校准装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本说明书整体涉及一种用于测试系统的校准装置。
【背景技术】
[0002] ATE是指用于测试装置（诸如半导体、电子电路和印刷电路板组件）的自动化（通 常计算机驱动的）系统。由ATE测试的装置被称为受测装置（DUT)。
[0003] ATE通常包括计算机系统和测试装置或具有对应功能性的单个装置。ATE能够向 DUT提供测试信号，从DUT接收响应信号，并且转发那些响应信号以供处理来确定DUT是否 满足测试合格性。
[0004] 校准可影响ATE的性能。例如，可校准ATE以实现时序精度。在ATE中，除了别的 以外，时序精度包括向DUT施加满足预定义时序约束的信号。例如，信号的上升沿可能需要 在指定时间范围内到达DUT以便精确地测试DUT。随着DUT的操作速度增大，时序精度变得 更为关键，因为在测试期间对信号时间变化的容忍度通常更小。
[0005] 通常，时序去歪斜校准（例如，测试器通道之间的信号时序的对准）使用时域反射 法（TDR)，其可包括向通道中发送脉冲并且寻找反射，或者结合通过装载板的延迟的离线测 量，使用在测试器接口处的机器人校准。两种方法都受到使得难以在皮秒范围内实现歪斜 的测量误差。这是因为在两种方法中不在DUT在测试时间期间所处位置处（例如，在DUT 插槽中）进行时序测量。一些类型的校准使用在插槽着陆图案处的探测，但这通常需要在 每次校准之前移除插槽，这是耗时的并且可磨损装载板，并且仍然不一定在DUT所驻留之 处实现时序。这还需要外部设备，诸如探针、电缆、测试仪器等。
【发明内容】
[0006] -种示例性设备供在测试系统的校准中使用，所述测试系统包括多个通道和用于 接纳受测装置的插槽。示例性设备包括：装置接口，其可连接到插槽；以及多个电路通道， 电路通道中的每一个可通过装置接口连接到测试系统的对应通道并且连接到共用节点。所 述设备被配置为使得在校准期间，信号（i)各自从测试系统通过多个电路通道中的一个电 路通道传递，并且通过多个电路通道中的其他电路通道回到测试系统，或（ii)各自从测试 系统通过多个电路通道中的其他电路通道传递，并且通过多个电路通道中的一个电路通道 回到测试系统。示例性设备可包括下列特征中的一个或多个（单独地或组合地）。
[0007] 多个电路通道中的其他电路通道可包括除了多个电路通道中的一个电路通道之 外的所有多个电路通道。在信号各自从测试系统通过多个电路通道中的一个电路通道传递 的情况下：后续信号通过多个电路通道中的不同电路通道传递回到测试系统。在信号各自 从测试系统通过多个电路通道中的其他电路通道传递的情况下：后续信号穿过多个电路通 道中的其他电路通道中的不同电路通道。多个电路通道中的每一个可包括电路迹线和/或 阻抗元件。阻抗元件可包括电阻器，该电阻器是包括共用节点的电阻分压器网络的一部分。 电阻器可选自嵌入式电阻器、表面安装式电阻器和薄膜电阻器。阻抗元件连同接收通道的 驱动器阻抗和负载阻抗的组合可构成匹配阻抗网络。
[0008] 所述设备可具有与受测装置的封装尺寸相同的封装尺寸。校准可包括通过使用测 试系统中的引脚电子器件改变时序来对准通道的时序。所述设备可校准测试系统中的通 道，使得测试系统的通道具有至多5皮秒的时序错位。
[0009] -种示例性测试系统可包括通道，所述通道用于向受测装置（DUT)发送信号以及 从DUT接收信号，其中每个通道包括引脚电子器件以向DUT发送测试信号并且从DUT接收 响应信号，并且每个通道包括至少一个可变延迟元件以调整对应通道的时序。示例性测试 系统可包括：插槽，其用于将通道接合到DUT;以及校准装置，其连接在插槽中代替DUT，其 中所述校准装置用于校准测试系统。校准装置可包括：装置接口，其可连接到插槽；以及多 个电路通道，每个电路通道可通过装置接口连接到测试系统的对应通道并且连接到共用节 点。所述设备可被配置为使得在校准期间，信号（i)各自从测试系统通过多个电路通道中 的一个电路通道传递，并且通过多个电路通道中的其他电路通道回到测试系统，或（ii)各 自从测试系统通过多个电路通道中的其他电路通道传递，并且通过多个电路通道中的一个 电路通道回到测试系统。示例性测试系统可包括下列特征中的一个或多个（单独地或组合 地）。
