绝缘检测方法及绝缘检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种与基板的配线图形的绝缘检测相关的绝缘检测方法及绝缘检测装置。并且，本发明并不限定于印刷配线基板，其可适用于例如柔性(flexible)基板、多层配线基板、液晶显示器或等离子显示器用电极板以及半导体封装用封装基板或薄膜载体等各种基板中的电气配线的检测，在本说明书中将这些各种配线基板总称为“基板”。
【背景技术】
[0002]以往，基板上形成的配线图形用于向装载在基板上的IC或半导体部件或者除此以外的电子部件收发电信号。这种配线图形随着近来电子部件的微细化，在更微细且更复杂地形成的同时，按更低的电阻形成。随着所述基板的配线图形的微细化，对检测配线图形的良好/不良的精密度要求变得更高。
[0003]作为检测此种配线图形的良好/不良的方法，存在检测配线图形是否具有所定的电阻值而形成的导通检测以及检测各个配线图形是否未短路而形成的绝缘检测这两大类检测。
[0004]尤其，所述绝缘检测通过向一侧的配线图形施加电压，而在另一侧的配线图形中测定流动的电流，从而算出配线图形间的电阻值，且通过此电阻值检测绝缘状态。
[0005]在这种绝缘检测中，在向配线图形施加所定电压(施加电压V)之后，由于随配线图形间的电压不稳定而在配线图形间瞬间流动过大的电流，因此在配线图形间的电压稳定为施加电压V且经过电流变稳的时间(所定时间)之后，进行绝缘状态的不良判定。但，若在检测对象的配线图形间施加较高的直流电压(施加电压)，则在施加电压后，直至所定时间经过为止，在配线图形间可能会产生电火花(放电现象)，且据此电火花，配线图形间的绝缘电阻值发生变化，因此存在着不能算出正确的配线图形间的绝缘电阻值的问题。
[0006]为了改善这种问题，可利用例如专利文献I揭示的技术。此专利文献I揭示的技术是通过测定向配线图形接通施加电压的所定时间中的配线图形间的电压变化值且检测出上述电火花产生时的电压降，从而检测电火花。例如，在专利文献I的图10所示的电压变化的图表中，示出了在图表中的时间t21和时间t22产生电火花。如此，在检测电压变化的同时，通过检测(图表中的A和B之处)因电火花引起的电压降(算出「dv/dt」而获得的值)来检测电火花。
[0007]由于上述基板进行量产，因此如何对大量的基板有效率地实施并完成检测是一个重要的问题。鉴于此，需要可靠且有效地实施绝缘检测的方法。
[0008]【现有技术文献】
[0009]【专利文献I】
[0010]日本专利第3546046号公报
【发明内容】
[0011]本发明提供了一种在发现如上所述的电火花(spark)现象(电火花不良)的同时有效地实施绝缘检测的方法及绝缘检测装置。
[0012]根据权利要求1的发明，提供了一种绝缘检测装置，针对形成有多个配线图形的基板，从所述的多个配线图形中选择成为检测对象的配线图形，且进行上述配线图形的绝缘检测，所述绝缘检测装置包括:选出设备，从所述多个配线图形中选出成为检测对象的配线图形作为第一检测部，同时选出除所述第一检测部以外的成为检测对象的配线图形作为第二检测部；电源设备，为了在所述第一检测部与所述第二检测部之间设定所定的电位差，分别与所述第一检测部和第二检测部电连接，进而供给电力；电压检测设备，检测所述第一检测部与第二检测部之间的电位差；以及判定设备，利用所述电压检测设备检测的电压值，根据比较结果，将所述基板判定为良品或不良品，其中，所述电源设备包括控制来自所述电源设备的电流的电流控制部，所述电流控制部进行控制，以使第一电流大于第二电流，至所述第一检测部与第二检测部之间的所述电位差达到所述所定的电位差为止供给所述第一电流，且当达到了所述所定的电位差时供给所述第二电流。
[0013]根据权利要求2的发明，提供了一种绝缘检测装置，所述电流控制部将所述第一电流和所述第二电流控制在OmA至30mA的范围。
[0014]根据权利要求3的发明，提供了一种绝缘检测装置，所述电流控制部将所述第一电流控制为所述第二电流的五倍至三十倍。
