气密性测试装置及气密性测试方法与流程

本发明属于气密性测试领域，更具体地说，是涉及一种气密性测试装置。

背景技术：

当前，电子产品对产品的气密性有较高的要求。良好的气密性可以使电子产品具有更好的防水、防尘性能。因此，电子产品的气密性测试，即电子产品部件(可以特指电子产品的机壳)的气密性测试，显得相当必要。

然而，电子产品的气密性测试，容易造成被测试的电子产品的部件损坏，且测试效率低，难以批量对电子产品部件的气密性测试。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种气密性测试装置及气密性测试方法，以解决现有技术中容易损坏电子产品部件，测试效率低的问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种气密性测试装置，包括气压测试组件、上模以及与所述上模相对设置的下模；

所述上模包括第一动力机构、第二动力机构、第三动力机构、密封组件和密封压合轴；所述密封组件设置在所述上模的底面；

所述下模设置有用于容纳待测试部件的空腔；

在对放置在所述空腔中的所述待测试部件进行气密性测试时，所述第一动力机构带动所述上模，使所述上模移动至所述下模上方的预设位置之后，所述第三动力机构对所述待测试部件进行预压，所述第一动力机构带动所述上模继续朝向所述下模的方向移动，直至所述上模和所述密封组件与所述待测试部件之间紧密贴合并形成一带有密封孔的测试空腔；

所述密封压合轴设置有通气管道，所述第二动力机构带动所述密封压合轴对位压合所述密封孔，使所述测试空腔通过所述密封孔与所述通气管道连通；

所述气压测试组件与所述通气管道远离所述密封孔的一端连接，用于测量所述测试空腔的气密性数据。

进一步地，所述气压测试组件包括测试模块、真空发生组件、气压调节部件、压差感应器、标漏组件；

所述测试模块与所述通气管道远离所述密封孔的一端连接，用于调节所述测试空腔的气密性数据；

所述测试模块分别与所述真空发生组件、所述气压调节部件、所述标漏组件连接；

所述压差感应器设置于所述测试模块内。

进一步地，所述气密性测试装置还包括上模横板和用于支撑所述上模横板的侧支撑块；所述上模横板设置有第一孔位和第二孔位，所述第一动力机构安装于所述第一孔位，所述第二动力机构安装于所述第二孔位；

所述上模包括导向杆固定板；所述上模横板还设置有第一直线轴承，所述第一直线轴承内安装有第一导向杆，所述第一导向杆的下端固定连接于所述导向杆固定板。

进一步地，所述第一动力机构包括第一伺服电机、第一电缸、第一夹持块、第一压力传感器；

所述第一伺服电机与所述第一电缸连接，用于驱动所述第一电缸的传动轴运动；

所述第一电缸的传动轴与所述第一夹持块固定连接；

所述第一压力传感器的上端面与所述第一夹持块固定连接，所述第一压力传感器的下端面与所述导向杆固定板固定连接。

进一步地，所述密封组件包括侧压块；所述上模还包括侧压块安装板和支撑部件，所述侧压块安装板通过所述支撑部件与所述导向杆固定板的下端面固定连接；所述侧压块安装在所述侧压块安装板的下端面。

