一种压电石英晶组快速制作装置的制作方法

文档序号:11822862阅读:152来源:国知局
一种压电石英晶组快速制作装置的制作方法

本发明是一种针对压电传感器的压电石英晶片组制作的装置,属于传感器专用装置制作技术领域,特别涉及压电石英式传感器力敏元件——压电石英晶组的快速精确高效的制作,也可以用作其它相似元件的预紧和制作。



背景技术:

压电式传感器是一种基于压电效应的力传感器,其特点是尺寸小、稳定性好、强度高、较高的固有频率和灵敏度,特别适合动态测量。目前,压电式传感器已经在军事工程、航空航天设备等领域的推力测量特别是多维力测量方面有了非常重要的应用。压电式传感器的力敏元件是压电石英晶组,石英晶组由多个xy切型或者多个yx切型石英晶片或者有多个xy、yx切型石英晶片组合制作而成的,而压电石英晶组制作的好坏直接影响着传感器的测量精度和灵敏度,如何快速、精确的对石英晶组进行制作是压电式传感器设计、制造和推广应用的重要一环,本发明提供一种结构简单、操作方便、精确度高的石英晶组专用制作装置。



技术实现要素:

本发明提供了一种结构简单、制作快速精确、操作方便的压电石英晶组专用制作装置,能够实现压电式传感器力敏元件——石英晶组的快速精确高效的制作,满足实验设计和生产的需要。

本发明所采用的技术方案为:压电石英晶组制作装置由螺杆1、横梁2、压架3、压板4、垫块5、滑块6、工作台7、支撑柱8、螺钉9等部分组成。所述的工作台7上开有矩形定位槽,槽的各表面较光滑,可容所述的滑块6在槽中横向移动,对晶组进行定位;所述垫块5通过螺钉安装在工作台7上,对定位后的滑块6进行压紧,防止其滑动。所述支撑柱8伸入工作台7上的支撑柱定位孔13中,通过焊接垂直固定在所述的工作台7上;所述横梁2垂直焊接在支撑柱8上,保持和工作台7上表面平行,横梁2上开有螺纹孔;所述螺杆1通过螺纹孔安装在横梁2上,螺杆1底端开有螺纹孔;所述压架3底部圆周均布四个矩形槽,顶部开有螺纹孔,上下端面有较高的平面度而且较光滑,压架3通过螺钉与螺杆1底端连接,保持压架3下端面与工作台7的上表面平行,通过旋转螺杆1,使螺旋杆1和压架3向下移动,对石英晶片进行压紧。所述压板4上开有U型槽13,可使压板4穿过支撑柱8,放置在工作台7上;压板4上开有与工作台7螺纹孔位置相对应的沉头孔,在总装过程中通过螺钉连接安装在工作台7上,压板4可上下调整高度,对石英晶片组进行压紧。

本发明的有益效果是提供了一种结构简单、制作快速精确、操作方便的压电石英晶组专用制作装置,能够有效的解决压电石英晶组制作过程中晶片的对准及预压紧的问题,也可以对与石英晶组相似的元件进行压紧制作。

附图说明

图1是本发明装置的结构爆炸图。

图2是本发明的装置的结构图。

图3是工作台7的结构图。

图4是石英晶片示意图。

具体实施方式

为能清楚说明本方案的技术特点,下面通过附图说明本方案的具体实施方法以及结合多维力压电石英晶组的制作说明其工作原理。

如图1所示,该压电石英晶组制作装置主要由螺杆1、横梁2、压架3、压板4、垫块5、滑块6、工作台7、支撑柱8、螺钉9等部分组成。所述的工作台7(如图3所示)上开有矩形定位槽,槽的各表面较光滑,两内侧面10与工作台7上表面相互垂直,可放置滑块6在槽中实现横向(x方向)移动,对晶片组进行横向的定位;工作台7上开有四个同样规格的螺纹孔14;定位槽中心设有矩形凸台11,矩形凸台11上表面具有较高的平面度,用于平整的放置石英晶片,矩形凸台11的两侧面与工作台7上端面相互垂直;矩形凸台11上设有定位圆柱12,定位圆柱12具有较高的圆柱度,其轴线与工作台7上表面相互垂直,对石英晶片进行横向和纵向(y方向)的定位。所述垫块5通过螺钉安装在工作台上,对所述滑块6进行压紧防止其滑动。所述压板4上开有U型槽13,可使压板4穿过支撑柱8,放置在工作台7上;压板4上开有四个与工作台7螺纹孔位置相对应的沉头孔15,在总装过程中通过螺钉连接安装在工作台7上,压板4可上下调整高度,对石英晶片组进行压紧。所述支撑柱8放置在工作台7上的支撑柱安装孔13中,通过焊接垂直固定在所述的工作台7上。所述横梁2垂直焊接在支撑柱8上,保持和工作台7上表面平行,横梁2上开有螺纹孔。所述螺杆1的上端开有一通孔,用以施加旋转力;螺杆1通过螺纹孔安装在横梁2上,保证螺杆1与工作台7上表面垂直;螺杆1底端面较平整,螺杆1的底端面开有螺纹孔。所述压架3下端均布四个矩形槽,顶部开有螺纹孔,上端面较平整,压架3通过螺钉与螺杆1底端链接,保证螺杆1、压架3的中心线重合且垂直于工作台7的上表面,保证压架3下端面与工作台7的上表面平行,压架3下端面表面光滑;通过驱动装置旋转螺杆1,使螺旋杆1和压架3向下移动,在制作石英晶组的过程中对石英晶片进行压紧。以一种六维压力传感器的石英晶组(两片垫片、两片xy切型晶片、四片yx切型晶片等组成)的制作为例,说明其工作过程。

(1)制作xy切型的石英单元晶组,将xy切型的第一石英晶片(输出电荷为“-”的一面向上)置于工作台7的工作槽的凸台11上,电极引出端与y轴向平行,将输出电极两面涂导电胶均匀布置在晶片上,以石英晶片的大倒角A(如图4)为对齐基准,将xy切型的第二石英晶片(输出电荷为“-”的一面向下)与第一石英晶片对装;将两个滑块6放置在定位槽中,推动其中一个滑块6,至滑块6接触到晶组的侧面,将垫块5通过螺钉安装在工作台7上,压紧滑块6,再以相同方法放置第二个滑块6,可以方便的保持晶片间的对齐,防止晶片滑移;通过驱动装置旋转螺杆1,使压架3向下压紧,对晶组进行预压紧至胶干,若制作的石英晶组的高度略超过工作台7的高度,可以使用压板4对石英晶组进行压紧保持至胶干。

(2)制作yx切型的石英单元晶组,制作方法和(1)中 xy切型的石英单元晶组的制作方法相同。

(3)压电石英晶组的总装,将垫片(垫片与晶片形状相同)置于工作台7的工作槽的凸台11上,电极引出端与y轴向平行,将输出电极两面涂导电胶布置在垫片上,以大倒角A(如图4)为对齐基准,将第一块yx切型的石英单元晶组放置在垫片上,以相同的方法依次放置接地电极、第二块yx切型的石英单元晶组、接地电极、xy切型的石英单元晶组、接地电极和垫片,通过(1)所述的定位和预压紧方法进行操作后,将压板4通过螺钉安装在工作台7上,对晶组进行压紧保持至胶干。

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