一种具有间距监控功能的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型实施例提供了一种具有间距监控功能的装置，涉及距离测试【技术领域】，可以实时得到上下分离开的上基板和下基板之间的间距变化；所述具有间距监控功能的装置，包括上基板和下基板，所述上基板和所述下基板之间具有间距；所述具有间距监控功能的装置还包括至少一个测距单元，所述测距单元用于测试所述间距的长度；此外，所述具有间距监控功能的装置还包括与所述测距单元连接的监视单元，所述监视单元用于提示通过所述测距单元得到的测试结果。用于显示【技术领域】中上下基板间距的监控。
【专利说明】—种具有间距监控功能的装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及距离测试【技术领域】，尤其涉及一种具有间距监控功能的装置。
【背景技术】
[0002]目前，液晶面板及半导体制造行业中涉及到许多需要严格控制上下基板间距的设备，如化学气相沉积设备。在化学气相沉积设备中，作为反应物的材料源以气体形式进入真空腔体内，在上电极板和下电极板产生的电场作用下形成等离子体场，使反应气体最终生成固体产物。因此，上下电极板的间距是成膜工艺中的一项重要参数，将直接影响玻璃基板成膜的均匀性，需要对其进行严格控制。
[0003]例如，如图1所示，在化学气相沉积设备的真空腔体10内，上电极板101的位置相对固定不变，下电极板102可通过相连的一字型陶瓷支撑板103等结构实现上下移动。然而，由于设备工作环境的高温或真空等原因，现有技术中，工作人员只能在腔体开启前，通过专门的间距校准工具对上下电极板间的间距值进行校准；当设备在运行时，支撑下电极板102的一字型陶瓷支撑板103发生晃动等情况发生时，实际间距值就会与设备开启前设定的标准值有偏差，但在设备运行中工作人员无法及时有效的发现该问题，此时真空腔体10内的两电极板间的实际距离处于监控缺失状态，可能造成量产产品的品质异常，直接影响玻璃基板成膜的均匀性，引发批次性不良。
实用新型内容
[0004]本实用新型实施例提供了一种具有间距监控功能的装置，可以实时提示间距的变化。
[0005]为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案:
[0006]本实用新型实施例提供了提供一种具有间距监控功能的装置，所述装置包括上基板和下基板，所述上基板和所述下基板之间具有间距；所述装置还包括至少一个测距单元，所述测距单元用于测试所述间距的长度；所述装置还包括与所述测距单元连接的监视单元，所述监视单元用于提示所述测距单元得到的测试结果。
[0007]可选的，所述测距单元为激光测距单元，所述激光测距单元包括激光发射器和激光接收器；所述装置还包括反光板，所述反光板用于将所述激光发射器发射的激光反射到所述激光接收器。
[0008]进一步优选的，所述装置还包括腔体，所述上基板和所述下基板设置在所述腔体内。
[0009]进一步可选的，所述上基板相对所述腔体的上底面固定设置，所述下基板相对所述上基板移动；所述激光测距单元设置在所述腔体的下底面外侧；所述反光板设置在所述下基板靠近所述腔体下底面的一侧表面，并与所述激光测距单元相对应；或者，所述下基板相对所述腔体的下底面固定设置，所述上基板相对所述下基板移动；所述激光测距单元设置在所述腔体的上底面外侧；所述反光板设置在所述上基板靠近所述腔体上底面的一侧表面，并与所述激光测距单元相对应。
[0010]进一步优选的，针对所述激光测距单元设置在所述腔体的下底面外侧的情况，所述腔体的下底面包括与所述激光测距单元相对应的镂空部分；所述装置还包括设置在所述腔体的下底面并与所述镂空部分匹配的透明固定块。
[0011]针对所述激光测距单元设置在所述腔体的上底面外侧的情况，所述腔体上底面包括与所述激光测距单元相对应的镂空部分；所述装置还包括设置在所述腔体的上底面并与所述镂空部分匹配的透明固定块。
[0012]进一步优选的，所述镂空部分的形状为O形孔；所述装置还包括设置在所述透明固定块与所述O形孔之间的O形密封圈。
