一种热偶升降装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及半导体加工【技术领域】，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。本发明热偶升降装置可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便。
【专利说明】一种热偶升降装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体加工【技术领域】，特别是涉及一种热偶升降装置。
【背景技术】
[0002]为了测量半导体扩散设备的炉体恒温区的长度，确定恒温区的位置，确定生产硅片的位置，需要将热偶(长约1000mm)在炉体内进行升降操作。因此，需要热偶升降装置，支撑热偶实现竖直方向的直线运动。
[0003]目前的半导体扩散设备的热偶升降装置的底部多为固定的支撑架，因此，热偶相对于工艺门的拉温区孔的位置的调整操作很不方便。图1为现有技术中的热偶升降装置的结构示意图，热偶升降装置采用钢材质为支撑结构，整个装置的质量较高，采用电机7驱动，利用带轮8、带9实现热偶支撑架Ia上下往复运动。该装置的底部支撑为固定支撑腿11，不能进行水平位置调整，只能靠工作人员手动搬运，现场工作人员操作极不方便。
[0004]热偶支撑架Ia的运动过程中需要直线导轨10进行导向，而直线导轨10安装在一根导轨支撑上，为了保证直线导轨10的直线度，需要对导轨支撑精加工，提高了成本，同时导轨支撑一般质量较高，造成整个装置的不稳定。带传动过程中，由于装配松紧程度变化，引起滑动，影响传动的精确程度。整个直线运动装置的结构不够紧凑，电机7、直线导轨10等所占空间较大，整个运动控制过程不够精确。
【发明内容】
[0005](一)要解决的技术问题
[0006]本发明要解决的技术问题是如何实现热偶升降装置中，热偶支撑架具有三个方向均可移动的功能。
[0007](二)技术方案
[0008]为了解决上述技术问题，本发明提供一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。
[0009]其中，所述连杆与支撑动平台通过虎克铰链连接。
[0010]其中，所述连杆与传动部件通过虎克铰链连接。
[0011]其中，所述传动部件为第二气缸，所述第二气缸的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接。
[0012]其中，所述升降机构为第一气缸。
[0013]其中，所述第一气缸与热偶支撑架可转动连接。
[0014]其中，所述热偶支撑架、支撑动平台、连杆均采用铝材质。
[0015]其中，所述第二气缸安装在固定地脚上。
[0016](三)有益效果[0017]上述技术方案所提供的一种热偶升降装置，其支撑腿为三个连杆，连杆一端与支撑动平台可转动连接，连杆的另一端与传动部件可转动连接，本发明可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便；此外，本发明热偶升降装置还采用气压传动代替现有的带传动，对热偶位置的调整更加精确，且结构紧凑。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1是现有技术中的热偶升降装置的结构示意图；
[0019]图2是本发明一种热偶升降装置的示意图。
[0020]其中，1、热偶支撑架；la、热偶支撑架；2、第一气缸；3、支撑动平台；4、连杆；5、第二气缸；6、固定地脚；7、电机；8、带轮；9、带；10、直线导轨；11、固定支撑腿。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图和实施例，对本发明的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0022]如图2，为本发明一种热偶升降装置的结构示意图，包括热偶支撑架1，热偶支撑架I用于支撑热偶，调整热偶支撑架I高度的升降机构第一气缸2，第一气缸2与热偶支撑架I可转动连接，支撑升降机构的支撑腿，支撑腿与第一气缸2均连接在支撑动平台3上，支撑腿为三个连杆4，连杆4 一端与所述支撑动平台3通过虎克铰链连接，连杆4的另一端与传动部件第二气缸5通过虎克铰链连接，第二气缸5的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接，第二气缸5安装在固定地脚6上，固定地脚6起到与地面固定的作用，保证热偶升降装置的水平，支撑三个小型第二气缸；热偶支撑架1、支撑动平台3、连杆4均采用铝材质，铝材质使热偶升降装置质量较轻，易于实现热偶的三维移动调整操作。
[0023]本发明热偶升降装置中，每个连杆4有5个自由度，三个连杆4构成的整体可以实现三个方向的移动，而无转动。工作过程中，底部的3个小型的第二气缸5实现热偶升降装置在竖直方向上的小幅度上、下运动，在竖直方向运动过程中，要机械锁紧第二气缸5与连杆4间的三个虎克铰链，从而调节本发明热偶升降装置的整体高度。当本发明热偶升降装置需要进行水平方向移动时，对连杆4与第二气缸5间的虎克铰链解锁，第二气缸5的活塞杆伸缩，从而可以实现热偶升降装置水平位置的调整，克服了现有装置中，通过人工搬运来改变热偶升降装置的水平位置。
[0024]本发明热偶升降装置中，调整热偶高度时，采用一个可以实时反馈的第一气缸2实现热偶支撑架I的上、下运动，通过第一气缸2活塞杆的伸缩实现热偶支撑架I高度位置变换。采用气缸作为驱动装置，使结构更加紧凑，避免了现有技术中，外部驱动，如电机驱动，造成的占据空间大的问题，实现了装置结构的简化，并提高了传动精度；用于升降热偶支撑架I的第一气缸2与热偶支撑架I通过一个转动铰链连接，在需要小幅转动热偶时，则对转动铰链解锁，实现热偶支撑架I的转动。在升降热偶时，锁紧转动铰链，从而使第一气缸2驱动热偶支撑架I升降运动。
[0025]上述虎克铰链可替换为其它公知的能实现转动的部件，如两个转动铰链；
[0026]上述气压传动可替换为其它公知的能实现直线往复运动的部件，如液压传动。
[0027]本发明热偶升降装置，可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便；此外，本发明热偶升降装置还采用气压传动代替现有的带传动，对热偶位置的调整更加精确，且结构紧凑。
[0028]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种热偶升降装置，包括热偶支撑架(1)，调整热偶支撑架(I)高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，其特征在于，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台(3)上，所述支撑腿为三个连杆(4)，所述连杆(4) 一端与所述支撑动平台(3)可转动连接，所述连杆(4)的另一端与传动部件可转动连接。
2.根据权利要求1所述的热偶升降装置，其特征在于，所述连杆(4)与支撑动平台(3)通过虎克铰链连接。
3.根据权利要求1所述的热偶升降装置，其特征在于，所述连杆(4)与传动部件通过虎克铰链连接。
4.根据权利要求3所述的热偶升降装置，其特征在于，所述传动部件为第二气缸(5)，所述第二气缸(5)的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接。
5.根据权利要求1所述的热偶升降装置，其特征在于，所述升降机构为第一气缸(2)。
6.根据权利要求5所述的热偶升降装置，其特征在于，所述第一气缸(2)与热偶支撑架(I)可转动连接。
7.根据权利要求1所述的热偶升降装置，其特征在于，所述热偶支撑架(I)、支撑动平台(3)、连杆(4)均采用铝材质。
8.根据权利要求4所述的热偶升降装置，其特征在于，所述第二气缸(5)安装在固定地脚(6 )上。
【文档编号】G01K1/14GK103542947SQ201310334994
【公开日】2014年1月29日 申请日期:2013年8月2日 优先权日:2013年8月2日
【发明者】郝琪, 林欣家, 董金卫 申请人:北京七星华创电子股份有限公司