一种在线测量玻璃基板厚度的装置制造方法

文档序号:6053907阅读:229来源:国知局
一种在线测量玻璃基板厚度的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种在线测量玻璃基板厚度的装置,结构中包括测厚传感器组件、和设置在所述测厚传感器组件测试端的玻璃基板夹持部件,关键在于:所述夹持部件和测厚传感器组件定位设置在与底座滑动配合的滑台上、具有同步滑动的自由度、形成测厚传感器组件的随动机构。将传感器组件和夹持部件并排设置在移动滑台上,测量时如果玻璃出现翘曲或者摆动,夹持部件带动测厚传感器同步随动,保持玻璃与测厚传感器之间的距离恒定,提高测量的精度。
【专利说明】一种在线测量玻璃基板厚度的装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于玻璃制造领域,涉及玻璃基板测厚装置,具体的说是一种在线测量玻璃基板厚度的装置。
【背景技术】
[0002]在玻璃基板生产线上,其厚度测量多采用垂直吊装结合测厚传感器来实现,因测厚装置距离退火炉很近而且玻璃的传送方式为垂直吊装,玻璃不可避免地会出现翘曲和摆动。当玻璃出现摆动或翘曲时,对于目前测厚系统中常采用的玻璃移动、传感器固定不动的方式,如果传感器固定不动,可能导致玻璃超出传感器的测量范围而测量不到玻璃的厚度值;而对于部分结合板式夹持和移动式测厚传感器的测厚装置,板式夹持容易对玻璃造成擦划伤,另外玻璃摆动或翘曲时,传感器与玻璃基板的距离无法保持恒定,影响测量的精度。

【发明内容】

[0003]本实用新型为了提高玻璃基板生产线上厚度测量的精度,将传感器组件和夹持部件并排设置在移动滑台上,测量时如果玻璃出现翘曲或者摆动,夹持部件带动测厚传感器同步随动,保持玻璃与测厚传感器之间的距离恒定,提高测量的精度。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种在线测量玻璃基板厚度的装置,结构中包括测厚传感器组件、和设置在所述测厚传感器组件测试端的玻璃基板夹持部件,关键在于:所述夹持部件和测厚传感器组件定位设置在与底座滑动配合的滑台上、具有同步滑动的自由度、形成测厚传感器组件的随动机构。
[0005]本实用新型的有益效果是:1、将传感器组件和夹持部件并排设置在移动滑台上,测量时如果玻璃出现翘曲或者摆动,夹持部件带动测厚传感器同步随动,保持玻璃与测厚传感器之间的距离恒定,提高了测量的精度。2、在气爪上设置夹持滚轮,夹持滚轮与玻璃为点接触,有效地减少了玻璃的擦划伤。3、将测厚传感器借助支架设置在丝杠丝母螺旋微调器滑动丝母上,可以微调测厚传感器与玻璃基板的距离,使玻璃基板处于传感器的最佳测量区。
【专利附图】

【附图说明】
[0006]图1是本实用新型夹持滚轮夹紧玻璃基板时的结构示意图;
[0007]图2是本实用新型夹持滚轮松开玻璃基板时的结构示意图
[0008]附图中,1-1是底座,1-2是滑轨,1-3是滑台,2是玻璃基板,3-1是安装座,3_2是夹持滚轮,3-3是气爪,4-1是 支架,4-2是测厚传感器,4-3是丝杠丝母螺旋微调器,5是吊装装置。
【具体实施方式】[0009]一种在线测量玻璃基板厚度的装置,结构中包括测厚传感器组件、和设置在所述测厚传感器组件测试端的玻璃基板2夹持部件,关键在于:所述夹持部件和测厚传感器组件定位设置在与底座1-1滑动配合的滑台1-3上、具有同步滑动的自由度、形成测厚传感器组件的随动机构。
[0010]夹持部件包括借助安装座3-1设置在滑台1-3上的一对气爪3-3和设置在气爪
3-3相对端的夹持滚轮3-2,夹持滚轮3-2借助滑动设置在安装座3-1上的气爪3_3形成开、合结构。测量时,两侧气爪3-3沿安装座相向滑动,带动夹持滚轮3-2夹紧玻璃基板2。采用由聚氨酯材料制成的夹持滚轮,可有效避免对玻璃的擦划伤。
[0011]测厚传感器组件包括设置在滑台1-3上的丝杠丝母螺旋微调器4-3、及借助支架
4-1置于丝杠丝母螺旋微调器4-3滑动丝母上的测厚传感器4-2,测厚传感器4-2具有滑动调整其与玻璃基板2距离的自由度。可以在测量时,根据具体情况微调测厚传感器与玻璃基板的距离,使玻璃基板处于传感器的最佳测量区。
[0012]具体实施时,将传感器组件和夹持部件固定安装在滑台1-3上,滑台1-3借助滚珠或滚柱设置在定位于底座1-1上的滑轨1-2上,可沿滑轨1-2自由滑动。传感器组件与夹持部件保持距离恒定,且可随夹持部件一起沿滑轨1-2自由运动。当吊装装置5带动玻璃基板到达测量区域时,气爪3-3动作带动夹持滚轮3-2夹紧玻璃,当玻璃基板2出现翘曲和摆动时,就会带动夹持部件、滑台1-3及传感器组件沿滑轨1-2滑动。
[0013]测厚传感器4-2通过支架4-1设置在丝杠丝母螺旋微调器4-3的滑动丝母上,螺旋微调器4-3采用千分尺旋钮形式,通过旋转旋钮可以使测厚传感器4-2前进和后退,实现测厚传感器4-2与夹持部件之间距离的微调,从而实现测厚传感器4-2与玻璃基板2之间距离的调节,保证玻璃基板处于传感器的最佳测量区。
【权利要求】
1.一种在线测量玻璃基板厚度的装置,结构中包括测厚传感器组件、和设置在所述测厚传感器组件测试端的玻璃基板(2)夹持部件,其特征在于:所述夹持部件和测厚传感器组件定位设置在与底座(1-1)滑动配合的滑台(1-3)上、具有同步滑动的自由度、形成测厚传感器组件的随动机构。
2.根据权利要求1所述的一种在线测量玻璃基板厚度的装置,其特征在于:所述的夹持部件包括借助安装座(3-1)设置在滑台(1-3)上的一对气爪(3-3)和设置在气爪(3-3)相对端的夹持滚轮(3-2),夹持滚轮(3-2)借助滑动设置在安装座(3-1)上的气爪(3-3)形成开、合结构。
3.根据权利要求1所述的一种在线测量玻璃基板厚度的装置,其特征在于:所述的测厚传感器组件包括设置在滑台(1-3)上的丝杠丝母螺旋微调器(4-3)、及借助支架(4-1)置于丝杠丝母螺旋微调器(4-3)滑动丝母上的测厚传感器(4-2),测厚传感器(4-2)具有滑动调整其与玻璃基板(2)距离的自由度。
4.根据权利要求2所述的一种在线测量玻璃基板厚度的装置,其特征在于:所述夹持滚轮(3-2)采用聚氨酯材料制成。
【文档编号】G01B21/08GK203785657SQ201420203696
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年4月24日 优先权日:2014年4月24日
【发明者】董润滋, 周波 申请人:东旭集团有限公司
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