集成电路直流测试探针设备的制作方法

文档序号:12941978阅读:341来源:国知局

本实用新型涉及电流测试装置技术领域,特别是涉及一种集成电路直流测试探针设备。



背景技术:

当前,集成电路的体积越来越小、功能越来越多,更高的集成度导致芯片面积越来越小,所需的测试要求探针越来越细,各个探针间距越来越近,对集成电路测试,尤其是研发阶段大量应用的手动测试、在片测试提出新的挑战。

与全自动测试相比,手动测试无需购买探针卡,无需进行测试编程,成本更低,测试更换方便,但测试时间较长,所以手动测试适合应用于产品研发阶段。在实际的手动探针测试过程中存在以下缺陷:由于探针越来越细,一旦操作不慎引起轻微碰撞即会损伤针尖,造成测试误差;手动测试一般用于研发阶段,所研发的产品尺寸不定,而探针针头伸缩量程一般较小,需移动探针基座,而现有的测试装置探针基座通常都是固定不动的。



技术实现要素:

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种集成电路直流测试探针设备,能够根据测试需要固定或移动探针基座。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种集成电路直流测试探针设备,包括探针台和探针基座,所述探针基座的一端设有探针,所述探针台内设有电磁控件,所述探针基座的底部设有软磁材料层,当所述电磁控件通电时,所述电磁控件对所述软磁材料层产生电磁吸力,将所述探针基座固定在所述探针台上,当所述电磁控件断电时,所述电磁吸力消失。

优选地,所述探针基座内设有手动驱动单元,所述手动驱动单元用于驱动所述探针前后、左右或上下移动。

优选地,相邻两个固定孔之间的间距为0.5~5cm,所述固定孔的深度为20~50mm。

优选地,所述固定孔的形状为正方形,所述固定孔的边长为0.5~5cm。

优选地,所述固定孔的形状为圆形,所述固定孔的直径为0.5~5cm。

区别于现有技术的情况,本实用新型的有益效果是:通过在探针台内设置电磁控件,在探针基座的底部设置软磁材料层,当电磁控件通电时,电磁控件吸住软磁材料层,探针基座被固定,当电磁控件断电时,电磁控件的电磁吸力消失,探针基座可在探针台上移动,从而能够根据测试需要固定或移动探针基座,可以便于探针的移动,探针不易损坏。

附图说明

图1是本实用新型实施例集成电路直流测试探针设备的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

参见图1,是本实用新型实施例集成电路直流测试探针设备的结构示意图。本实施例的集成电路直流测试探针设备包括探针台1和探针基座2,探针基座2的一端设有探针21,探针台1内设有电磁控件3,探针基座2的底部设有软磁材料层4,当电磁控件3通电时,电磁控件3对软磁材料层4产生电磁吸力,将探针基座2固定在探针台1上,当电磁控件3断电时,电磁吸力消失。

在本实施例中,探针基座2内设有手动驱动单元5,手动驱动单元5用于驱动探针21前后、左右或上下移动。

为了保证可靠性,软磁材料层4可以采用例如铁、钴、镍等及其合金等材料。

为了手动操作的方便,可以在探针基座2上设置探针操作面板,在探针台1上设置电源开关按钮,当需要固定探针基座2时,可打开电源开关按钮,电磁控件3通电,电磁控件3吸住软磁材料层4,使探针基座2固定在探针台1上,利于测试顺利进行。当需要移动探针基座2时,可关闭电源开关按钮,电磁控件3断电,电磁吸力消失,使得探针基座2可以在探针台1上自由移动。

探针21采用针扎的方式进行直流测试,可以在探针操作面板上控制探针21在小范围内前后、左右、上下移动。

以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

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