[0010] 多个电路通道中的其他电路通道可包括除了多个电路通道中的一个电路通道之 外的所有多个电路通道。每个通道的引脚电子器件可包括用于输出测试信号的引脚驱动器 和用于接收测试信号的比较器电路。在信号各自从测试系统通过多个电路通道中的一个电 路通道传递的情况下：后续信号通过多个电路通道中的不同电路通道传递回到测试系统。 在信号各自从测试系统通过多个电路通道中的其他电路通道传递的情况下：后续信号穿过 多个电路通道中的其他电路通道中的不同电路通道。多个电路通道中的每一个可包括电路 迹线。多个电路通道中的每一个可包括阻抗元件。阻抗元件可包括电阻器，该电阻器是包 括共用节点的电阻分压器网络的一部分。阻抗元件连同接收通道的驱动器阻抗和负载阻抗 的组合可构成匹配阻抗网络。
[0011] 校准装置可具有与DUT的封装尺寸相同的封装尺寸。校准可包括通过改变通道中 的可变延迟元件所提供的延迟来对准通道的时序。校准装置可校准测试系统中的通道，使 得测试系统的通道具有至多5皮秒的时序错位。
[0012] -种校准测试系统的示例性方法使用包括以下各项的设备，所述测试系统包括多 个通道和用于接纳受测装置的插槽：装置接口，其可连接到插槽；以及多个电路通道，电路 通道中的每一个可通过装置接口连接到测试系统的对应通道并且连接到共用节点。示例性 方法包括：从测试系统传递信号，使得每个信号穿过多个电路通道中的一个电路通道，并且 通过多个电路通道中的其他电路通道回到测试系统；基于信号的传递来确定时序信息；以 及基于时序信息来确定校准信息。
[0013] 示例性方法可包括下列特征中的一个或多个（单独地或组合地）。多个电路通道 中的其他电路通道可包括除了多个电路通道中的一个电路通道之外的所有多个电路通道。 确定时序信息可包括将时序信息并入到方程组中，并且通过求解所述方程组来求解校准信 息。
[0014] -种校准测试系统的示例性方法使用包括以下各项的设备，所述测试系统包括多 个通道和用于接纳受测装置的插槽：装置接口，其可连接到插槽；以及多个电路通道，电路 通道中的每一个可通过装置接口连接到测试系统的对应通道并且连接到共用节点。示例性 方法包括：从测试系统传递信号，使得每个信号穿过一组多个电路通道，并且通过多个电路 通道中的一个电路通道回到测试系统；基于信号的传递来确定时序信息；以及基于时序信 息来确定校准信息。
[0015] 示例性方法可包括下列特征中的一个或多个（单独地或组合地）。所述一组多个 电路通道可包括除了多个电路通道中的一个电路通道之外的所有多个电路通道。确定时序 信息可包括将时序信息并入到方程组中，并且通过求解所述方程组来求解校准信息。
[0016] 本说明书（包括此
【发明内容】
部分）中所描述的特征中的任何两个或更多个可组合 在一起以形成本文未具体描述的具体实施。
[0017] 本文所述的系统和技术、或其一部分可被实现为计算机程序产品或被计算机程序 产品控制，该计算机程序产品包括存储于一个或多个非暂态机器可读存储介质上的指令， 并且所述指令可在一个或多个处理装置上执行以控制（例如，协调）本文所描述的操作。本 文所述的系统和技术、或其一部分可被实现为设备、方法或电子系统，所述设备、方法或电 子系统可包括一个或多个处理装置以及存储用于实现各种操作的可执行指令的存储器。
[0018] 附图和以下【具体实施方式】陈述了一个或多个具体实施的详细信息。通过具体实施 和附图以及通过权利要求书，其他特征和优点将显而易见。
【附图说明】
[0019] 图1是ATE测试系统的例子。
[0020] 图2是ATE中所包括的电路的例子。
[0021] 图3是ATE的