进一步地，所述第二动力机构还包括第二伺服电机、第二电缸、电缸支撑座、极限感应片、限位保护块、压合轴密封件、第二压力传感器；

所述第二伺服电机与所述第二电缸连接，用于驱动所述第二电缸的传动轴运动；

所述第二电缸通过所述电缸支撑座固定于所述上模横板上的第二孔位；

所述第二压力传感器的上端面与所述第二电缸的传动轴的伸出端固定连接，所述第二压力传感器的下端面与所述密封压合轴固定连接；

所述极限感应片用于监测所述第二电缸的压合极限；

所述密封压合轴上设置有进气接头和限位保护块，所述进气接头与所述进气通道连通；

所述密封压合轴的下端面设置有轴端面安装位，所述压合轴密封件安装于所述轴端面安装位。

进一步地，所述第三动力机构包括气缸、气缸转接头、预压板、第二直线轴承、第二导向杆；

所述气缸与所述第二直线轴承安装于所述侧压块安装板上；

所述气缸转接头的一端与所述气缸的驱动轴固定连接，所述气缸转接头的另一端与所述预压板固定连接；

所述第二导向杆安装于所述第二直线轴承内，所述第二导向杆的下端与所述预压板固定连接。

进一步地，所述第三动力机构包括精密模组、模组推块、第三压力感应器、第三导向杆、第三直线轴承；

所述精密模组与所述第三直线轴承安装于所述侧压块安装板上；

所述模组推块与所述精密模组连接，所述精密模组可带动所述模组推块垂直移动；

所述模组推块的下端面与所述第三压力感应器固定连接；所述第三压力感应器的下端面固定连接于所述预压板；

所述第三导向杆安装于所述第三直线轴承内，所述第三导向杆的下端与所述预压板固定连接。

进一步地，所述下模包括下模底板、主板支撑柱、密封件安装主板、下模主密封件、侧向密封模块、定位块；

所述密封件安装主板通过所述主板支撑柱固定于所述下模底板上；

所述下模主密封件设置于所述密封件安装主板上，所述下模主密封件与所述密封件安装主板形成所述空腔；

所述定位块间隔设置在所述下模主密封件的外周；

所述侧向密封模块固定于所述下模底板上。

本发明的另一方面还提供了一种气密性测试方法，使用了上述气密性测试装置对待测试部件的气密性进行测试，包括：

将所述待测试部件装载于所述下模的空腔中；

所述第一动力机构将所述上模移动至所述下模上方的预设位置；

通过所述第三动力机构对所述待测试部件进行预压；

所述第一动力机构带动所述上模继续朝向所述下模的方向移动，直至所述上模和所述密封组件与所述待测试部件之间紧密贴合并形成一带有密封孔的测试空腔；

所述第二动力机构带动所述密封压合轴对位压合所述密封孔，使所述气压测试组件与所述测试空腔连接；

通过所述气压测试组件对所述待测试部件的气密性数据进行测试。

本发明提供的气密性测试装置及气密性测试方法的有益效果在于：与现有技术相比，本发明气密性测试装置，可进行正负气压气密测试，并实现测试结果的可视化；上下模实时对位，测试精度高，数据重复性和相关性较好；通过密封组件与待测试部件接触，减少待测试部件外观损伤；密封组件可快速拆卸更换，提高测试装置的测试效率；使用多动力密封结构，逐级进行密封，减少待测试部件受力，有利于调试并分析待测试部件存在的工艺问题；具有预压功能，可有效提高气密性数据的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例气密性测试装置的主视图；

图2为本发明实施例包含上模各部件的立体图；

图3为本发明实施例密封压合轴以及第二动力机构的主视图；

图4为本发明实施例第一动力机构的结构分解示意图；

图5为本发明实施例第一动力机构另一示例性的结构分解示意图；

图6为本发明实施例气压测试组件各部件的立体图；

图7为本发明实施例测试空腔和密封压合轴的剖面图；

图8为本发明实施例第三动力机构的主视图；

图9为本发明另一实施例第三动力机构的主视图；

图10为本发明实施例下模各部件的立体图。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1-3，图1为本发明气密性测试装置的主视图。图2为包含上模10各部件的立体图。图3为密封压合轴51以及第二动力机构12的主视图。现对本发明提供的气密性测试装置进行说明。气密性测试装置，包括气压测试组件、上模10以及与上模10相对设置的下模20；

上模10包括第一动力机构11、第二动力机构12、第三动力机构13、密封组件和密封压合轴51；密封组件设置在上模10的底面；

下模20设置有用于容纳待测试部件的空腔；

在对放置在空腔中的待测试部件进行气密性测试时，第一动力机构11带动上模10，使上模10移动至下模20上方的预设位置之后，第三动力机构13对待测试部件进行预压，第一动力机构11带动上模10继续朝向下模20的方向移动，直至上模10和密封组件与待测试部件之间紧密贴合并形成一带有密封孔的测试空腔53；

