1.一种近边X射线吸收谱仪,其特征在于,包括:
光源,滤光片馈入部件,样品腔,狭缝,分光元件,光谱探测器,光源探测器,真空获取系统;
所述光源出射的光通过所述光源探测器记录和调整后依次经过所述滤光片馈入部件,样品腔,狭缝,分光元件后通过所述光谱探测器进行探测;
所述样品腔里可放置样品;
所述分光元件设置在分光元件腔中;
所述真空获取系统用于对所述光源腔、样品腔和分光元件腔进行抽真空。
2.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述光源包括激光器,聚焦物镜以及靶材;
所述激光器发出的光经过聚焦物镜后聚焦至靶材上。
3.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述靶材为氪气或氮气。
4.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述光源探测器为针孔相机,用于辅助调整光源点位置。
5.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述滤光片馈入部件包括Ti膜。
6.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述分光元件为光栅。
7.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述光栅为具有平场特性的球面变线距光栅。
8.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述光谱探测器为面阵CCD。
9.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述真空获取系统包括第一真空获取系统和第二真空获取系统;
所述第一真空获取系统设置在光源上用于对所述光源抽真空;
所述第二真空获取系统设置在样品腔上,用于对所述样品腔和分光元件腔抽真空。
10.如权利要求1所述的近边X射线吸收谱仪,其特征在于,所述第一真空获取系统和第二真空获取系统分别包括:初级泵,次级泵以及角阀。