[0015]根据权利要求4的发明，提供了一种绝缘检测方法，进行从基板上形成的多个配线图形中选择成为检测对象的配线图形的绝缘检测，所述绝缘检测方法包括如下步骤:从所述多个配线图形中选出成为检测对象的配线图形作为第一检测部，且选出除所述第一检测部以外的成为检测对象的配线图形作为第二检测部；供给电力，以达到所述检测对象间用于进行绝缘检测的所定的电位差；检测向所述检测对象间供给所述电力时的所述检测对象间的电位差；以所述检测的所述电位差为基础，判定所述检测对象间的绝缘状态；以及在所述检测对象间设定所述电位差时，进行控制，以使达到所述电位差为止供给的电流值大于已达到所述电位差后进行供给的电流值。
[0016]根据权利要求1和4记载的发明，在向设定于第一检测部和第二检测部之间的检测对象间赋予用于绝缘检测的所定电位差时，由于通过控制使此检测对象间达到所定的电位差为止的第一电流大于此检测对象间达到所定电位差之后供给的第二电流，因此在为使检测对象间达到所定电位差而供给电流的期间，根据大于第二电流的第一电流来赋予电位差，从而可缩短充电时间。此外，由于在检测对象间设定所定的电位差后供给小于第一电流的第二电流，因此可降低供给电流的影响，进而进行电火花检测。
[0017]根据权利要求2记载的发明，由于第一电流和第二电流设定为O至30mA的范围内，因此可进行所希望的绝缘检测。
[0018]根据权利要求3记载的发明，由于第一电流控制为第二电流的五倍至三十倍，因此可缩短向检测对象间赋予所定电位差的时间，且针对赋予了电位差的检测对象间，可具有高的电火花检测能力。
【附图说明】
[0019]图1是示出根据本发明的绝缘检测装置的一个实施形态的概略构成图。
[0020]图2是示出根据本发明的绝缘检测装置的动作的一个实施形态的示图。
[0021]图3是示出根据本发明的检测对象间的电压变化的图表。
[0022][附图标记说明]
[0023]1:绝缘检测装置
[0024]2:电源设备
[0025]3:电压检测设备
[0026]5:电流控制部
[0027]6:控制设备
【具体实施方式】
[0028]现针对用于实施本发明的具体内容进行说明。
[0029]本发明涉及一种对在基板上形成的多个配线图形进行绝缘检测时所产生的电火花不良，能有效且不使检测时间变冗长而进行检测的绝缘检测装置及其方法。
[0030]图1是本发明绝缘检测装置的一个实施形态的概略构成图。
[0031]根据本发明的一个实施形态的绝缘检测装置I包括电源设备2、电压检测设备3、电流检测设备4、电流控制部5、控制设备6、切换设备7、电流供给端子8、电压检测端子9和显示设备10。在图1的实施形态中，示出了本发明的绝缘检测装置1、成为检测对象的基板CB、将绝缘检测装置I和基板CB相电连接的接触探针CP。
[0032]图1所示的基板CB具有四个配线图形Pl至P4。此基板CB具有的配线图形根据所设计的基板CB适当地设定其数量及形状。图1的基板CB虽然示出了一字状的配线图形PU T字状的配线图形P2以及十字状的配线图形P3和P4，但对此并不进行特别的限定。
[0033]图1示出了与各配线图形PI至P4电接触的四个接触探针CP。此接触探针CP能使绝缘检测装置I和基板CB相电导通连接。且此接触探针CP的配置位置或配置数量根据基板CB上形成的配线图形适当地设定。
[0034]在图1的实施形态中，虽然将后述的上流侧和下流侧电流供给端子以及上流侧和下流侧电压检测端子，通过一个接触探针CP来可导通地连接到配线图形上设定的所定检测位置，但也可以将电流供给端子8和电压检测端子9分别通过不同的两个接触探针CP来可导通地连接到所定的检测位置。
[0035]电源设备2向成为检测对象的配线图形和其他配线图形之间(以下称，检测对象间)施加用于绝缘检测的所定电位差(检测电压)。此电源设备2可使用直流电源或交流电源，并不进行特别的限定，只要能在检测对象间施加所定的电位差则均可使用。
[0036]此电源设备2施加的电位差虽然根据使用者可适当地进行设定，但在基板的绝缘检测时一般设定为200V至250V。
[0037]电流控制部5控制从电源设备2供给的电流，进而向检测对象间进行供给。此电流控制部5能控制电流量的增减，且根据来自后述的控制设备6的控制信号进行控制。此电流控制部5进行的电流控制具体来说具有针对从电源设备2供给的电流设