密封压合轴51设置有通气管道，第二动力机构12带动密封压合轴51对位压合密封孔，使测试空腔53通过密封孔与通气管道连通；

气压测试组件与通气管道远离密封孔的一端连接，用于测量测试空腔53的气密性数据。

本实施例中，气密性测试装置用于对待测试部件的气密性进行测试。在此处，待测试部件可以指手机部件或其他电子产品的机壳。特别的，手机部件可以指不包含屏幕在内的手机主框架结构(含后壳)。气压测试组件包含了必要的压力测试部件，可以内置或外接气体增压/减压部件。下模20用于装载待测试部件，而上模10则安装有必要的密封组件。当上模10与下模20紧密贴合在一起时，则可形成相对密封的待测试的测试空腔53。下模20的位置可以是固定的，而上模10的位置则是依赖于第一动力机构11的移动。为了实现更好的测试效果，气密性测试装置还设置了第三动力机构13，实现对待测试部件的预压。预压有效提高了待测试部件的气密性数据的稳定性。

在测试空腔53中，可以设置有密封孔。该密封孔可通过必要的气体连接通道与气压测试组件连接，实现对测试空腔53的气密性数据进行测量。特别的，设置有密封压合轴51与密封孔连通。在测量时，通过第二动力机构12带动密封压合轴51对位压合密封孔，使测试空腔53通过密封孔与密封压合轴51的通气管道连通，通气管道的另一端与气压测试组件连通。

具体的，气密性测试装置还包括上模横板41和用于支撑上模横板41的侧支撑块42；上模横板41设置有第一孔位和第二孔位，第一动力机构11安装于第一孔位，第二动力机构12安装于第二孔位。

在上模横板41可设置有测试模块301安装板30。气压测试组件可以设置在测试模块301安装板30上。

如图4所示，图4为第一动力机构11的结构分解示意图。上模10包括导向杆固定板114；上模横板41还设置有第一直线轴承118，第一直线轴承118内安装有第一导向杆119，第一导向杆119的下端固定连接于导向杆固定板114。

第一动力机构11包括第一伺服电机110、第一电缸111、第一夹持块112、第一压力传感器113；

第一伺服电机110与第一电缸111连接，用于驱动第一电缸111的传动轴运动；

第一电缸111的传动轴与第一夹持块112固定连接；

第一压力传感器113的上端面与第一夹持块112固定连接，第一压力传感器113的下端面与导向杆固定板114固定连接。

本实施例中，第一动力机构11通过第一压力传感器113与导向杆固定板114固定连接。第一电缸111的传动轴可沿垂直方向运动，进而带动导向杆固定板114趋近或远离下模20。为了固定导向杆固定板114的移动方向，使上模10与下模20精确对位，可以在导向杆固定板114上固定连接至少一个的第一导向杆119。上模横板41设置有数量与第一导向杆119的数量相同的第一直线轴承118，第一导向杆119安装于第一直线轴承118内，第一导向杆119的下端固定连接于导向杆固定板114。导向杆固定板114沿垂直方向移动时，第一导向杆119则相对于第一直线轴承118上下滑动。

具体的，密封组件包括侧压块；上模10还包括侧压块安装板116和支撑部件，侧压块安装板116通过支撑部件与导向杆固定板114的下端面固定连接；侧压块安装在侧压块安装板116的下端面。

在导向杆固定板114的下方，可以固定连接有侧压块安装板116。导向杆固定板114与侧压块安装板116之间通过支撑部件连接。支撑部件具有一定高度，如可以是支撑柱117。在一些情况下，导向杆固定板114与侧压块安装板116之间可以设置有预压组件安装板115。

