一种检查蚀刻图形的装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明公开了一种检查装置，特别是一种检查蚀刻图形的装置。
【背景技术】
[0002]金属蚀刻技术在工业上的应用已日趋成熟和广泛，电子行业的飞速发展，促就了蚀刻工艺质的发展。为了满足电子信息行业越来越高的要求，对蚀刻产品的要求也越来越高，这就给蚀刻产品的检验增加了难度。现今对蚀刻产品的检验大多采用人工目测的方式，由于蚀刻产品上的图形不易于分辨、检验，故虽花费了大量人力却不能达到最佳的效果。
【发明内容】
[0003]针对以上问题，本发明公开了一种检查蚀刻图形的装置。将蚀刻玻璃上的图形清晰、准确、完整地投射到投影板上，镜头采集投影板上的图形传输至电脑中显示出来，通过这种检验设备，可以更好更快更清晰准确地检验蚀刻玻璃上的图形是否完整、有无内污、缺损，避免了人工目测的局限性，更加省时省力。
[0004]一种检查蚀刻图形的装置，述的检查蚀刻图形的装置包括背光源、蚀刻玻璃、蚀刻玻璃基台、投影板、镜头、电脑，所述的背光源与蚀刻玻璃平行放置，所述的蚀刻玻璃置于蚀刻玻璃基台上，所述的蚀刻玻璃与投影板在同一个水平面平行放置，所述的镜头与投影板也平行放置，所述的电脑通过电线与镜头连接。
[0005]本发明公开的一种光刻胶调配仪器，所述的背光源可外接电源或者电池，体积轻便，移动方便；具有匀光的特点，不会造成背光板发光不均；其灯光颜色可以控制，发出白光、蓝光、绿光、红光多种光源，便于满足不同种蚀刻玻璃上的图形的检验要求；此外，背光源的波长范围为380-700nm，可手动调节。
[0006]本发明公开的一种光刻胶调配仪器，所述的蚀刻玻璃直接固定至蚀刻玻璃基台上，不会随便移动，避免了给检验造成不便和误差；所述的蚀刻玻璃基台上附有夹具，可以随意灵活地更换蚀刻玻璃进行检验，避免损坏蚀刻玻璃；所述的蚀刻玻璃与投影板在同一个水平面平行放置，将蚀刻玻璃上的图形清晰、准确、完整地投射到投影板上。
[0007]本发明公开的一种光刻胶调配仪器，所述的投影板具有较高的透光率，与蚀刻玻璃基台在同一个水平面平行放置。
[0008]本发明公开的一种光刻胶调配仪器，所述的电脑内装有图形分析程序，更加完整全面的检验蚀刻玻璃上的图形，有效规避了人工检验失误的风险。
【附图说明】
[0009]图1是本发明公开的检查蚀刻图形的装置结构示意图。
[0010]附图标记列表
1、背光源2、蚀刻玻璃3、蚀刻玻璃基台
4、投影板5、镜头6、电脑。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和【具体实施方式】，进一步阐明本发明，应理解下述【具体实施方式】仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
[0012]本发明公开的一种检查蚀刻图形的装置，其特征在于:所述的背光源I与蚀刻玻璃2平行放置，所述的蚀刻玻璃2置于蚀刻玻璃基台3上，所述的蚀刻玻璃2与投影板4在同一个水平面平行放置，所述的镜头5与投影板4也平行放置，所述的电脑6通过电线与镜头5连接。
[0013]作为一种优选，所述的背光源波长范围为380_700nm，可手动调节，其颜色为白光、蓝光、绿光、红光多种光源，且光源的有匀光的特点。
[0014]作为一种优选，所述的蚀刻玻璃直接固定至蚀刻玻璃基台上，不会随便移动，蚀刻玻璃基台上附有夹具，可以随意灵活地更换蚀刻玻璃进行检验。
[0015]作为一种优选，所述的投影板具有较高的透光率，与蚀刻玻璃基台在同一个水平面平行放置。
[0016]作为一种优选，所述的电脑内装有图形分析程序，更加完整全面的检验蚀刻玻璃上的图形，有效规避了人工检验失误的风险。
【主权项】
1.一种检查蚀刻图形的装置，其特征在于:所述的检查蚀刻图形的装置包括背光源、蚀刻玻璃、蚀刻玻璃基台、投影板、镜头和电脑，所述的背光源与蚀刻玻璃平行放置，所述的蚀刻玻璃置于蚀刻玻璃基台上，所述的蚀刻玻璃与投影板在同一个水平面平行放置，所述的镜头与投影板也平行放置，所述的电脑通过电线与镜头连接。
2.根据权利要求1所述的背光源，其特征在于:所述的背光源波长范围为380-700nm，可手动调节，其颜色为白光、蓝光、绿光、红光多种光源，且光源的有匀光的特点。
3.根据权利要求1所述的蚀刻玻璃基台，其特征在于:所述的蚀刻玻璃直接固定至蚀刻玻璃基台上，不会随便移动，蚀刻玻璃基台上附有夹具，可以随意灵活地更换蚀刻玻璃进行检验。
4.根据权利要求1所述的投影板，其特征在于:所述的投影板具有较高的透光率，与蚀刻玻璃基台在同一个水平面平行放置。
5.根据权利要求1所述的电脑，其特征在于:所述的电脑内装有图形分析程序，更加完整全面的检验蚀刻玻璃上的图形，有效规避了人工检验失误的风险。
【专利摘要】本发明公开了一种检查蚀刻图形的装置，所述的检查蚀刻图形的装置包括背光源、蚀刻玻璃、蚀刻玻璃基台、投影板、镜头和电脑，所述的背光源与蚀刻玻璃平行放置，所述的蚀刻玻璃置于蚀刻玻璃基台上，所述的蚀刻玻璃与投影板在同一个水平面平行放置，所述的镜头与投影板也平行放置，所述的电脑通过电线与镜头连接。本发明公开的装置将蚀刻玻璃上的图形清晰、准确、完整地投射到投影板上，镜头采集投影板上的图形传输至电脑中显示出来，通过这种检验设备，可以更快更清晰准确地检验蚀刻玻璃上的图形是否完整、有无内污、缺损，避免了人工目测的局限性，更加省时省力。
【IPC分类】C03C15-00, G03F7-20, G01N21-958
【公开号】CN104807836
【申请号】CN201510139153
【发明人】张靓
【申请人】南京市雨花台区知识产权促进中心
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年3月28日