芯片自动检测装置的制作方法

文档序号:12446615阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于集成电路芯片生产加工检测技术领域,公开了一种芯片自动检测装置,包括工作台、设置在所述工作台中间的机器人、控制模块,所述工作台的四周分别设置料仓和多个芯片检测盒,在所述料仓侧边通过相机支架设置视觉相机,所述料仓包括上料仓和下料仓,在所述料仓靠近所述机器人的一侧为上料工位,在所述上料工位的侧边设置废料盒。本实用新型实现了对芯片的检测的自动化,检测效率高,减少了人工干预带来的不利因素。

技术研发人员:任宁
受保护的技术使用者:上海恒浥智能科技股份有限公司
文档号码:201620014883
技术研发日:2016.01.08
技术公布日:2016.12.14

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