分析装置以及分析方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及一种分析装置以及分析方法。
【背景技术】
[0002]以往公知有一种分析方法以及装置，在气泡分离器中将分析对象液分离为相对包含较多气泡的液体和相对包含较少气泡的液体两部分，在对相对包含较少气泡的液体进行了所需的分析后，使相对包含较少气泡的液体与相对包含较多气泡的液体合流。
[0003]专利文献1:日本特开2006-113075号公报
【发明内容】
[0004]发明所要解决的课题
[0005]但是，在以往的方法中，未能完全消除噪音对分析结果的影响。本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的是提供一种能够进一步提高测定精度的分析装置以及分析方法。
[0006]用于解决课题的方案
[0007]本发明所涉及的分析装置具有:气泡分离器，所述气泡分离器将流入的液体分离为气泡的量相对较少的第一液以及气泡的量相对较多的第二液;分析器，所述分析器对在所述气泡分离器中分离出的所述第一液进行分析;滴定器，所述滴定器滴下在所述气泡分离器中分离出的所述第二液；以及合流部，其使从所述分析器排出的第一液以及从所述滴定器排出的第二液合流。
[0008]本发明所涉及的分析方法具有:将液体分离为气泡的量相对较少的第一液以及气泡的量相对较多的第二液的工序;分析所述第一液的工序;滴下所述第二液的工序；以及使滴下后的第二液与分析后的第一液合流的工序。
[0009]根据这些发明，由于对脱泡了的液体进行分析，因此能够降低因气泡导致的分析误差。并且，由于从第一液分离出的第二液在滴下之后再与第一液合流，因此第二液不会形成与第一液不同的其他电流通路，因此能够抑制由第二液形成的电流通路对分析结果的影响。
[0010]在此，所述气泡分离器可以是具有向上筒、向下筒以及水平筒的T字管，所述液体可以从所述水平筒流入，所述第一液可以从所述向下筒排出，所述第二液可以从所述向上筒排出。由此，能够通过简易的结构高效地去除气泡。
[0011]并且，所述分析器可以包括测定在所述液体中流动的电流的传感器。由此，特别提高了分析结果的精度。
[0012]发明的效果
[0013]通过本发明，提供一种能够进一步提高测定精度的分析装置以及分析方法。
【附图说明】
[0014]图1是本发明的一实施方式所涉及的分析装置的流程图。
[0015]图2(a)以及图2(b)是分别表示图1的分析器的一个例子的电路图。
[0016]图3是表示图1的气泡分离器的一个例子的剖视图。
[0017]图4是实施例所涉及的分析结果的一个例子。
[0018]图5是比较例所涉及的分析结果的一个例子。
[0019]附图标记说明
[0020]10...气泡分离器，10A...水平筒，10B...向下筒，10C..?向上筒，20...分析器，30...滴定器，40...合流部，100...分析装置
【具体实施方式】
[0021]参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是本发明的一实施方式所涉及的分析装置100的流程图。
[0022]该分析装置100对从显影液利用系统S抽样的显影液进行分析，并使显影液返回到显影液利用系统S。
[0023]显影液利用系统S具有显影部S1、显影液回收部S2以及显影液再生部S3。显影部SI通过从显影液再生部S3供给来的显影液、例如TMAH(四甲基氢氧化铵)水溶液溶解抗蚀剂，来获得所需形状的抗蚀剂。
[0024]显影液回收部S2回收并积存用于显影的显影液。显影液再生部S3通过精密过滤处理等，去除显影液中的溶解抗蚀剂，进行浓度调整，再生成显影液。
[0025]分析装置100主要具有气泡分离器10、分析器20、滴定器30以及合流部40。
[0026]气泡分离器10将从显影液利用系统S的显影液再生部S3供给来的显影液分离为气泡相对较少的第一液以及气泡相对较多的第二液。第一液被供给至分析器20，第二液被供给至滴定器30。
[0027]具体地说，本实施方式的气泡分离器10是具有向上筒10C、向下筒1B以及水平筒1A的T字管。显影液再生部S3通过具有栗P的管线LO与水平筒1A连接。在向下筒1B上连接有经由分析器20以及合流部40返回到显影液再生部S3的管线LI。在向上筒1C上连接有具有阀Vl以及滴定器30的管线L2，该管线L2与合流部40连接。从显影液再生部S3供给至水平筒1A的显影液被分离为从向下筒1B排出的第一液和从向上筒1C排出的第二液。
[0028]各筒的内径没有特别限定，但是例如可以将水平筒1A的内径设定为6.0mm至22.2mm。并且，可以将向下筒1B以及向上筒1C的内径设定为6.0mm至22.2mm。
[0029]分析器20测定第一液中的TMAH浓度。具体地说，分析器20具有:测定显影液的电导率的电导率仪(传感器)20S;以及根据测定出的电导率以及事先规定的电导率一TMAH浓度的对应关系获取浓度的计算机部20C。
[0030]电导率仪20S的形式没有特别限定。例如，如图2(a)所示，电磁感应型的电导率仪具有:环形线圈Cl，其具有配置于供给有液体的容器V中的绕组Wl;电源PSl，其向环形线圈Cl的绕组Wl施加交流电流;环形线圈C2，其具有用于检测通过环形线圈Cl向液体施加的感应电流i的绕组W2;以及检测器D，其检测被绕组W2所感应的电压。如图2(b)所示，交流双电极型的电导率仪具有:配置于容器V中的一对电极E1、E2;向这些电极间施加交流电压的电源PSl;以及检测流过这些电极间的电流的检测器D。
[0031]返回图1，滴定器30滴下第二液。如图3所示，滴定器30主要具有容器32以及滴定管34。容器32具有斜面部32S、积存部32R以及滴定管插入部32C。滴定管插入部32C形成于斜面部32S的上方。
[0032]滴定管34经由密封件36插入到滴定管插入部32C中。滴定管34的内侧端面对斜面部32S，但是与斜面部32S分离。滴定管34的外端侧经由管线L2与气泡分离器10连接。
[0033]滴定管34的内径只要能够从滴定管34滴下第二液即可，没有特别限定，例如可以设定为8.0至22.2mm。并且，滴定管34与斜面部32S之间的距离也只要是确保能够滴下第二液的距离即可，例如可以将滴定管34的下端与斜面部32S之间在铅垂方向上的最短距离设定为I Omm至15mm ο
[0034]积存部32R以能够积存滴下到斜面部32S的显影液的方式与斜面部32S的下端连接。
[0035]斜面部32S的倾斜角度也只要是能够使滴下的显影液流到积存部32R的角度即可，例如可以将斜面部32S的表面与水平面所成的角度Θ设定为1°至90°。在90°的情况下，不存在斜面部32S，显影液直接滴下到积存部32R。
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