探针装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及探针装置，特别涉及自动更换探针卡的探头。
【背景技术】
[0002]作为检查形成在作为基片的半导体晶片(以下简称为“晶片”。)上的半导体器件例如功率器件、存储器的电特性的基片检查装置，已知有探针装置。
[0003]探针装置包括:具有多个探针的圆板状的探针卡；和载置晶片且能够上下左右移动的载置台，使探针卡的各探针与半导体器件具有的电极垫、焊料凸点接触，从各探针向电极垫、焊料凸点流动检查电流，由此检查半导体器件的电特性(例如参照专利文献I)。
[0004]在探针装置中，探针卡的各探针反复与电极垫等接触，针头发生磨损，因此需要定期地更换探针。
[0005]—直以来，各探针与探针卡内的配线焊接，因此在更换探针时也更换探针卡，但是，探针卡配置在探针装置的主体的内部，因此更换并不容易，另外，探针卡价格昂贵，因此探针卡的更换需要相当高的成本。
[0006]于是，如图12所示提出了一种探针装置，其设置相对于探针卡120可拆装的探头(探针插入件)121，向该探头121集中配置各探针122，由此，仅更换探头121就能够更换针头磨损了的各探针122(例如参照专利文献2)。
[0007]另外，为了使探头121的更换工作容易，因此提出了在探针卡120设置可翻倒式夹具123，如图13A所示，当将探头121向探针卡120按压时，如图13B所示，夹具123翻倒而保持探头121的更换方法。
[0008]进一步，还提出了在圆板状的探头140的周缘局部地设置有凸缘141 (图14A和图14D)，并且，在探针卡120的前端局部地设置具有凸缘142的圆筒状的夹具143(图14A和图14C)，在使探头140插嵌入夹具143后，使该探头140相对于夹具143相对地旋转，如图14B和图14E所示，使探头140的凸缘141与夹具143的凸缘142卡合，从而保持探头140的更换方法。
[0009]此外，由于图13A至图13B和图14A至图14E所示的探针卡120也配置在探针装置的主体的内部，在探针装置的主体的内部无法确保操作者的操作空间，因此，为了更换探头121、140，需要使探针卡120从探针装置脱离并再次安装到探针装置。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献
[0012]专利文献1:日本特开平7-297242号公报
[0013]专利文献2:日本特表2009-500633号公报
【发明内容】
[0014]发明想要解决的技术问题
[0015]但是，伴随近年来的晶片的大口径化，探针卡120也变大，重量存在例如超越20kg的情况，因此，探针卡120的拆装工作变得困难，其结果是，存在无法容易地更换探头的问题。
[0016]本发明的目的在于提供一种能够容易地更换探头的探针装置。
[0017]用于解决问题的技术方案
[0018]为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括:主体;配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和配置在上述主体的内部且与上述载置台相对的探针卡，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述探针装置包括配置在上述主体的内部并且能够保持上述探头地向上述探针卡移动的移动机构。
[0019]在本发明中，优选上述移动机构能够以沿移动方向的轴为中心轴进行转动。
[0020]在本发明中，优选还包括配置在上述主体的内部的能够收纳上述探头的收纳室。
[0021]在本发明中，优选还包括用于确认上述移动机构的位置的摄像机，该摄像机检测设置在上述移动机构上的位置确认用的标记。
[0022]在本发明中，优选上述移动机构具有与上述探针卡相对且配置有2个上述位置确认用的标记的相对面，2个上述位置确认用的标记在该相对面上对角配置。
[0023]在本发明中，优选上述移动机构具有能够真空吸附上述探头的真空吸附机构，并能够判断是否能够对上述真空吸附机构施加负压。
[0024]为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括:主体;配置在该主体的内部的载置基片的载置台；配置在上述主体的内部且与上述载置台相对的探针卡；和能够向上述探针卡移动以更换该探针卡的探针卡更换机构，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述探针卡更换机构具有能够保持上述探头且能够与该探针卡更换机构独立地向上述探针卡移动的移动机构。
[0025]为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括:主体;配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和配置在上述主体的内部且与上述载置台相对的探针卡，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述载置台具有能够向上述探针卡移动，并且相对于上述载置台可拆装且保持上述探头的适配件。
[0026]在本发明中，优选上述载置台具有能够经由上述适配件来真空吸附上述探头的真空吸附机构，并能够判断是否能够对上述真空吸附机构施加负压。
[0027]为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括:主体;配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和配置在上述主体的内部且与上述载置台相对的探针卡，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述探针装置还包括对安装到上述探针卡的探头的各探针的针头进行研磨的针头研磨机构，上述针头研磨机构具有能够向上述探针卡移动，并且相对于上述针头研磨机构可拆装且保持上述探头的适配件。
[0028]在本发明中，优选上述载置台具有能够经由上述适配件来真空吸附上述探头的真空吸附机构，并能够判断是否能够对上述真空吸附机构施加负压。
[0029]为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括探针卡，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述探针装置包括能够保持上述探头地向上述探针卡移动的移动机构。
[0030]发明的效果
[0031]根据本发明，因为包括配置在主体的内部并且能够保持探头地向探针卡移动的移动机构，所以能够利用该移动机构使探头向探针卡移动，从而无需操作者的手操作且无需使探针卡从主体脱离就能够更换探头。其结果，能够容易更换探头。
[0032]根据本发明，因为探针卡更换机构具有能够保持探头且能够独立于该探针卡更换机构地向探针卡移动的移动机构，所以能够利用该移动机构使探头向探针卡移动，从而无需操作者的手操作且无需使探针卡从主体脱离就能够更换探头。其结果，能够容易更换探头。
[0033]根据本发明，因为能够向探针卡移动的载置台具有保持探头的适配件，所以能够利用载置台使保持于适配件的探头向探针卡移动，从而无需操作者的手操作且无需使探针卡从主体脱离就能够更换探头。其结果，能够容易更换探头。
[0034]根据本发明，因为能够向探针卡移动的针头研磨机构具有保持探头的适配件，所以能够利用针头研磨机构使保持于适配件的探头向探针卡移动，从而无需操作者的手操作且无需使探针卡从主体脱离就能够更换探头。其结果，能够容易更换探头。
【附图说明】
[0035]图1是示意地表示本发明的第一实施方式的探针装置的结构的立体图。
[0036]图2是示意地表示图1的探针装置的主体内部中的结构的立体图。
[0037]图3A至图3B是表示图1的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。
[0038]图4A至图4B是表示图1的探针装置中的探头向探针卡的另一安装方法的工序图。
[0039]图5是表示图2中的探针卡保持件的变形例的结构的截面图。
[0040]图6是表示图2中的位置确认用标记的配置的变形例的图。
[0041]图7是示意地表示本发明的第二实施方式的探针装置的主体内部中的结构的立体图。
[0042]图8A至图SC是表示图7的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。
[0043]图9是示意地表示本实施方式的探针装置的主体内部中的结构的立体图。
[0044]图1O是示意地表示本实施方式的探针装置的变形例的主体内部中的结构的立体图。
[0045]图1lA至图1lB是表示图9和图1