一种离线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池，尤其涉及一种离线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置。

背景技术：

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳电池中，晶体硅太阳电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时晶体硅太阳电池相比其他类型的太阳能电池有着优异的电学性能和机械性能，因此，晶体硅太阳电池在光伏领域占据着重要的地位。

现有技术中，晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括：清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷、烧结、电池片测试。其中，刻蚀是晶体硅太阳能电池生产过程中的一个重要工序，刻蚀工序的目的是将硅片非扩散面及侧面PN结以化学方法腐蚀掉，而业内检测刻蚀效果较为普遍的方法是刻蚀后下料处人工取片，对硅片进行抽测，通过使用万用表的欧姆表笔测试刻蚀后硅片侧面两点间电阻，以确定硅片是否欠刻，是否合格。整个测试为人工操作，两表笔间距离难于控制，同时表笔与硅片难于保证垂直，即表笔与硅片的接触面积不稳定，这些都会影响测试的准确性，容易导致未被刻通的硅片流入后道，导致电池边缘漏电。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种离线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种离线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置，包括一用于承载硅片的底座和四对欧姆表表笔，四对欧姆表表笔分别对应于硅片的四条侧边缘设置，且各欧姆表表笔与底座之间绝缘设置，底座与硅片之间绝缘设置；

两条相对的侧边缘对应的两对欧姆表表笔中，至少一对欧姆表表笔相对于底座在垂直于对应侧边缘的方向上移动设置；

每对欧姆表表笔中至少一支欧姆表表笔沿平行于硅片对应侧边缘的方向上移动设置。

上述方案中，所述欧姆表表笔在水平方向上相对于所述底座平移。

上述方案中，各欧姆表表笔与对应的驱动机构连接，欧姆表表笔与驱动机构之间绝缘设置。

上述方案中，所述底座的尺寸小于硅片尺寸。

上述方案中，每对欧姆表表笔均相对于所述底座在垂直于硅片对应侧边缘的方向上移动设置。

上述方案中，每对欧姆表表笔中的两支欧姆表表笔均相对于底座在平行于硅片对应侧边缘的方向上移动设置。

上述方案中，对应于各欧姆表表笔设置有位置控制器。

上述方案中，在测试状态下，欧姆表表笔的测试端垂直于硅片上对应的侧边缘。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1．本实用新型硅片两条相对的侧边缘对应的两对欧姆表表笔之间的间距可调，加载硅片时，将各对欧姆表表笔在会见的间距拉开，以便于硅片的载入，硅片载入完成后，各对欧姆表表笔向硅片靠拢，直至欧姆表表笔的测试端稳定接触硅片的侧边缘，以此对硅片侧边缘电阻进行测试，能够同时对硅片边缘电阻进行多点测试，测试效率高；

2. 本实用新型欧姆表表笔的测试端与硅片侧边缘之间的接触面积固定，且易于实现表笔测试端与硅片侧边缘进行垂直测试，能够保证测试的准确性及稳定性；

3. 本实用新型每对欧姆表表笔中两支欧姆表表笔之间的间距可调，以实现多点测量，操作简单，使用可靠。

附图说明

图1为本实用新型实施例一硅片载入状态结构示意图。

图2为本实用新型实施例一测试状态结构示意图。

图3为本实用新型实施例一连接杆及驱动机构连接关系示意图。

其中：1、底座；2、硅片；3-1、第一欧姆表表笔；3-2、第二欧姆表表笔；3-3、第三欧姆表表笔；3-4、第四欧姆表表笔；3-5、第五欧姆表表笔；3-6、第六欧姆表表笔；3-7、第七欧姆表表笔；3-8、第八欧姆表表笔；4、连接杆；5、驱动电机。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一：

参见图1~3所示，一种离线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置，包括一用于承载硅片2的底座1和四对欧姆表表笔（分别为第一欧姆表表笔3-1和第二欧姆表表笔3-2、第三欧姆表表笔3-3和第四欧姆表表笔3-4、第五欧姆表表笔3-5和第六欧姆表表笔3-6、第七欧姆表表笔3-7和第八欧姆表表笔3-8），四对欧姆表表笔分别对应于硅片2的四条侧边缘设置，且各欧姆表表笔与底座1之间绝缘设置，底座1与硅片2之间绝缘设置，可以在底座1与硅片2之间设置绝缘层，也可以整个底座1采用绝缘材料制成，为了保护硅片2，底座1应采用硬度低的材料；其中：

