一种基板破损检测方法与流程

文档序号:11860339阅读:385来源:国知局

本发明涉及一种用于检测基板破损的方法。



背景技术:

基板在投入的过程中,设备根据基板的O/F 角(用来识别基板方向的缺角),来判断投入CASSETTE (料盒)的方向。由购买来的ALIGNMENT TABLE (对位平台)上,只有一个检测O/F 角的传感器,假设基板除了O/F角以外,其余三个角有一定的小破损或者此枚基板在投入前方向已经错误的话,那么根据由安川机械手购买来的ALINMENT TABLE (对位平台)的单一个O/F 传感器的话,即识别不了基板方向错误,更不能识别基板有破碎,这枚即方向错又破碎的基板(人眼发现不了)情况下投入生产,这样就必定影响生产,破坏设备。



技术实现要素:

本发明的目的是提供一种能够在投入基板时检测基板破损的方法。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的:

一种基板破损检测方法,其特征在于,其在与基板四角对应的位置分别设有一个传感器。

其中,各该传感器为光传感器,其在未被遮光时发出破损报警,且各该传感器设置在被测基板的对角线上。

各该传感器所设置的位置与被测基板的边的距离最小为7 毫米。

各该传感器沿被测基板的对角线相对于基板的位移最大为40 毫米。

本发明的积极进步效果在于:能够检测基板四角的破损,避免四角破损的基板进入生产线。

附图说明

图1 为本发明实施例中传感器设置位置示意图。

具体实施方式

下面结合附图给出本发明较佳实施例,以详细说明本发明的技术方案。

一种基板破损检测方法,其特征在于,其在与基板2 的四角对应的位置分别设有一个传感器1,其中,各该传感器为光传感器。这四个传感器与O/F 角检测的传感器3的不同点在与: O/F 角传感器是在没有基板遮光的情况下才是正常状态,一旦有基板或物体对此传感器遮光了就立即报警:而添加的四个传感器是在被基板遮光的情况是正常状态,在未被遮光时发出报警,如果传感器的发射光没有被基板挡住,就检测此角已经破碎。

如图1 所示,各该传感器设置在被测基板的对角线上。各该传感器所设置的位置与被测基板的边的距离Ll 最小为7 毫米。

并且,各该传感器沿被测基板的对角线相对于基板的位移L2 最大为40毫米,即,各该传感器可沿被测基板的对角线在40 厘米的范围内相对于被测基板移动。

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