1.一种包括自激振荡电源单元的感应耦合型等离子体分析仪，所述自激振荡电源单元用于向缠绕在等离子体焰炬周围的感应线圈提供用于产生等离子体的射频电力，所述分析仪包括：
a)频率测量部，用于测量所述电源单元的输出频率；
b)存储部，保存针对每种类型的等离子体焰炬的参考输出频率；以及
c)焰炬检查器，用于确定在点燃所述等离子体之后由频率测量部测量到的输出频率是否与保存在所述存储部中的所述参考输出频率中的任一参考输出频率一致，并用于对确定结果进行通知。
2.根据权利要求1所述的感应耦合型等离子体分析仪，还包括：
d)自动焰炬设置器，用于当确定与在由所述焰炬检查器进行的所述确定中使用的参考输出频率相对应的等离子体焰炬的类型不同于被安装在所述感应耦合型等离子体分析仪中的等离子体焰炬的类型时，自动将参考输出频率或参考输出频率差切换为与不同类型的等离子体焰炬相对应的值。
3.根据权利要求1或2所述的感应耦合型等离子体分析仪，还包括：
e)控制器，用于当确定与在由所述焰炬检查器进行的所述确定中使用的参考输出频率相对应的等离子体焰炬的类型不同于被安装在所述感应耦合型等离子体分析仪中的等离子体焰炬的类型时，自动将参数设置改变为针对所安装的等离子体焰炬的最优值。
4.根据权利要求1所述的感应耦合型等离子体分析仪，还包括：
f)电源停止器，用于当对确定测量到的输出频率与对应于由操作员在控制单元中事先设置的等离子体焰炬的类型的参考输出频率不同进行通知时，断开向缠绕在所述等离子体焰炬周围的感应线圈提供来自所述电源单元的射频电力。
5.一种包括自激振荡电源单元的感应耦合型等离子体分析仪，所述自激振荡电源单元用于向缠绕在等离子体焰炬周围的感应线圈提供用于产生等离子体的射频电力，所述分析仪包括：
a)频率测量部，用于测量所述电源单元的输出频率；
b)存储部，保存针对每种类型的等离子体焰炬的参考输出频率差，所述参考输出频率差是在点燃等离子体之前和之后分别测量的两个输出频率之差；以及
c)焰炬检查器，用于确定由所述频率测量部分别在点燃等离子体之前和之后测量到的输出频率之差是否与保存在所述存储部中的参考输出频率差中的任一参考输出频率差一致，并用于对确定结果进行通知。
6.根据权利要求5所述的感应耦合型等离子体分析仪，还包括：
d)自动焰炬设置器，用于当确定与在由所述焰炬检查器进行的所述确定中使用的参考输出频率差相对应的等离子体焰炬的类型不同于被安装在所述感应耦合型等离子体分析仪中的等离子体焰炬的类型时，自动将参考输出频率或参考输出频率差切换为与不同类型的等离子体焰炬相对应的值。
7.根据权利要求5或6所述的感应耦合型等离子体分析仪，还包括：
e)控制器，用于当确定与在由所述焰炬检查器进行的所述确定中使用的参考输出频率差相对应的等离子体焰炬的类型不同于被安装在所述感应耦合型等离子体分析仪中的等离子体焰炬的类型时，自动将参数设置改变为针对所安装的等离子体焰炬的最优值。
8.根据权利要求5所述的感应耦合型等离子体分析仪，还包括：
f)电源停止器，用于当对确定分别在点燃等离子体之前和之后测量到的输出频率之差不同于与由操作员在控制单元中事先设置的等离子体焰炬的类型相对应的参考输出频率差进行通知时，断开向缠绕在所述等离子体焰炬周围的感应线圈提供来自所述电源单元的射频电力。
9.根据权利要求1或5所述的感应耦合型等离子体分析仪，还包括：
g)焰炬点燃检测器，用于检测等离子体焰炬中的等离子体的点燃。
10.一种针对包括等离子体焰炬和自激振荡电源单元的感应耦合型等离子体分析仪的等离子体焰炬检查方法，所述自激振荡电源单元用于向缠绕在所述等离子体焰炬周围的感应线圈提供用于产生等离子体的射频电力，所述方法包括以下步骤：
测量所述电源单元的输出频率；以及
确定测量到的输出频率是否与保存在存储部中的参考输出频率一致，并对确定结果进行通知。