[0013]可选的，所述测距单元为超声波测距单元，所述超声波测距单元包括超声波发射器和超声波接收器；所述装置还包括非真空腔体，所述上基板和所述下基板设置在所述非真空腔体内；其中，所述上基板相对所述非真空腔体的上底面固定设置，所述下基板相对所述上基板移动；所述超声波测距单元设置在所述非真空腔体的下底面内侧；或者，所述下基板相对所述非真空腔体的下底面固定设置，所述上基板相对所述下基板移动；所述超声波测距单元设置在所述非真空腔体的上底面内侧。
[0014]可选的，所述测距单元的个数为4个，并与所述下基板的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应；或者，所述测距单元的个数为4个，并与所述上基板的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应。
[0015]可选的，所述测距单元的个数为8个，且两两相对所述下基板的对角线对称；或者，所述测距单元的个数为8个，且两两相对所述下基板的对角线对称。
[0016]可选的，所述装置还包括与所述测距单元及所述监视单元均连接的数据处理单元，所述监视单元为显示屏，所述数据处理单元用于根据所述测距单元的发射器发出激光或声波到被所述测距单元的接收器接收所用的时间，计算得到所述间距的长度，并且，将所述间距的长度数值发送给所述监视单元进行显示。
[0017]进一步可选的，所述监视单元包括与所述测距单元连接的比较单元和报警单元，所述比较单元用于将所述间距的长度分别与预设数值范围的最大值和最小值进行比较，所述报警单元用于在所述监视单元显示的所述间距的长度超出预设数值范围时，发出报警信号。
[0018]本实用新型的实施例提供一种具有间距监控功能的装置，所述装置包括上基板和下基板，所述上基板和下基板之间具有间距；所述装置还包括至少一个测距单元，所述测距单元用于测试所述间距的长度；此外，所述装置还包括与所述测距单元连接的监视单元，所述监视单元用于提示通过所述测距单元得到的所述间距的长度数值。这样，当上下基板的间距发生变化时，测距单元可以实时测试得到该间距的长度，并通过所述监视单元将该间距的长数值显示出来，对于需要严格控制上下基板间距的设备，通过该装置便可以对所述间距进行实时监控，从而避免量产产品的品质异常。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为现有技术中真空腔体及连接下电极板的一字型陶瓷支撑板的结构示意图；
[0021]图2为本实用新型实施例提供的一种具有间距监控功能的装置的结构示意图一；
[0022]图3为本实用新型实施例提供的一种激光测距单元设置在腔体下底面外侧的仰视结构不意图一；
[0023]图4为本实用新型实施例提供的一种激光测距单元设置在腔体下底面外侧的仰视结构示意图二；
[0024]图5为本实用新型实施例提供的一种具有间距监控功能的装置的结构示意图二 ；
[0025]图6为本实用新型实施例提供的一种十字型陶瓷支撑板契合方式示意图；
[0026]图7为本实用新型实施例提供的一种十字型陶瓷支撑板结构示意图；
[0027]图8为本实用新型实施例提供的一种具有间距监控功能的装置的真空腔体下底面外侧结构不意图一；
[0028]图9为本实用新型实施例提供的一种红外光通过孔与石英玻璃固定块对应关系结构示意图；
[0029]图10为本实用新型实施例提供的一种具有间距监控功能的装置的真空腔体下底面外部结构示意图二。
[0030]附图标记:
[0031]01-腔体；02_上基板；03_下基板；04_反光板；05_激光测距单元；10_真空腔体；101-上电极板；102_下电极板；103_—字型陶瓷支撑板；104_十字型陶瓷支撑板；1041_十字型陶瓷支撑板契合槽；1042_固定销通过孔；105-陶瓷管；106-陶瓷管固定块；109_陶瓷管通过孔；110-红外光测试隔离室；111-红外光发射器；112-红外光接收器；113-红外光通过孔；114_石英玻璃固定块；115-0形密封圈安装槽；116-0形密封圈；117_螺丝孔；20-承受柱；30_直流电机；40_传动丝杆。
【具体实施方式】
[0032]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0033]本实用新型实施例提供了一种具有间距监控功能的装置，所述装置包括上基板和下基板，所述上基板和下基板之间具有间距；所述装置还包括至少一个测距单元，所述测距单元用于测试所述间距的长度；此外，所述装置还包括与所述测距单元连接的监视单元，所述监视单元用于提示通过所述测距单元得到的测试结果。
