距离图像传感器的制作方法

文档序号:12287108阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种距离图像传感器,其在一维方向上配置有多个距离传感器,其中,

所述多个距离传感器分别具备:

电荷产生区域,其根据入射光而产生电荷;

第一及第二信号电荷存储区域,其与所述电荷产生区域隔开间隔且在所述一维方向上夹着所述电荷产生区域而配置,将在所述电荷产生区域产生的电荷作为信号电荷进行存储;

第一传输电极,其配置在所述第一信号电荷存储区域和所述电荷产生区域之间,根据第一传输信号使在所述电荷产生区域产生的电荷作为信号电荷流入到所述第一信号电荷存储区域;以及

第二传输电极,其配置在所述第二信号电荷存储区域和所述电荷产生区域之间,根据相位与所述第一传输信号不同的第二传输信号使在所述电荷产生区域产生的电荷作为信号电荷流入到所述第二信号电荷存储区域,

在所述一维方向上连续排列的任意三个所述距离传感器中,

所述三个距离传感器中的位于中央的距离传感器和位于比该距离传感器更靠近所述一维方向上的一侧的距离传感器中,所述第一信号电荷存储区域彼此在所述一维方向上相邻,或者所述第二信号电荷存储区域在所述一维方向上相邻,

所述三个距离传感器中的位于中央的所述距离传感器和位于比该距离传感器更靠近所述一维方向上的另一侧的距离传感器中,所述第一信号电荷存储区域和所述第二信号电荷存储区域在所述一维方向上相邻。

2.一种距离图像传感器,其在一维方向上配置有多个距离传感器,其中,

所述多个距离传感器分别具备:

电荷产生区域,其根据入射光而产生电荷;

第一及第二信号电荷存储区域,其与所述电荷产生区域隔开间隔且在所述一维方向上夹着所述电荷产生区域而配置,将在所述电荷产生区域产生的电荷作为信号电荷进行存储;

第一传输电极,其配置在所述第一信号电荷存储区域和所述电荷产生区域之间,根据第一传输信号使在所述电荷产生区域产生的电荷作为信号电荷流入到所述第一信号电荷存储区域;以及

第二传输电极,其配置在所述第二信号电荷存储区域和所述电荷产生区域之间,根据相位与所述第一传输信号不同的第二传输信号使在所述电荷产生区域产生的电荷作为信号电荷流入到所述第二信号电荷存储区域,

在所述一维方向上交替地排列有,由在所述一维方向上所述第一信号电荷存储区域彼此相邻的两个所述距离传感器构成的距离传感器组、和由在所述一维方向上所述第二信号电荷存储区域彼此相邻的两个所述距离传感器构成的距离传感器组。

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