对探针卡16更换探头30。
[0077]根据本实施方式的探针装置10，由于具有配置在主体12的内部并且能够保持探头30地向探针卡16移动的探头保持件24，因此，能够利用探头保持件24使探头30向探针卡16移动，不使探针卡16从主体12脱离就能够更换探头30。其结果是，能够容易更换探头30。
[0078]另外，在上述探针装置10中，无需操作者的手操作就能够更换探头30，并且，在探头30更换时无需拆装作为重物的探针卡16，因此减轻了操作者的负担，能够提高工作的安全性。
[0079]并且，在上述的探针装置10中，探头保持件24相对于现有的探针装置所具有的载置台11、探针卡保持件引导机构20、ASU摄像机22和针头研磨单元23独立地设置，因此，为了实现本发明，仅对现有的探针装置追加探头保持件24即可。并且，因为追加的探头保持件24仅保持比较轻且小的探头30，所以不需要使探头保持件24的构造坚固，因此能够以简单的结构实现探头保持件24。
[0080]另外，在上述的探针装置10中，探头保持件24能够以沿着图2中Z方向的轴为中心轴在Θ方向上转动，因此，在将探头30插入到探针卡16的夹具33后，能够使该探头30在Θ方向上旋转，将探头30的凸缘34与夹具33的凸缘32卡合。其结果是，即使是带凸缘34的探头30，也能够容易更换。
[0081]在上述的探针装置10中，对准桥25的摄像机检测设置在探头保持件24上的位置确认用标记29，因此能够正确把握探头保持件24的位置，并且能够正确调整探头保持件24与探针卡16的相对位置。其结果是，能够利用探头保持件24使探头30向探针卡16的夹具33以正确地正对的状态进行移动，能够可靠地进行探头30的更换。
[0082]另外，在上述的探针装置10中，如图5所示，探头保持件24可以具有在相对面24a开口的真空孔36(真空吸附机构)，可以在保持探头30时，对真空孔36施加负压，将探头30真空吸附于探头保持件24。由此，在探头保持件24向探针卡16移动时，能够防止探头30相对于探头保持件24相对偏尚。
[0083]并且，在探头保持件24从探头供给单元28或探针卡16接取了探头30时，可以判断是否能够对真空孔36施加负压。在能够对真空孔36施加负压的情况下，除了探头30被吸附于探头保持件24的情况之外没有其他情况，因此，通过判断是否能够对真空孔36施加负压，能够判断探头保持件24是否接取了探头30。
[0084]此外，在探头保持件24没有设置真空孔36，没有使探头真空吸附到探头保持件24的情况下，优选在探头保持件24设置销，并且在探头30设置与该销卡合的销孔或切口，由此防止探头30相对于探头保持件24相对偏离。
[0085]在上述的探针装置10中，探头保持件24在相对面24a具有2个位置确认用标记29，但是，如图6所示，2个位置确认用标记29也可以在相对面24a对角配置。在该情况下，利用对准桥25的摄像机检测2个位置确认用标记29，由此能够正确把握探头保持件24在旋转方向上的位置，并且能够正确调整旋转方向上的探头保持件24与探针卡16的相对位置。
[0086]接着，说明本发明的第二实施方式的探针装置。
[0087]本实施方式，其结构和作用与上述第一实施方式基本相同，但在以下方面与上述第一实施方式不同:不具有独立设置的探头保持件24，探针卡保持件引导机构20具有保持探头30且能够向探针卡16移动的探头保持件38。因此，对于重复的结构、作用，省略说明，以下对不同的结构、作用进行说明。
[0088]图7是示意性地表示本实施方式的探针装置的主体内部中的结构的立体图。
[0089]在图7中，探针装置37的探针卡保持件引导机构20具有能够保持探头30的探头保持件38。探头保持件38能够与探针卡保持件引导机构20—起在图中Y方向和图中Z方向上移动，但是，在该Z方向上，也能够独立于探针卡保持件引导机构20的叉子21地移动，与保持的探头30—起向探针卡16移动，如后述的图8A至图8C所示，将探头30安装向探针卡16，或者从探针卡16接取探头30。由此，探头保持件38能够更换探针卡16的探头30。
