一种ccd器件量子效率测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及测试技术领域，特别涉及一种CCD器件量子效率测量装置。
【背景技术】
[0002]CXD器件是光学成像领域中应用最为广泛的图像传感器之一，量子效率是CXD器件的一个重要基本参数。精确标定主要具有两个方面的意义:一方面有助于器件研制和生产过程中材料选取、设计生产工艺的改进，另一方面，有助于C⑶器件更好的应用。
[0003]要实现CCD器件量子效率的精确测量，关键在于面阵单色均匀光源的获取。既要保证光能量均匀垂直照射在探测器的光敏面上，又要保证光源有足够的强度，达到一定的信噪比。
[0004]现有的技术中，单色仪+扩散片的均匀光产生方案由于均匀性较差，在可见光CCD的测试中一般不采用，多数均采用单色仪+积分球的方案。而且积分球的口径均达到了50cm左右，开口直径也在1cm以上，被测器件往往要求放置在积分球出光口 8倍距离之外才能保证较高的均匀性，同时要求光线能够基本垂直入射到探测器光敏面上;被测器件和积分球之间还要设计一个比较大的光学暗箱。
[0005]纵观以上测量方案，单色仪+扩散片的均匀光产生方案由于均匀性较差，在可见光CCD的测试中一般不采用，其它基本均采用单色仪+积分球的方案。积分球均匀光源的好处是能够达到较高的均匀性，以上方案中，积分球的口径均达到了50cm左右，开口直径也在1cm以上，而且被测器件往往要求放置在积分球出光口 8倍距离之外才能获得较好的均匀光效果，被测器件和积分球之间还要设计一个比较大的光学暗箱。
[0006]以上方案固然能满足大面阵CCD的测量，但同时会有以下缺点:
[0007]第一，体积过于庞大，不易移动和操作，会给测试带来一定的不便；
[0008]第二，单色仪本身出光能量较弱，通过大口径的积分球衰减会很大，而且被测CCD距离积分球较远，光能量进一步减弱，在测试性能稍差一些的CCD时会有信噪比不够的情况发生；
[0009]第三，在测试时标准探测器和被测CCD需要在相同的位置轮流探测，但根据目前的实际测试情况，有时候不仅需要对CCD裸片进行测试，而且还需要对装调好的CCD相机进行测试，由于CCD相机的外壳结构的阻碍，不易确定CCD光敏面的具体位置，尤其是和垂直于积分球出光面的方向上，标准探测器和CCD光敏面的放置位置会存在一定偏差，给测量结果带来一定的误差。
【发明内容】
[0010]为克服现有技术的不足，本发明提出一种改进的CCD器件量子效率测量装置，该方案采用体积较小的积分球，在积分球出光口处增加扩束镜装置。
[0011]本发明的技术方案是这样实现的:
[0012]—种CCD器件量子效率测量装置，包括:光源、单色仪、积分球、扩束镜、可调光阑、暗室、标准探测器、CCD驱动电路、皮安表、主控计算机，将CCD器件及标准探测器置于暗室中；
[0013]单色仪输出口经过聚焦放大后汇聚到光纤束中，然后注入到积分球中；
[0014]积分球出光口处增加扩束镜，光线通过扩束镜后进行了汇聚，经过汇聚准直后的光线进入暗室后，经过可调光阑投射到被测CCD或标准探测器上；分别通过CCD驱动电路和皮安表进行数据采集并传送到主控计算机上进行处理。
[0015]可选地，所述积分球直径为100?150mm，输出口径为10?15mm。
[0016]可选地，所述积分球直径为100mm，输出口径为10_。
[0017]可选地，所述积分球的出光口平面为扩束镜的入射物面。
[0018]可选地，所述扩束镜的F数为2.5，F数为扩束镜系统焦距与出光口直径之比。
[0019]可选地，所述扩束镜的出光口直径为50_。
[0020]可选地，所述扩束镜系统焦距为250mm。
[0021]可选地，所述标准探测器选用圆形探测器，面积为100mm2。
[0022]可选地，所述可调光阑的位置紧靠扩束镜的出光口。
[0023]可选地，在扩束镜的出光口处加装圆形可调光阑，半径分别为1mm、2mm、3mm、4mm、5mm各一个。
[0024]本发明的有益效果是:
[0025](I)积分球出光口处增加扩束镜系统，既提高了光源的均匀性，又起到了汇聚及准直光线的作用，提高了光能利用率；
[0026](2)加入了光阑，可以设置不同的光阑口径，选取中间均匀度较高的光斑进行测试，提高了测量精度；
[0027](3)扩束镜对光束的准直以及光阑对光束的限制，可以消除一部分被测CCD和标准探测器对准误差带来的影响，准直后的光束也能够保证光线全部进入被测CCD和标准探测器中。既提高了测量精度又降低了系统的调试难度；
[0028](4)积分球和暗室的体积都较小，精简了系统，节省了空间。
【附图说明】
[0029]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为本发明CCD器件量子效率测量装置结构示意图；
[0031]图2为本发明的扩束镜结构图。
【具体实施方式】
[0032]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0033]对于CCD器件量子效率的测量，关键在于均匀单色光源的获取，当前一般采用单色仪+积分球的方案，但同时会有系统体积庞大、光能量衰减严重、以及系统调试难度大等缺点。为克服现有技术的不足，本发明提出一种改进的CCD器件量子效率测量装置，该方案采用体积较小的积分球，在积分球出光口处增加扩束镜装置
[0034]如图1所示，本发明的CCD器件量子效率测量装置主要包括:光源、单色仪、积分球、扩束镜、可调光阑、暗室、标准探测器、CCD驱动单元、皮安表、主控计算机。为消除杂散光对测量结果的影响，将CCD器件及标准探测器置于暗室中。
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