[0034]需要说明的是，第一，本实用新型实施例不对所述上基板和所述下基板进行限定，其可以是导电的极板，也可以是由衬底基板和设置在衬底基板上的其他部分组成。
[0035]第二，不对所述测距单元与所述上基板和/或所述下基板的相对位置进行限定，以能通过测试得到所述上基板和所述下基板之间的间距为准。
[0036]第三，不对所述测距单元和监视单元进行限定，以能够分别实现对所述间距进行测量及显示所述间距的长度数值的各自功能为准。
[0037]本实用新型实施例提供了一种具有间距监控功能的装置，所述装置包括上基板和下基板，所述上基板和下基板之间具有间距；所述装置还包括至少一个测距单元，所述测距单元用于测试所述间距的长度；此外，所述装置还包括与所述测距单元连接的监视单元，所述监视单元用于提示通过所述测距单元得到的测试结果；这样，当上下基板的间距发生变化时，通过所述测距单元便可以实时测试得到该间距的长度，并可以通过所述监视单元将测试结果提示出来，对于需要严格控制上下基板间距的设备，通过该装置便可以对所述间距进行实时监控，从而避免量产产品的品质异常。
[0038]可选的，如图2所示，所述测距单元为激光测距单元05，所述激光测距单元包括激光发射器和激光接收器；所述装置还包括反光板04，所述反光板04用于将所述激光发射器发射的激光反射到所述激光接收器。
[0039]其中，所述激光发射器可以是红外光发射器，所述激光接收器可以是红外光接收器，也可以是具有其他波长的激光发射器和相应的激光接收器。
[0040]需要说明的是，此处所述反光板04的位置需与所述激光测距单元05相对应，以能将激光发射器发射的激光反射到所述激光接收器，从而得到所述上基板02和下基板03之间的间距长度。
[0041]进一步地，考虑到对间距要求较高的一些设备需要防尘、或真空、或高温、或磁场环境，因此，如图2所示，所述装置还包括腔体01，所述上基板02和所述下基板03设置在所述腔体01内。
[0042]其中，由于所述激光测距单元05发射的激光不需要通过介质来传播，因此，所述腔体可以是真空腔体，也可以是非真空腔体。
[0043]进一步优选的，参考图2所示，针对所述上基板02相对所述腔体01的上底面固定设置，所述下基板03相对所述上基板02可上下移动的情况，所述激光测距单元05设置在所述腔体01的下底面外侧；所述反光板04设置在所述下基板03靠近所述腔体01下底面的一侧表面，并与所述激光测距单元05相对应。
[0044]或者，针对所述下基板03相对所述腔体01的下底面固定设置，所述上基板02相对所述下基板03可上下移动的情况，所述激光测距单元05设置在所述腔体01的上底面外侧；所述反光板04设置在所述上基板02靠近所述腔体01上底面的一侧表面，并与所述激光测距单元05相对应。
[0045]这里，将所述激光测距单元05设置在所述腔体01的下底面外侧或所述腔体01的上底面的外侧，可以避免所述激光测距单元05受到所述腔体01内特定气氛、或高温、或磁场的影响。
[0046]需要说明的是，在本实用新型实施例中不对所述反光板04的材料和形状进行限定，以能够接收到所述激光发射器发射的激光，并反射到所述激光接收器为准；此外，为了不影响上基板02或下基板03正常的上下移动，所述反光板04的厚度应尽可能地小。
[0047]进一步地，考虑到所述腔体01 —般由不透明的金属材料制成，而所述激光发射器发射的激光无法穿透腔体，因此，为使所述激光发射器发射的激光到达位于腔体01内的反光板04，并由所述反光板04反射后被所述激光接收器接收，可选的，在所述激光测距单元05设置在所述腔体01的下底面外侧的情况下，所述腔体01的下底面可以包括与所述激光测距单元05相对应的镂空部分；在此基础上，所述装置还包括设置在所述腔体01的下底面并与所述镂空部分匹配的透明固定块；在所述激光测距单元05设置在所述腔体01的上底面外侧的情况下，所述腔体01的上底面包括与所述激光测距单元05相对应的镂空部分；在此基础上，所述装置还包括设置在所述腔体01的上底面并与所述镂空部分匹配的透明固定块。
[0048]这样，既可以保证所述腔体01的密闭性，也可保证所述激光测距单元05发出的激光能通过所述腔体01上的镂空部分而到达所述反光板04。
