技术总结
为了以较低的成本实现高精度的、不需要设置伪栅电极之类的辅助结构的半导体检测，并在信号处理期间考虑到对触压探针压力信号水平的自动处理，同时进行远程检测状态的传输和监控，本发明提供了一种石墨烯探针感测单元的远程芯片检测系统，包括：半导体驱动单元、触压探针水平驱动单元、触压探针垂直驱动单元、电气检测单元、压力检测单元和远程通信单元，所述半导体驱动单元、触压探针水平驱动单元和触压探针垂直驱动单元相互之间被驱动信号线串联连接且被依次驱动，且所述压力检测单元被所述触压探针垂直驱动单元的驱动完毕信号作为驱动的起始信号，所述压力检测单元输出的信号被输入到所述电气检测单元。
技术研发人员：刘颖
受保护的技术使用者：成都汇智远景科技有限公司
文档号码：201610770904
技术研发日：2016.08.30
技术公布日：2017.01.04