密封组件设置于侧压块安装板116的下端面。密封组件可由一个或多个侧压块组成。侧压块的数量可根据待测试部件的结构而确定。如图4所示，共设有侧压块502、侧压块503、侧压块504、侧压块505、侧压块506、侧压块507、侧压块508共七个侧压块。侧压块用于封闭待测试部件上预留的孔位(如充电孔、耳机孔等)。侧压块可以设置有一层聚氨酯或丁晴橡胶材料的软包胶层。侧压块安装板116和侧压块可设置有相互配合的销孔，并通过销钉固定两者的位置。在侧压块的下端可以设置仿形面，测试时，仿形面与待测试部件紧密接触，可有效防止压伤待测试部件并提高压合精度。

在一些实施例中，可以在预压组件安装板115上还可以安装有压合轴限位块501。预压组件安装板115有一个安装槽，压合轴限位块501紧固安装在该安装槽内。压合轴限位块501可由碳钢材料制成，并具有镀铬装饰。具体的安装槽的槽宽与压合轴限位块501宽度匹配，使得压合轴限位块501具有较好的限位效果。压合轴限位块501可对密封压合轴51进行旋转限位，致使密封压合轴51向下压合不会产生旋转。

如图5所示，图5为第一动力机构11另一示例性的结构分解示意图。可使用侧压块组合安装板1151取代预压组件安装板115与侧压块安装板116的组合。而在图5的示例中，支撑部件可由支撑块1171代替。

进一步地，如图6所示，图6为气压测试组件各部件的立体图。气压测试组件包括测试模块301、真空发生组件303、气压调节部件302、压差感应器、标漏组件304；

测试模块301与通气管道远离密封孔的一端连接，用于调节测试空腔53的气密性数据；

测试模块301分别与真空发生组件303、气压调节部件302、标漏组件304连接；

压差感应器设置于测试模块301内。

本实施例中，测试模块301、真空发生组件303、气压调节部件302、标漏组件304可安装于模块安装板的一侧。为了保证气压测试组件在模块安装板上的稳定性，可在模块安装板的另一侧设置加强筋307。加强筋307可以由不锈钢材料制成。模块安装板可由铝合金材料制成。

测试模块301用于测量测试空腔53的气密性数据。

气压调节部件302用于精密调节供气源的气压，调节后的气体供给测试模块301使用，保证测试模块301正常工作。

真空发生组件303产生的负压供给测试模块301使用。在一些情况下，需要用负压对测试空腔53的气密性数据进行测试。

标漏组件304是外置的一个零件，用于对测试模块301的测试数据进行标定。如，标漏组件304有一个微小的孔，当气体通过测试模块301时，可检测到这个标漏组件304的泄漏数值，该数值可与测试模块301的泄漏数值比对，最终计算出测试空腔53的体积，实现体积标漏功能。标漏组件304可安装通过标漏支架305安装于模块安装板上。

压差感应器内置于测试模块301内部，用来检测腔体气压的气压数据。压差感应器的数量可以是多组。

模块安装板配有集线导轨306，用于固定各组件的接线(可以是电源线，也可以是气体连通管线)，对各组件的接线进行模块化，方便快速拆卸更换。集线导轨306可由铝合金材料制成。

进一步地，参照图3，图3为包含密封压合轴51的第二动力机构12的主视图。第二动力机构12还包括第二伺服电机120、第二电缸121、电缸支撑座122、极限感应片124、限位保护块125、压合轴密封件52、第二压力传感器123；

第二伺服电机120与第二电缸121连接，用于驱动第二电缸121的传动轴运动；

第二电缸121通过电缸支撑座122固定于上模横板41上的第二孔位；

第二压力传感器123的上端面与第二电缸121的传动轴的伸出端固定连接，第二压力传感器123的下端面与密封压合轴51固定连接；

极限感应片124用于监测第二电缸121的压合极限；

密封压合轴51上设置有进气接头511和限位保护块125，进气接头511与进气通道连通；

密封压合轴51的下端面设置有轴端面安装位，压合轴密封件52安装于轴端面安装位。

本实施例中，第二伺服电机120与第二电缸121一端相连接，构成第二动力机构12的驱动源。在电缸支撑座122的一面设置有螺纹孔，第二电缸121安装于螺纹孔内。电缸支撑座122的另一面通过螺纹固定在上模横板41。电缸支撑座122可由碳钢材料制成，并具有镀铬装饰。