[0049]进一步的，考虑到所述激光测距单元05发出的激光光束的光斑一般为圆形，且为了简化所述镂空部分的制作工艺，本实用新型优选为，所述镂空部分的形状为O形孔；所述装置还包括设置在所述透明固定块与所述O形孔之间的O形密封圈。
[0050]在此基础上，由于所述腔体OI是一个相对独立和封闭的环境，腔体OI内往往需要通入特定的气氛条件，如氩气，氦气或保持真空状态等，因此，需要在所述透明固定块与所述O形孔之间设置O形密封圈，来保持腔体01的封闭性。
[0051]进一步地，考虑到例如当所述下基板03进行上下移动时，所述下基板03可能会在移动过程中发生晃动，如果仅仅设置I个激光测距单元05，将会导致所述激光测距单元05测得的间距不够精确，因此，优选的，如图3所示，所述激光测距单元05的个数为4个，并与所述下基板03的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应。
[0052]在此基础上，由于所述腔体01的下底面的面积大于位于其内部的下基板03的面积，并且晃动幅度最大的地方往往发生在所述下基板03的边缘处，因此，这里将位于所述腔体01的下底面外侧的4个激光测距单元05的位置设置为与下基板03的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应，这样可以更加准确的得到上下基板之间的间距。
[0053]对于所述上基板02进行上下移动的情况，也是类似，只需将所述4个测距单元与所述上基板02的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应即可，此处不再赘述。
[0054]此外，考虑到适当增加所述激光测距单元05的个数可以获得更加精确的测量值，因此，当所述下基板03进行上下移动时，如图4所示，可以将所述激光测距单元05的个数设置为8个，且两两相对所述下基板03的对角线对称；当所述上基板02进行上下移动时，所述激光测距单元05的个数为8个，且两两相对所述上基板02的对角线对称。
[0055]进一步优选的，所述装置还可以包括与所述激光测距单元05及所述监视单元均连接的数据处理单元，所述监视单元为显示屏，所述数据处理单元用于根据所述激光测距单元05的激光发射器发出激光到被所述激光测距单元的激光接收器接收所用的时间，计算得到所述间距的长度，并且，将所述间距的长度数值发送给所述监视单元进行显示，以使相关技术人员能够及时掌握所述间距的实时数值。
[0056]这里，当上基板02相对所述腔体01的上底面固定，下基板03相对所述上基板02上下移动时，由于在上基板02到下基板03的间距方向上，所述腔体01的高度是固定的，且上基板02相对所述腔体01的上底面的距离也是固定的，因此，只需由位于所述腔体01的下底面外侧的所述激光测距单元05测试得到所述下基板03到所述腔体01的下底面的距离，便可以计算得到所述上基板02到所述下基板03的间距。同理，所述下基板03相对所述腔体01的下底面固定设置，所述上基板02相对所述下基板03上下移动的情况也适用。
[0057]进一步地，所述监视单元可以包括与所述测距单元连接的比较单元和报警单元，所述比较单元用于将所述间距的长度分别与预设数值范围的最大值和最小值进行比较，所述报警单元用于在所述监视单元显示的所述间距的长度超出预设数值范围时，发出报警信号。
[0058]这里，考虑到通过所述数据处理单元计算得到的间距相对预设值可能有小的误差，为避免该间距相对于预设值在误差范围内而报警单元出现误报警的情况，优选的，所述预设值可以为一个范围，即:当所述监视单元显示的所述间距大于该范围的最大值，或小于该范围的最小值时，所述报警单元发出报警信号。
[0059]对于所述测距单元，可选的，其还可以为超声波测距单元，所述超声波测距单元包括超声波发射器和超声波接收器。
[0060]进一步地，考虑到对间距要求较高的一些设备需要防尘环境，且考虑到超声波需要通过介质来传播，因此，所述装置还可以包括非真空腔体，所述上基板和所述下基板设置在所述非真空腔体内。
[0061]进一步地，由于所述超声波测距单元的原理是所述超声波发射器发出超声波，所述超声波接收器接收被阻碍物反射的超声波，根据超声波的传播时间求出所述超声波发射器到阻碍物的距离；因此，所述超声波测距单元应固定在所述非真空腔体的内部，且与靠近的基板之间没有阻碍物。
[0062]基于此，优选的，针对所述上基板02相对所述非真空腔体内的上底面固定设置，所述下基板03相对所述上基板02移动的情况，所述超声波测距单元设置在所述非真空腔体的下底面内侧。
