所述板面上设有微晶数量测量部,包括固定面积的检验面。
7.如权利要求6所述的太阳能硅片检查装置,其特征在于所述检验面包括两个。
8.如权利要求7所述的太阳能硅片检查装置,其特征在于所述两个检验面的形状分别为长方形和正方形。
9.如权利要求8所述的太阳能硅片检查装置,其特征在于所述两个检验面的面积均为 2cm2。
专利摘要本实用新型公开了一种太阳能硅片检查装置,包括透明的基板,所述基板的板面上设有亮点和亮线测量部,包括设于板面边缘的刻度线;所述板面上设有污染测量部,包括若干个根据尺寸大小依次排列的检验框;所述板面上设有杂质和黑点测量部,包括填充有颜色的条状区域,所述条状区域上设有未填充颜色的若干个根据直径大小依次排列的透明圆点,还包括设于所述板面上的若干个根据直径大小依次排列的有色圆点。由于采用了以上技术方案,本实用新型可以方便对太阳能硅片的质量进行检验,检验方法简单易行,方便操作人员按照要求进行检片,与使用放大镜检片相比,操作方法简单,降低了检片过程中的破片率,节约成本,提高生产效率。
文档编号G01B3/04GK202041135SQ20112012435
公开日2011年11月16日 申请日期2011年4月25日 优先权日2011年4月25日
发明者管延平, 陈艳 申请人:宇骏(潍坊)新能源科技有限公司
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