专利名称：晶圆ic测试设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种晶圆IC测试设备。
背景技术：
在IC (集成电路)的晶圆测试过程中，对实际测试结果进行分析，可反映出上道工序的工艺参数情况，从而对上道工序晶圆流片工艺的参数进行监控及调整，以提高产品的成品率。测试结果信息的显示有多种，其中MAP图显示是目前最有效且能直观反映出IC成品率分布及上道工序流片工艺的测试结果的显示方式。MAP图显示即就是将实际测试的结果以实际晶圆图形的方式显示出来，并用不同的颜色显示不同的测试BIN分布情况。传统的MAP图显示生成方式一般通过通用集成电路测试系统与Prober探针设备对晶圆IC进行测试，将Prober探针设备产生的坐标值与通用集成电路测试系统产生的对应IC坐标值的测试BIN结果传送给PC机，在PC机端生成一个MAP图初始的文本文件，再使用相应的MAP图转换工具将文本文件转换成图形文件，就可很直观的反映出实际的晶圆IC测试信息。对于各种通用集成电路测试系统，都可直接或间接的实现MAP图显示功能，而当需要对大量的技术参数要求较低的晶圆IC进行测试时，为了进一步的降低成本，现有技术中提供了一种价格低的专用单板机测试仪来代替成本昂贵的通用集成电路测试系统。而使用该单板测试仪对晶圆IC进行测试时，由于单板机测试仪不能生成并显示MAP图，以至于对测试数据不能进行直观的分析和处理的问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种晶圆IC测试设备，旨在解决使用单板测试仪对晶圆IC进行测试时，由于单板机测试仪不能生成并显示MAP图，以至于对测试数据不能进行直观的分析和处理的问题。为此，本实用新型采用以下技术方案:—种晶圆IC测试设备,包括测试晶圆IC的单板机测试仪以及Prober探针设备，所述晶圆IC测试设备还包括:生成MAP图初始文本文件的MAP图生成装置，其第一通信端以及第二通信端分别接所述单板机测试仪以及所述Prober探针设备；根据所述MAP图初始文本文件显示MAP图的PC机，其与所述MAP图生成装置的第
三通信端连接。本实用新型提供的晶圆IC测试设备，通过所述MAP图生成装置可将所述单板机测试仪以及所述Prober探针设备的测试结果生成MAP图初始文本文件，PC机根据MAP图初始文本文件显示MAP图。所述MAP图生成装置具有结构简单，成本低的优点，因此在保证低成本的前提下可对晶圆IC的测试数据进行直观的分析和处理。
图1为本实用新型实施例提供的晶圆IC测试设备的电路原理框图；图2为本实用新型实施例提供的晶圆IC测试设备的进一步的电路原理框图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。参照图1，本实用新型实施例提供的晶圆IC测试设备的电路原理框图。一种晶圆IC测试设备,包括测试晶圆IC的单板机测试仪I以及Prober探针设备2，晶圆IC测试设备还包括:生成MAP图初始文本文件的MAP图生成装置3，其第一通信端以及第二通信端分别接单板机测试仪I以及Prober探针设备2 ;根据MAP图初始文本文件显示MAP图的PC机4，其与MAP图生成装置3的第三通信端连接。参照图2，本实用新型实施例提供的晶圆IC测试设备的进一步的电路原理框图。MAP图生成装置3包括:主控芯片31 ;TTL接口电路32，TTL接口电路32的第一通信端作为MAP图生成装置3的第一通信端接单板机测试仪1、TTL接口电路32的第二通信端接主控芯片31的单板机通信端；第一 RS232接口电路33，第一 RS232接口电路33的第一通信端作为MAP图生成装置3的第二通信端接Prober探针设备2、第一 RS232接口电路33的第二通信端接主控芯片31的Prober通信端；第二 RS232接口电路34，第二 RS232接口电路34的第一通信端作为MAP图生成装置3的第三通信端接PC机4、第二 RS232接口电路34的第二通信端接主控芯片31的PC通信端；存储MAP图初始文本文件的外部存储电路35，其与主控芯片31的存储通信端连接。MAP图生成装置3还包括显示测试信息的IXD显示电路36，其与主控芯片31的IXD通信端连接。MAP图生成装置3还包括输入测试参数及对测试过程进行控制的按键输入电路37，其与主控芯片31的按键通信端连接。外部存储电路35包括:USB接口电路351，其第一通信端与主控芯片31的存储通信端连接；U盘352，其与USB接口电路351的第二通信端连接。本实用新型实施例中，主控芯片31采用ATMEML公司的ATmegal28单片机311。以下对本实用新型实施例提供的晶圆IC测试设备的工作原理作进一步说明。