[0063]针对所述下基板03相对所述非真空腔体的下底面固定设置，所述上基板02相对所述下基板03移动的情况，所述超声波测距单元设置在所述非真空腔体的上底面内侧。
[0064]进一步地，考虑到例如当下基板03相对于上基板02上下移动时，所述下基板03可能会在移动过程中发生晃动，如果仅仅设置I个超声波测距单元，将会导致所述超声波测距单元测得的间距不够精确，因此，参考图3所示，优选的，所述超声波测距单元的个数为4个，并与所述下基板03的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应。
[0065]由于所述非真空腔体的下底面的面积大于位于其内部的下基板03的面积，并且晃动幅度最大的地方往往发生在所述下基板03的边缘处，因此，这里将位于所述非真空腔体的下底面内侧的4个超声波测距单元05的位置设置为与下基板03的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应，这样可以更加准确的得到上下基板之间的间距。
[0066]对于所述上基板02进行上下移动的情况，也是类似，只需将所述4个测距单元与所述上基板02的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应即可，此处不再赘述。
[0067]此外，当所述下基板03进行上下移动时，参考图4所示，所述超声波测距单元的个数也可以为8个，且两两相对所述下基板的对角线对称；当所述上基板02进行上下移动时，所述超声波测距单元的个数为8个，且两两相对所述下基板03的对角线对称。
[0068]进一步优选的，所述装置还可以包括与所述超声波测距单元及所述监视单元均连接的数据处理单元，所述监视单元为显示屏，所述数据处理单元用于根据所述超声波测距单元的超声波发射器发出超声波到被所述超声波测距单元的超声波接收器接收所用的时间，计算得到所述间距的长度，并且，将所述间距的长度数值发送给所述监视单元进行显
/Jn ο[0069]进一步地，所述监视单元可以包括与所述测距单元连接的比较单元和报警单元，所述比较单元用于将所述间距的长度分别与预设数值范围的最大值和最小值进行比较，所述报警单元用于在所述监视单元显示的所述间距的长度超出预设数值范围时，发出报警信号。
[0070]下面提供一个具体实施例，以详细描述上述的具有间距监控功能的装置。
[0071]本实用新型实施例提供了一种具有间距监控功能的装置，如图5所示，所述装置包括:设置在真空腔体10内的具有间距的上基板和下基板；其中，所述上基板包括上电极板101，所述上电极板101相对所述真空腔体10的上底面固定设置，所述下基板包括下电极板102以及支撑所述下电极板102的十字型陶瓷支撑板104，所述下电极板102和十字型陶瓷支撑板104相对所述上电极板101可上下移动。
[0072]在此基础上，所述装置还包括承载所述下电极板的承受柱20、套在所述承受柱20外侧的陶瓷管105、与所述陶瓷管105连接的陶瓷管固定块106、与陶瓷管固定块106连接的传动丝杠40、与传动丝杠40连接的直流电机30 ;当直流电机30工作时，带动与直流电机30连接的传动丝杠40运动，从而带动陶瓷管固定块106上下移动，陶瓷管105在陶瓷管固定块106的带动下也相应地发生移动，进而带动与陶瓷管105相连接的十字型陶瓷支撑板104也发生上下移动。
[0073]其中，所述十字型陶瓷支撑板104位于所述下电极板102的中线上，且所述十字型陶瓷支撑板104由如图6所示的两个具有陶瓷支撑板契合槽1041的一字型陶瓷支撑板103组成，为了保证两个一字型陶瓷支撑板103对合时在同一水平位置，两个一字型陶瓷支撑板103采用等距离互补契合的方式契合成如图7所示的十字型陶瓷支撑板104 ;并且，为了保证十字型陶瓷支撑板104与其连接的陶瓷管105能够固定紧密，在所述十字型陶瓷支撑板104的中心处设置有陶瓷管通过孔109、以及放置陶瓷管固定销的陶瓷管固定销通过孔1042，所述陶瓷管固定销用来加固两个契合在一起的所述十字型陶瓷支撑板104。
[0074]进一步地，所述装置还包括4个反光板04和4个红外光测距单元；此外，所述装置还包括与所述红外光测距单元均连接的监视单元，所述监视单元用于提示通过所述测距单元得到的测试结果。
