一种近边X射线吸收谱仪的制作方法

文档序号:12451810阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种近边X射线吸收谱仪,所述近边X射线吸收谱仪包括光源,滤光片馈入部件,样品腔,狭缝,分光元件,光谱探测器,光源探测器,真空获取系统;所述光源出射的光通过所述光源探测器记录和调整后依次经过所述滤光片馈入部件,样品腔,狭缝,分光元件后通过所述光谱探测器进行探测;所述样品腔里可放置样品;所述分光元件设置在分光元件腔中;所述真空获取系统用于对所述光源腔、样品腔和分光元件腔进行抽真空。本发明提供的小型近边X射线吸收谱仪能方便地得到待测样品的NEXAFS信息。

技术研发人员:陈晨曦阳;谢耀;周烽;王君
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
文档号码:201611168143
技术研发日:2016.12.16
技术公布日:2017.05.31

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