该晶圆IC测试设备，通过单板机测试仪I对晶圆IC进行测试，其中Prober探针设备2为晶圆IC测试过程中的辅助设备，经过测试，Prober探针设备2产生的坐标值以及单板机测试仪I对对应晶圆IC坐标值的测试BIN结果传送至ATmegal28单片机311，此时ATmegal28单片机311将生成MAP图初始文本文件存储至外部存储电路35的U盘352中。当需要查看所测试的晶圆IC的MAP图时，PC机4通过ATmegal28单片机311读取存储在外部存储电路35的U盘352的MAP图初始文本文件并显示MAP图。一般情况下，在对晶圆IC的测试进行调试时，通过PC机4进行调试；而在对大批量的晶圆IC进行测试时，将测试产生的数据存储在U盘352中。同时，在对晶圆IC的进行测试的过程中，可通过按键输入电路37输入测试参数及对测试过程进行控制；LCD显示电路36同时可显示相关的测试信息。综上所述，本实用新型提供的晶圆IC测试设备，通过所述MAP图生成装置3的Prober探针设备2产生的坐标值以及单板机测试仪I对对应晶圆IC坐标值的测试BIN结果生成MAP图初始文本文件，PC机4根据MAP图初始文本文件显示MAP图，因此可对晶圆IC的测试数据进行直观的分析和处理。同时，该晶圆IC测试设备的MAP图生成装置3电路结构简单，成本低，因此在保证低成本的前提下可对晶圆IC的测试数据进行直观的分析和处理。以上所述仅为本实用新型优选实施例，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的原理之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型保护的范围之内。
权利要求1.一种晶圆IC测试设备，包括测试晶圆IC的单板机测试仪(I)以及Prober探针设备(2)，其特征在于，所述晶圆IC测试设备还包括: 生成MAP图初始文本文件的MAP图生成装置(3)，其第一通信端以及第二通信端分别接所述单板机测试仪(I)以及所述Prober探针设备(2)； 根据所述MAP图初始文本文件显示MAP图的PC机(4)，其与所述MAP图生成装置(3)的第三通信端连接。
2.如权利要求1所述的晶圆IC测试设备，其特征在于，所述MAP图生成装置(3)包括: 主控芯片(31)； TTL接口电路(32)，所述TTL接口电路(32)的第一通信端作为所述MAP图生成装置(3)的第一通信端接所述单板机测试仪(I)、所述TTL接口电路(32)的第二通信端接所述主控芯片(31)的单板机通信端； 第一 RS232接口电路(33)，所述第一 RS232接口电路(33)的第一通信端作为所述MAP图生成装置(3 )的第二通信端接所述Prober探针设备(2 )、所述第一 RS232接口电路(33 )的第二通信端接所述主控芯片(31)的Prober通信端； 第二 RS232接口电路(34)，所述第二 RS232接口电路(34)的第一通信端作为所述MAP图生成装置(3)的第三通信端接所述PC机(4)、所述第二 RS232接口电路(34)的第二通信端接所述主控芯片(31)的PC通信端； 存储所述MAP图初始文本文件的外部存储电路(35)，其与所述主控芯片(31)的存储通信端连接。
3.如权利要求2所述的晶圆IC测试设备，其特征在于，所述MAP图生成装置(3)还包括显示测试信息的IXD显示电路(36)，其与所述主控芯片(31)的IXD通信端连接。
4.如权利要求2所述的晶圆IC测试设备，其特征在于，所述MAP图生成装置(3)还包括输入测试参数及对测试过程进行控制的按键输入电路(37)，其与所述主控芯片(31)的按键通信端连接。
5.如权利要求2所述的晶圆IC测试设备，其特征在于，所述外部存储电路(35)包括: USB接口电路(351)，其第一通信端与所述主控芯片(31)的存储通信端连接； U盘(352 )，其与所述USB接口电路(351)的第二通信端连接。
6.如权利要求2-5任一项所述的晶圆IC测试设备，其特征在于，所述主控芯片(31)采用ATMEML公司的ATmegal28单片机(311)。
专利摘要本实用新型涉及集成电路测试领域，提供了一种晶圆IC测试设备。该晶圆IC测试设备包括测试晶圆IC的单板机测试仪以及Prober探针设备；生成MAP图初始文本文件的MAP图生成装置，其第一通信端以及第二通信端分别接所述单板机测试仪以及所述Prober探针设备；根据所述MAP图初始文本文件显示MAP图的PC机，其与所述MAP图生成装置的第三通信端连接。本实用新型提供的MAP图生成装置具有结构简单，成本低的优点，因此在保证低成本的前提下可对晶圆IC的测试数据进行直观的分析和处理。
文档编号G01R31/28GK202939275SQ20122052534
公开日2013年5月15日 申请日期2012年10月15日 优先权日2012年10月15日
发明者方盼 申请人:深圳安博电子有限公司