1.一种微色谱柱,其特征在于:包括:
一硅衬底,所述硅衬底的正面及反面均形成有微色谱柱所需的微沟道;
两键合片,分别键合于所述硅衬底的正面及反面,形成同一个硅衬底正面及反面上的两个微色谱柱。
2.根据权利要求1所述的微色谱柱,其特征在于:所述键合片为玻璃片,所述玻璃片与所述硅衬底为阳极键合。
3.根据权利要求1所述的微色谱柱,其特征在于:所述微沟道内还形成有多个沟道单元或/及微柱阵列。
4.一种微色谱柱,其特征在于:包括:
一键合片;
两硅衬底,所述两硅衬底表面均形成有微色谱柱所需的微沟道,且分别键合于所述键合片的正面及反面,形成同一个键合片正面及反面上的两个微色谱柱。
5.根据权利要求4所述的微色谱柱,其特征在于:所述键合片为玻璃片,所述玻璃片与所述硅衬底为阳极键合。
6.根据权利要求4所述的微色谱柱,其特征在于:所述微沟道内还形成有多个沟道单元或/及微柱阵列。