各欧姆表表笔相对于所述底座1在水平方向上平移，实际应用中，各欧姆表表笔若相对于底座1在竖直方向上平移，或者倾斜着靠近/远离底座1，也可达到相同效果，只要远离底座1时便于硅片2的放入即可；

第一欧姆表表笔3-1和第二欧姆表表笔3-2通过同一驱动电机5驱动以靠近或远离对应的硅片2的侧边缘，第三欧姆表表笔3-3和第四欧姆表表笔3-4通过同一驱动电机5驱动以靠近或远离对应的硅片2的侧边缘，第五欧姆表表笔3-5和第六欧姆表表笔3-6通过同一驱动电机5驱动以靠近或远离对应的硅片2的侧边缘，第七欧姆表表笔3-7和第八欧姆表表笔3-8通过同一驱动电机5驱动以靠近或远离对应的硅片2的侧边缘；实际应用中，对应每支欧姆表表笔分别设置驱动电机5，也可达到相同效果；

同时，第一欧姆表表笔3-1和第六欧姆表表笔3-6由同一驱动电机5驱动沿平行于其对应的硅片2侧边缘的方向移动，第二欧姆表表笔3-2和第五欧姆表表笔3-5由同一驱动电机5驱动沿平行于其对应的硅片2侧边缘的方向移动，以此实现第一欧姆表表笔3-1与第二欧姆表表笔3-2之间的间距可调以及第五欧姆表表笔3-5与第六欧姆表表笔3-6之间的间距可调；第三欧姆表表笔3-3和第八欧姆表表笔3-8由同一驱动电机5驱动沿平行于其对应的硅片2侧边缘的方向移动，第四欧姆表表笔3-4和第七欧姆表表笔3-7由同一驱动电机5驱动沿平行于其对应的硅片2侧边缘的方向移动，以此实现第三欧姆表表笔3-3与第四欧姆表表笔3-4之间的间距可调以及第七欧姆表表笔3-7与第八欧姆表表笔3-8之间的间距可调；在实际应用中，对应于每支欧姆表表笔分别设置驱动电机5以调整各对欧姆表中两支欧姆表表笔之间的间距，也可达到相同效果。

各欧姆表表笔通过连接杆4与驱动电机5连接，欧姆表表笔与连接杆4之间绝缘设置，各连接杆4均为伸缩杆。

所述底座1的尺寸小于硅片2尺寸，以使得欧姆表表笔的测试端与硅片2 的侧边缘可靠接触。

对应于各欧姆表表笔设置有位置控制器，以控制各欧姆表表笔相对于底座1及硅片2侧边缘的位置。

在测试状态下，欧姆表表笔的测试端垂直于硅片2上对应的侧边缘。

四对欧姆表表笔测试的结果反馈到主机上，根据结果反馈图像、声音，文字等有效信息，并可以根据需要设置报警值；反馈结果能告知每一条侧边缘的电阻大小，如果有电阻超报警值的情况，能自动识别有哪几条边超报警值，分别超报警值多少。

上述实施例中，各欧姆表表笔由驱动电机5驱动其移动，在实际应用中，也可通过人工手动移动欧姆表表笔，使其靠近或远离硅片2的侧边缘或者调整每对欧姆表表笔中两支欧姆表表笔的间距。

上述实施例中，若第一欧姆表表笔3-1和第二欧姆表表笔3-2与硅片2之间的间距固定，仅第六欧姆表表笔3-6和第五欧姆表表笔3-5与硅片2之间的间距可调，若第三欧姆表表笔3-3和第四欧姆表表笔3-4与硅片2之间的间距固定，仅第七欧姆表表笔3-7和第八欧姆表表笔3-8与硅片2之间的间距可调，也可达到相同效果。