一种半导体测试装置的制作方法

本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及半导体测试装置。

背景技术：

半导体是指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。对半导体进行电性能测试，是对其产品评价的重要依据。传统的测试方式是用测试线接在待测产品的两端，然而，一台仪表只能接一个产品，如图6所示，所以要测不同的参数时，需要更换不同的仪表，时效性降低，而且无法模拟产品在线路中实际的应用表现。

技术实现要素：

本发明针对以上问题，提供了一种结构简单，方便测试，提供工作效率的半导体测试装置。

本发明的技术方案为：包括基座、测试箱和旋转机构，所述测试箱的顶部设有开口、底部中心设有穿孔，所述测试箱通过一对立杆设在基座的上方；

所述旋转机构包括驱动电机和旋转盘，所述驱动电机设在基座上、且位于一对立杆之间，所述驱动电机的转轴位于穿孔内，所述转轴的顶部中心设有定位孔；

所述旋转盘包括盘体，所述盘体在环面上均布设有安装孔，所述安装孔用于放置垂直设置的待测产品，所述待测产品的顶、底部具有引线，所述盘体的底部中心设有定位柱，所述定位柱连接在定位孔内；

所述测试箱的侧壁设有测试机构，所述测试机构的内侧连接待测产品，外侧连接测试仪表。

所述测试机构包括一测试座，所述测试箱的侧壁设有一容置孔，所述测试座位于容置孔内，所述测试座的内侧设有一对测试头，一对测试头上下设置，所述测试头的内侧设有测试线，外侧连接一测试针，所述测试针连接测试仪表；

所述测试头与引线一一对应，所述测试线用于接触引线。

所述测试机构包括至少两个测试座，所述测试箱的侧壁设有至少两个容置孔，所述测试座一一对应设在容置孔内，所述测试座的内侧设有一对测试头，一对测试头上下设置，所述测试头的内侧设有测试线，外侧连接一测试针，所述测试针连接测试仪表；

所述测试头与引线一一对应，所述测试线用于接触引线。

所述测试线朝向引线的一端呈波纹状。

所述定位柱的截面呈矩形或三角形。

还包括测试盖，所述测试箱的顶面设有环形槽，所述测试盖连接在环形槽内。

所述测试盖的顶部设有把手。

本发明在工作中，将若干待测产品放置在旋转盘的盘体上，再将旋转盘的定位柱插入驱动电机的转轴定位孔内，两者可靠连接，再通过驱动电机旋转从而带动旋转盘旋转动作；由于在测试箱的侧壁设置测试机构，测试机构分别连接待测产品和测试仪表，驱动电机旋转动作，可测试不同的待测产品，提高工作效率。测试完成后，通过对旋转盘进行更换，可测试另一组待测产品，节省时间。

附图说明

图1是本发明实施例一的结构示意图，

图2是图1中测试箱和测试座的结构示意图，

图3是本发明实施例二的结构示意图，

图4是图3中测试箱和测试座的结构示意图，

图5是测试线的结构示意图，

图6是现有技术的结构示意图；

图中1是基座，2是测试箱，21是开口，22是穿孔，23是环形槽，3是立杆，4是驱动电机，40是转轴，400是定位孔，

5是旋转盘，51是盘体，52是安装孔，53是定位柱，

6是待测产品，60是引线，

7是测试机构，71是测试座，72是测试头，73是测试线，74是测试针，

8是测试盖，9是把手。

具体实施方式

本发明如图1-5所示，包括基座1、测试箱2和旋转机构，所述测试箱2的顶部设有开口21、底部中心设有穿孔22，所述测试箱通过一对立杆3设在基座的上方；

所述旋转机构包括驱动电机4和旋转盘5，所述驱动电机设在基座上、且位于一对立杆之间，所述驱动电机的转轴40位于穿孔内，所述转轴的顶部中心设有定位孔400；

所述旋转盘5包括盘体51，所述盘体在环面上均布设有安装孔52，所述安装孔用于放置垂直设置的待测产品6，所述待测产品的顶、底部具有引线60，所述盘体的底部中心设有定位柱53，所述定位柱连接在定位孔内；

所述测试箱的侧壁设有测试机构7，所述测试机构的内侧连接待测产品6，外侧连接测试仪表（图中未示出）。

本发明在工作中，将若干待测产品放置在旋转盘的盘体上，再将旋转盘的定位柱插入驱动电机的转轴定位孔内，两者可靠连接，再通过驱动电机旋转从而带动旋转盘旋转动作；由于在测试箱的侧壁设置测试机构，测试机构分别连接待测产品和测试仪表，驱动电机旋转动作，可测试不同的待测产品，提高工作效率。测试完成后，通过对旋转盘进行更换，可测试另一组待测产品，节省时间。

驱动电机为常规设备，如宇鑫品牌，型号为2i(r)k-6i(r)k的单相异步电动机；待测产品放置在间隔设置的安装孔内，方便装载，测试可靠。

本案中待测产品为二极管，通过测试仪表（如海尔帕hps2910二极管参数综合测试仪）可测试正向电压、反向电压和反向漏电流等。

如图1-2所示，所述测试机构7包括一测试座71，所述测试箱的侧壁设有一容置孔（图中未示出），所述测试座位于容置孔内，所述测试座的内侧设有一对测试头72，一对测试头上下设置，所述测试头的内侧设有测试线73，外侧连接一测试针74，所述测试针连接测试仪表；

所述测试头与引线一一对应，所述测试线用于接触引线。

通过设置单一的测试座，测试座的内侧设置通过测试头连接的测试线、外侧连接测试针，将测试线与引线一一接触，测试针与测试仪表接触，方便对若干待测产品进行测试。

由于只设置单一的测试仪表，只能测试待测产品的单一参数。

如图3-4所示，所述测试机构包括至少两个测试座71，所述测试箱的侧壁设有至少两个容置孔，所述测试座一一对应设在容置孔内，所述测试座的内侧设有一对测试头72，一对测试头上下设置，所述测试头的内侧设有测试线73，外侧连接一测试针74，所述测试针连接测试仪表；

所述测试头与引线一一对应，所述测试线用于接触引线。

通过设置至少两个测试座，测试座的内侧设置通过测试头连接的测试线、外侧连接测试针，将测试线与引线一一接触，测试针与测试仪表接触，方便对若干待测产品进行测试。

由于设置至少两个测试仪表，可测试待测产品的不同参数，提高工作效率。

所述测试线73朝向引线的一端呈波纹状。

设置呈波纹状，提高强度；提高测试线与引线接触可靠性。

所述定位柱53的截面呈矩形或三角形。

这样，使得驱动电机可靠带动旋转盘动作。

还包括测试盖8，所述测试箱的顶面设有环形槽23，所述测试盖连接在环形槽内。

通过设置测试盖在测试箱上部，可起到防尘的作用；同时，可形成密封箱体，通过对密封箱体内温度的调节（如设置开口，接通热气管），测试不同温度下待测产品的电性能力分布及温度趋势。

所述测试盖的顶部设有把手9。设置把手，便于将测试盖开启、关闭，可靠更换旋转盘。

对于本案所公开的内容，还有以下几点需要说明：

（1）、本案所公开的实施例附图只涉及到与本案所公开实施例所涉及到的结构，其他结构可参考通常设计；

（2）、在不冲突的情况下，本案所公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例；

以上，仅为本案所公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本案所公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。