第二压力传感器123上端面与第二电缸121的传动轴的伸出端固定连接，用于实时监测第二动力机构12对密封组件施加的压合力。

极限感应片124用于监测第二电缸121的压合极限。极限感应片124可由不锈钢材料制成。

第二压力传感器123的下端面与密封压合轴51固定连接。密封压合轴51的一端设置有进气接头511和限位保护块125。密封压合轴51内置的进气通道与进气接头511连通。

在密封压合轴51靠近第二压力传感器123的一端还设置有限位保护块125，限位保护块125用于对第二电缸121压合进行硬限位。在导向杆固定板114设置有与限位保护块125适配的孔位，以实现限位保护块125的限位作用。

密封压合轴51的下端面设置有轴端面安装位，该轴端面安装位可呈槽状。压合轴密封件52安装于轴端面安装位。压合轴密封件52的外层可由丁腈橡胶或硅胶材料制成。轴端面安装位具有一定深度，使压合轴密封件52不易脱落。

测试时，第二电缸121驱动密封压合轴51，使压合轴密封件5245压合接触在测试空腔53预留的密封孔上，实现对测试空腔53的密封。

参照图7，图7为测试空腔53和密封压合轴51的剖面图。进气接头511与密封压合轴51的进气通道连通。压合轴密封件52紧压测试空腔53的密封孔。可从进气接头511对测试空腔53进行充气或抽气，以测量待测试部件的气密性数据。

进一步地，如图8所示，图8为一实施例第三动力机构13的主视图。第三动力机构13包括气缸131、气缸转接头132、预压板133、第二直线轴承135、第二导向杆134；

气缸131与第二直线轴承135安装于侧压块安装板116上；

气缸转接头132的一端与气缸131的驱动轴固定连接，气缸转接头132的另一端与预压板133固定连接；

第二导向杆134安装于第二直线轴承135内，第二导向杆134的下端与预压板133固定连接。

本实施例中，若侧压块安装板116的上方还设置有预压组件安装板115，则气缸131与第二直线轴承135可安装于预压组件安装板115上。气缸131通过螺丝孔固定在预压组件安装板115(在一些实施例中，预压组件安装板115和侧压块安装板116可以是同一块安装板)上。气缸131的轴伸出端与气缸转接头132相连接。气缸转接头132可由碳钢材料制成，且具有镀铬装饰。气缸转接头132的另一端安装在预压板133的上端面。预压板133可由铝合金材料制成。预压板133的上端面还固定有装有第二导向杆134。第二导向杆134的个数可以是两个。第二导向杆134可由不锈钢材料制成。第二导向杆134通过第二直线轴承135进行导向限位。第二直线轴承135的个数和第二导向杆134的个数是一致的。

预压板133的下端面设置有安装槽，用于安装预压密封件136和预压密封件137。预压密封件136和预压密封件137属于密封组件的一部分。在预压板133对待测试部件进行预压时，由预压密封件136和预压密封件137与待测试部件接触。预压密封件136和预压密封件137的外层可由丁腈橡胶或硅胶材料制成。在此处，预压板133可起到两种作用，分别为：一是有效防止待测试部件上料时因放不平整导致测试不准确；二是测试空腔53内在充气或抽气时，待测试部件受到向外或向内的张拉力，预压板133可以抵消待测试部件受到的张力或拉力，防止待测试部件产生过度变形，损坏待测试部件，减少气密性数据测量的不稳定性。

进一步地，如图9所示，图9为另一实施例第三动力机构13的主视图。第三动力机构13包括精密模组1301、模组推块1302、第三压力感应器1308、第三导向杆1303、第三直线轴承1304；

