基于双面键合工艺的微色谱柱的制作方法

文档序号:12019066阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微色谱柱,其特征在于:包括:

一硅衬底,所述硅衬底的正面及反面均形成有微色谱柱所需的微沟道;

两键合片,分别键合于所述硅衬底的正面及反面,形成同一个硅衬底正面及反面上的两个微色谱柱。

2.根据权利要求1所述的微色谱柱,其特征在于:所述键合片为玻璃片,所述玻璃片与所述硅衬底为阳极键合。

3.根据权利要求1所述的微色谱柱,其特征在于:所述微沟道内还形成有多个沟道单元或/及微柱阵列。

4.一种微色谱柱,其特征在于:包括:

一键合片;

两硅衬底,所述两硅衬底表面均形成有微色谱柱所需的微沟道,且分别键合于所述键合片的正面及反面,形成同一个键合片正面及反面上的两个微色谱柱。

5.根据权利要求4所述的微色谱柱,其特征在于:所述键合片为玻璃片,所述玻璃片与所述硅衬底为阳极键合。

6.根据权利要求4所述的微色谱柱,其特征在于:所述微沟道内还形成有多个沟道单元或/及微柱阵列。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1