探针的保持结构的制作方法

文档序号:12746840阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种探针的保持结构,其特征在于,

该探针的保持结构包括探针和保持所述探针的两端部并配置在电极基板与被检查基板之间的探针用夹具,

所述探针用夹具包括保持所述探针的后端部并以能够与电极基板接触的方式配置于该电极基板的基部,

在所述基部上设有供所述探针贯穿的多个贯穿孔,

所述贯穿孔包括与所述电极基板相面对的大径部和与所述大径部连续的小径部,在所述大径部与所述小径部之间形成有阶梯部,

所述探针包括内置于所述大径部并形成得比所述小径部大径的环状的卡定部。

2.根据权利要求1所述的探针的保持结构,其特征在于,

所述贯穿孔的大径部与其他大径部相连地形成。

3.根据权利要求1或2所述的探针的保持结构,其特征在于,

所述阶梯部通过将所述贯穿孔设为阶梯孔而形成。

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