精密模组1301与第三直线轴承1304安装于侧压块安装板116上；

模组推块1302与精密模组1301连接，精密模组1301可带动模组推块1302垂直移动；

模组推块1302的下端面与第三压力感应器1308固定连接；第三压力感应器1308的下端面固定连接于预压板133；

第三导向杆1303安装于第三直线轴承1304内，第三导向杆1303的下端与预压板133固定连接。

本实施例中，模组推块1302与精密模组1301相连接，精密模组1301可带动模组推块1302垂直移动。模组推块1302可由铝合金材料制成。第三压力传感器1308的上端面与模组推块1302的下端面固定连接。第三压力传感器1308的下端面与预压板133的上端面固定连接。预压板133设置有第三导向杆1303。第三导向杆1303的个数可以是三个。第三导向杆1303穿插在第三直线轴承1304内，由第三直线轴承1304导向滑动。进气杆13091的一端固定于侧压块安装板116的上端面，另一端与进气弯头1309连接，用于气源进入。预压板133设置于侧压块安装板116的下方。预压板133设置有密封件安装槽，用于安装预压密封件1307。精密模组1301带动预压板133对待测试部件进行预压。

进一步地，参照图10，图10为下模各部件的立体图。下模20包括下模底板201、主板支撑柱202、密封件安装主板203、下模主密封件209、侧向密封模块204、定位块208；

密封件安装主板203通过主板支撑柱202固定于下模底板201上；

下模主密封件209设置于密封件安装主板203上，下模主密封件209与密封件安装主板203形成空腔；

定位块208间隔设置在下模主密封件209的外周；

侧向密封模块204固定于下模底板201上。

本实施例中，下模20包括下模底板201、主板支撑柱202、密封件安装主板203、下模主密封件209、侧向密封模块204、定位块208。侧向密封模块204的个数为多个，用于密封待测试部件的侧向边槽，防止待测试部件从侧向边槽泄漏，导致无法形成测试空腔53。每个侧向密封模块204设置有相应的密封件，通过预压板133的压缩，实现最佳的密封效果。

密封件安装主板203通过主板支撑柱202固定于下模底板201上。主板支撑柱202可由15号钢材制成。主板支撑柱202的个数可以是4。四个主板支撑柱202等高，使得密封件安装主板203处于水平的安装位置。

密封件安装主板203设置有密封件安装槽。下模主密封件209安装于密封件安装槽内。下模主密封件209与密封件安装主板203形成用于装载待测试部件的空腔。

定位块208间隔设置在下模主密封件209的外周。侧向密封模块204固定于下模底板201上。

密封件安装主板203设置有定位块208，对待测试部件进行定位，防止待测试部件产生横向偏移错位，进而密封失效。

密封件安装主板203上的下模对位柱205与上模10的上模10对位销配合对位，使上下模20实时对位用于提高密封件压合精度。

密封件安装主板203上的水平调整块207使下模20和上模10互调水平，使密封件各方向的压缩量保持一致有效提高密封件的使用寿命和密封稳定性。

下模底板201上可设置有扫码部件，而密封件安装主板203上设置有透明窗口206。可通过扫码部件对放置于透明窗口206之上的待测试部件进行扫码。

本发明的另一方面还提供了一种气密性测试方法，使用了上述气密性测试装置对待测试部件的气密性进行测试，包括：

将待测试部件装载于下模20的空腔中；

第一动力机构11将上模10移动至下模20上方的预设位置；

通过第三动力机构13对待测试部件进行预压；

第一动力机构11带动上模10继续朝向下模20的方向移动，直至上模10和密封组件与待测试部件之间紧密贴合并形成一带有密封孔的测试空腔53；

第二动力机构12带动密封压合轴51对位压合密封孔，使气压测试组件与测试空腔53连接；

通过气压测试组件对待测试部件的气密性数据进行测试。

本实施例中，由于第一动力机构11、第二动力机构12、第三动力机构13的作用，使上模10(包含上模10上安装的密封组件)与待测试部件形成稳定的测试空腔53。测试模块301可以精确测出测试空腔53的气密性数据，此气密性数据即为待测试部件的气密性数据。

在一实例中，测试模块301的参数包括：

供气气源：0.5mpa～0.7mpa；

测试气源：空气；

测试气压：-0.6bar～0.6bar；

测试环境：无尘车间1w级；

气密测试精度：0.001sccm；

测试时间：90s。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。