[0090]此外，在常态时，探头保持件38在图中Z方向上位于比叉子21更靠下方的位置，使得在由探针卡保持件引导机构20载持探针卡保持件时不干涉探针卡保持件。
[0091]图8A至图SC表示图7的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。图8A至图SC中，也在探针卡16中的探头30的安装位置设置有可翻倒式夹具31。
[0092]首先，探头保持件38与探针卡保持件引导机构20—起在图7中Y方向上移动，达到主体12的外部之后，从操作者处接取探头30并将其保持。
[0093]接着，探头保持件38与探针卡保持件引导机构20—起在图7中Y方向上移动，进入到主体12的内部之后，与探针卡16的夹具31正对(图8A)。
[0094]接着，探头保持件38沿着图7中Z方向独立于探针卡保持件引导机构20的叉子21地移动，向探针卡16移动(图8B)。
[0095]接着，当探头30被按压到探针卡16时，探头30的一部分与夹具31接触，夹具31向图中内侧翻倒而保持探头30(图SC)。
[0096]另外，在从探针卡16接取探头30的情况下，执行与图8A至图SC所示的方法相反的步骤。由此，探头保持件38能够对探针卡16更换探头30。
[0097]根据本实施方式的探针装置37，探针卡保持件引导机构20具有能够保持探头30且独立于针卡保持件引导机构20的叉子21地向探针卡移动的探头保持件38，因此能够利用探头保持件38使探头30向探针卡16移动，由此能够容易更换探头30。
[0098]另外，探头保持件38与探针卡保持件引导机构20—起在图7中Y方向上移动，到达主体12的外部，因此操作者能够使探头30容易地保持到探头保持件38。
[0099]接着，说明本发明的第三实施方式的探针装置。
[0100]本实施方式的结构和作用与上述第一实施方式基本相同，但在以下方面与上述第一实施方式不同:不具有独立设置的探头保持件24，载置台11具有探头适配件40。因此，对于重复的结构、作用，省略说明，以下对不同的结构、作用进行说明。
[0101]图9是示意性地表示本实施方式的探针装置的主体内部中的结构的立体图。
[0102]在图9中，探针装置39的载置台11具有相对于该载置台11可拆装且能够保持探头30的探头适配件40。探头适配件40载置在载置台11的顶部，与载置台11 一起在图中X方向、图中Y方向、图中Z方向上移动。尤其是，探头适配件40保持探头30地与载置台11一起向探针卡16移动，如后述的图1IA至图1IB所示，将探头30安装到探针卡16，或者从探针卡16接取探头30。由此，探头适配件40能够更换探针卡16的探头30。
[0103]另外，探头适配件40在与对准桥25相对的相对面40a具有2个位置确认用标记29，利用对准桥25的摄像机检测各位置确认用标记29来确认探头适配件40的位置。在利用探头适配件40更换探头30时，基于由摄像机确认的位置，探头适配件40进行移动而与探针卡16正对。此外，2个位置确认用标记29在相对面40a可以对角地配置。
[0104]并且，探头适配件40在相对面40a开口并且具有与载置台11的真空孔42连通的真空孔41(参照后述的图11A)，在探头适配件40保持探头30时，经由真空孔42对真空孔41施加负压，使探头30吸附到探头适配件40。由此，能够防止在探头适配件40向探针卡16移动时，探头30相对于探头适配件40相对偏离。另外，被真空吸附的探头30向着载置台11按压探头适配件40，因此能够防止探头适配件40相对于载置台11相对偏离。
[0105]图10是示意地表示本实施方式的探针装置的变形例的主体内部中的结构的立体图。
[0106]在图10中，探针装置43的针头研磨单元23具有相对于该针头研磨单元23可拆装且能够保持探头30的探头适配件44。探头适配件44载置在针头研磨单元23的顶部，与针头研磨单元23—起在图中X方向、图中Y方向、图中Z方向上移动。尤其是，探头适配件44保持探头30地与针头