[0075]其中，如图7所示，所述4个反光板04设置在所述十字型陶瓷支撑板104靠近所述真空腔体10的下底面一侧表面的4个顶点上；所述4个红外光测距单元设置在所述真空腔体10的下底面的外表面上并与所述4个反光板04垂直对应，任一个所述红外测距单元均包括个红外光发射器111和所述红外光接收器112 ;此外，参考图5所示，为了保证测试的精确度，所述红外光发射器111和所述红外光接收器112可以设置在红外光测试隔离室110中，并将红外光发射器111和红外光接收器112单独隔离开。
[0076]此外，为了能够使所述红外光发射器111发射的红外光发射到所述真空腔体10内的反光板04的表面，所述真空腔体10的下底面包括与所述红外光测距单元相对应的如图8所述的镂空的红外光通过孔113，以及与所述红外光通过孔113匹配的能够承受高温并且不吸收红外光的如图9所示的石英玻璃固定块114。
[0077]其中，所述红外光通过孔113的形状可以为O形孔；在此基础上，为了保证所述真空腔体10的密闭性，可以在所述红外光通过孔113和石英玻璃固定块114之间还设置有用来保持所述真空腔体10密闭性的O形密封圈116 ;为了使所述O形密封圈116更加紧密地固定在所述真空腔体10下底面中的红外光通过孔113中，如图9所示，可以在所述真空腔体10的下底面外侧的红外光通过孔113的周围设置一个用于加固所述O形密封圈116的O形密封圈安装槽115，相对应的，为了放置所述O形密封圈116，并且为了将所述石英玻璃固定块114固定在所述真空腔体10的下底面中,石英玻璃固定块114可以加工成台阶型圆柱，即由两部分圆柱构成，上部圆柱与所述真空腔体10的下底面中的红外光通过孔113相匹配，下部圆柱的直径大于O形密封圈安装槽115的直径，这样，可以在其底部均匀分布4个与所述真空腔体10的下底面固定的螺丝孔117。在此基础上，如图10所示，在所述真空腔体10的下底面的外侧，还包括设置在所述红外光通过孔113周围，且均匀分布的4个用于固定所述石英玻璃固定块114的4个螺丝孔117 ;其中，所述O形密封圈116的厚度略大于所述O形密封圈安装槽115的深度，这样，当通过所述螺丝孔117固定所述石英玻璃固定块114时，便可以达到将所述石英玻璃固定块114与红外光通过孔113对合紧密的目的，保证了所述真空腔体10的密闭性。
[0078]进一步地，所述装置还包括与所述红外光测距单元及所述监视单元均连接的数据处理单元，所述数据处理单元收集所述红外光测试单元中所述红外光发射器111发射红外光的时间点(记录为ti)，以及所述红外光测试单元中所述红外光接收器112接收到红外光的时间点(记录为t2)，从而能够得到所述红外光从所述真空腔体10的下底面到所述反光板04再返回到所述真空腔体10的下底面所用的时间差值(Atztft1)。
[0079]由于在真空腔体10内部，红外光的传播速度(C)是固定不变的，所述真空腔体10的下底面到所述反光板的距离X与所述时间差值Λ t具有以下关系:
[0080]X = Iaixc;
[0081]所述X值可以经过数据处理器处理后计算得到；对于给定的化学气相沉积设备而言，真空腔体10内上电极板101的下底面到真空腔体10内下底面的距离Y(图5中Y部分)是固定不变的；并且，真空腔体10内下电极板102、十字型陶瓷支撑板104以及反光板04的厚度也是固定不变的；因此，间距值与所述X和Y具有固定的关系，通过确定X部分的数值，即可确定间距值的实时数值。
[0082]此外，所述监视单元还包括与所述测距单元连接的比较单元和报警单元，所述比较单元用于将所述间距的长度分别与预设数值范围的最大值和最小值进行比较，所述报警单元用于在所述监视单元显示的间距值超出预设数值范围(大于最大值或小于最小值)时，发出报警信号，从而可以及时通知工作人员停止设备量产工作，避免量产产品的质量异
