一种x射线检测光学装置的制作方法

文档序号:5930275阅读:145来源:国知局
专利名称:一种x射线检测光学装置的制作方法
技术领域
本实用新型提供一种光学检测系统,具体涉及一种X射线检测光学装置,利用X射线,通过可见光转换屏及反射镜搭建的光学成像系统,达到清晰成像的目的。
技术背景随着电子技术的飞速发展,封装的小型化和组装的高密度化以及各种新型封装技术的不断涌现,对电子组装质量的要求也越来越高,于是对检查的方法和技术提出了更高的要求,为满足这一要求,新的检测技术不断出现,自动X射线检测技术就是这其中的典型代表,它不仅可对不可见焊点进行检测,如BGA (球栅阵列封装)等,还可对检测结果进行定性、定量分析,以便及早发现故障。AXI (Automatic X-ray Inspection)检测技术开始兴起,多用于电路板等的无损检测,当组装好的线路板沿导轨进入机器内部后,位于线路板上方的X射线发射管,其发射的X射线穿过线路板后被置于下方的探测器接收,由于焊点中含有可以大量吸收X射线的铅,因此与穿过玻璃纤维、铜、硅等其它材料的X射线相比,照射在焊点上的X射线被大量吸收,而呈黑点产生良好图像,使得对焊点的分析变得相当直观,故简单的图像分析算法便可自动且可靠地检验焊点缺陷,早期的X射线检测不能满足实时成像、实时检测的要求,而且成像系统所成的像不清晰,噪声较大等,给检测造成一定的难度。
发明内容为了克服上述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提出一种X射线检测光学装置,通过可见光转换屏4及平面反射镜5的作用,防止了 X射线对CCD图像传感器7的直接照射造成的噪声增大和缩短CCD图像传感器7寿命的影响,结构简单,能达到清晰成像的目的。为了实现上述目的,本实用新型的技术方案是一种X射线检测光学装置,由X射线源1,可见光转换屏4,光阑3,平面反射镜5,凸透镜6和CXD图像传感器7组成,其特征在于,X射线源I,光阑3和可见光转换屏4顺次设置于平面反射镜5的正前方,平面反射镜5的下方顺次设置有凸透镜6和CCD图像传感器7;所述X射线源I和光阑3的中间设置有被测物体2 ;所述光阑3能去除装置中的杂散光;所述平面反射镜5的表面涂有高反射膜;由于设置有平面反射镜5,防止了 X射线对CXD图像传感器7的直接照射造成的噪声增大和缩短CCD图像传感器7寿命的影响,结构简单,能达到清晰成像的目的。

附图是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面对 本实用新型作进一步详细的描述。参照附图,一种X射线检测光学装置,由X射线源I,可见光转换屏4,光阑3,平面反射镜5,凸透镜6和CXD图像传感器7组成,其特征在于,X射线源1,光阑3和可见光转换屏4顺次设置于平面反射镜5的正前方,平面反射镜5的下方顺次设置有凸透镜6和CXD图像传感器7 ;所述X射线源I和光阑3的中间设置有被测物体2 ;所述光阑3能去除装置中的杂散光;所述平面反射镜5的表面涂有高反射膜;当X射线透过被测物体2,使用光阑3去除装置中的杂散光,当X射线经过可见光转换屏4时,利用可见光转换屏4的特点,可将X射线图像直接转换为可见光图像,之后用表面镀有高反射膜的平面反射镜5将转换的可见光进行转向,再使用表面高透膜的凸透镜6将转向后的光线进行会聚,使其到达CCD图像传感器7的接收端,从而由CCD图像传感器7采集可见光图像,并将光信号转换为电信号,而且这样的结构形式可以对视场大小进行调节,可以满足对较大测试试件的检测。
权利要求1.一种X射线检测光学装置,由X射线源(1),可见光转换屏(4),光阑(3),平面反射镜(5),凸透镜(6)和CXD图像传感器(7)组成,其特征在于,X射线源(I),光阑(3)和可见光转换屏(4)顺次设置于平面反射镜(5)的正前方,平面反射镜(5)的下方顺次设置有凸透镜(6)和CCD图像传感器(7)。
2.根据权利要求I所述的一种X射线检测光学装置,其特征在于,所述X射线源(I)和光阑(3)的中间设置有被测物体(2)。
3.根据权利要求I所述的一种X射线检测光学装置,其特征在于,所述平面反射镜(5)的表面涂有1 反射月吴。
专利摘要一种X射线检测光学装置,由x射线源,可见光转换屏,光阑,平面反射镜,凸透镜和CCD图像传感器组成,x射线源,光阑和可见光转换屏顺次设置于平面反射镜的正前方,平面反射镜的下方顺次设置有凸透镜和CCD图像传感器,利用可见光转换屏将x射线图像直接转换为可见光图像,之后利用平面反射镜和透镜系统将可见光进行转向并会聚,而后由CCD采集图像,并将光信号转换为电信号。
文档编号G01N23/04GK202548072SQ20112045962
公开日2012年11月21日 申请日期2011年11月18日 优先权日2011年11月18日
发明者曹捷, 许婷 申请人:西安中科麦特电子技术设备有限公司
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