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[0083]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本【技术领域】的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1.一种具有间距监控功能的装置，包括上基板和下基板，所述上基板和所述下基板之间具有间距；其特征在于，所述装置还包括至少一个测距单元，所述测距单元用于测试所述间距的长度； 所述装置还包括与所述测距单元连接的监视单元，所述监视单元用于提示所述测距单元得到的测试结果。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测距单元为激光测距单元，所述激光测距单元包括激光发射器和激光接收器； 所述装置还包括反光板，所述反光板用于将所述激光发射器发射的激光反射到所述激光接收器。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括腔体，所述上基板和所述下基板设置在所述腔体内。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述上基板相对所述腔体的上底面固定设置，所述下基板相对所述上基板移动； 所述激光测距单元设置在所述腔体的下底面外侧；所述反光板设置在所述下基板靠近所述腔体下底面的一侧表面，并与所述激光测距单元相对应；或者， 所述下基板相对所述腔体的下底面固定设置，所述上基板相对所述下基板移动； 所述激光测距单元设置在所述腔体的上底面外侧；所述反光板设置在所述上基板靠近所述腔体上底面的一侧表面，并与所述激光测距单元相对应。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，针对所述激光测距单元设置在所述腔体的下底面外侧的情况，所述腔体的下底面包括与所述激光测距单元相对应的镂空部分；所述装置还包括设置在所述腔体的下底面并与所述镂空部分匹配的透明固定块； 针对所述激光测距单元设置在所述腔体的上底面外侧的情况，所述腔体上底面包括与所述激光测距单元相对应的镂空部分；所述装置还包括设置在所述腔体的上底面并与所述镂空部分匹配的透明固定块。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述镂空部分的形状为O形孔； 所述装置还包括设置在所述透明固定块与所述O形孔之间的O形密封圈。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测距单元为超声波测距单元，所述超声波测距单元包括超声波发射器和超声波接收器； 所述装置还包括非真空腔体，所述上基板和所述下基板设置在所述非真空腔体内； 其中，所述上基板相对所述非真空腔体的上底面固定设置，所述下基板相对所述上基板移动；所述超声波测距单元设置在所述非真空腔体的下底面内侧；或者， 所述下基板相对所述非真空腔体的下底面固定设置，所述上基板相对所述下基板移动；所述超声波测距单元设置在所述非真空腔体的上底面内侧。
8.根据权利要求4或7所述的装置，其特征在于，所述测距单元的个数为4个，并与所述下基板的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应；或者， 所述测距单元的个数为4个，并与所述上基板的两条垂直相交的中线的4个顶点相对应。
9.根据权利要求4或7所述的装置，其特征在于，所述测距单元的个数为8个，且两两相对所述下基板的对角线对称；或者，所述测距单元的个数为8个，且两两相对所述下基板的对角线对称。
10.根据权利要求2或7所述的装置，其特征在于，所述装置还包括与所述测距单元及所述监视单元均连接的数据处理单元，所述监视单元为显示屏，所述数据处理单元用于根据所述测距单元的发射器发出激光或声波到被所述测距单元的接收器接收所用的时间，计算得到所述间距的长度，并且，将所述间距的长度数值发送给所述监视单元进行显示。
11.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述监视单元包括与所述测距单元连接的比较单元和报警单元，所述比较单元用于将所述间距的长度分别与预设数值范围的最大值和最小值进行比较，所述报警单元用于在所述监视单元显示的所述间距的长度超出预设数值范围时，发出报警 信号。
【文档编号】G01S17/08GK203643706SQ201320865267
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年12月25日 优先权日:2013年12月25日
【发明者】刘强, 刘 东, 高会朝, 艾青南 申请人:北京京东方光电科技有限公司