显微镜标记装置的制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种显微镜标记装置，包括通过一固定结构固定于显微镜上的标记结构，所述标记结构位置对应于显微镜视野区域内、以对目标位置进行标记。本发明的有益效果是：可快速、准确的对目标位置进行标记，且适用范围广，操作简单，成本低。
【专利说明】
显微镜标记装置
技术领域
[0001]本发明涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种显微镜标记装置。
【背景技术】
[0002]在半导体测试和不良分析过程中，经常是在显微镜镜下快速找到缺陷点，然后再到其他更高分辨率或者成分分析等设备上进行进一步分析，这时就需要对缺陷点进行位置标记，从而方便为后续其他设备制作尺寸更小的样品，并方便样品进入设备内部后快速找到缺陷点。目前常用标记方法有Mark笔直接探入显微镜镜头下标记和利用镭射打标标记。Mark笔直接探入显微镜镜头下的方法由于物镜一般离样品比较近，操作极其不方便，且容易失误。镭射打标的方法设备造价昂贵，而且遇到部分有机材料又无法用镭射打标。
【发明内容】
[0003]为了解决上述技术问题，本发明提供一种显微镜标记装置，操作方便、成本低。
[0004]为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是:一种显微镜标记装置，包括通过一固定结构固定于显微镜上的标记结构，所述标记结构位置对应于显微镜视野区域内、以对目标位置进行标记。
[0005]进一步的，所述标记结构包括:
[0006]标记头，用于对目标位置进行标记；
[0007]连接件，用于将所述标记头固定于所述固定结构上；
[0008]调节件，连接于所述连接件上，调节所述连接件在与显微镜镜面垂直的方向和与显微镜镜面水平的方向上移动以使得所述标记头移动以进行标记。
[0009]进一步的，所述连接件为一可容纳有色液体的中空管状结构，所述中空管状结构包括与显微镜镜面垂直的第一部分，以及与所述第一部分相垂直的第二部分，所述第一部分和所述第二部分连接呈L型结构。
[0010]进一步的，所述标记头包括与所述第二部分相连通的中空连接部，以及与所述中空连接部连接的环形框架，所述环形框架平行于所述第二部分设置，且所述环形框架的底部设有与所述中空连接部连通的凹槽，所述凹槽内嵌装有可吸收有色液体的海绵。
[0011 ]进一步的，所述标记头还包括定位针，所述定位针的一端设于环形框架的内侧，所述定位针的另一端向所述环形框架的中心延伸。
[0012]进一步的，所述凹槽的底部设有第一通孔，该第一通孔向内延伸形成与所述中空连接部连通的通道。
[0013]进一步的，所述固定结构包括固定于显微镜上的固定板，以及具有供所述中空结构穿过的第二通孔的连接部。
[0014]进一步的，所述调节件包括:
[0015]按压头，设于所述中空管状结构远离所述标记头的一端；
[0016]弹性部件，设置于所述中空管状结构上、位于所述连接部两侧的位置；
[0017]限位部件，设于所述中空管状结构靠近所述标记头的一侧，用于限定相应的所述弹性部件的位置。
[0018]进一步的，所述按压头螺接于所述中空管状结构的一端。
[0019]进一步的，所述连接部包括具有供所述中空管状结构穿过的第二通孔的第一部分，以及位于所述第一部分两侧的框架结构。
[0020]本发明的有益效果是:可快速、准确的对目标位置进行标记，且适用范围广，操作简单，成本低。
【附图说明】
[0021]图1表示本发明实施例中显微镜标记装置使用状态示意图；
[0022]图2表示本发明实施例中显微镜标记装置结构示意图；
[0023]图3表示本发明实施例中中空管状结构示意图；
[0024]图4表示本发明实施例中标记头结构示意图；
[0025]图5表示本发明实施例中标记头俯视图；
[0026]图6表示本发明实施例中海绵结构示意图；
[0027]图7表示本发明实施例中固定结构示意图。
【具体实施方式】
[0028]以下结合附图对本发明的特征和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本发明，并非以此限定本发明的保护范围。
[0029]如图1和图2所示，本实施例提供一种显微镜标记装置，包括通过一固定结构10固定于显微镜I上的标记结构20，所述标记结构20位置对应于显微镜I视野区域内、以对目标位置进行标记。
[0030]标记结构20固定于显微镜I上，可快速、准确的对目标位置进行标记，且适用范围广，操作简单，成本低。
[0031 ] 本实施例中，所述标记结构20包括:
[0032]标记头9，用于对目标位置进行标记；
[0033]连接件，用于将所述标记头9固定于所述固定结构10上；
[0034]调节件，连接于所述连接件上，调节所述连接件在与显微镜I镜面垂直的方向和与显微镜I镜面水平的方向上移动以使得所述标记头9移动以进行标记。
[0035]标记头9的位置对应于显微镜I的视野区域，优选的，标记头9的位置位于显微镜I的视野中心，对目标位置进行标记时，通过调节件控制标记头9向下移动以实现对目标位置的标记。
[0036]进一步的，所述连接件为一可容纳有色液体的中空管状结构8，所述中空管状结构8包括与显微镜I镜面垂直的第一部分81，以及与所述第一部分81相垂直的第二部分82，所述第一部分81和所述第二部分82连接呈L型结构，如图3所示。
[0037]进一步的，所述标记头9包括与所述第二部分82相连通的中空连接部95，以及与所述中空连接部95连接的环形框架91，所述环形框架91平行于所述第二部分82设置，且所述环形框架91的底部设有与所述中空连接部95连通的凹槽92，所述凹槽92内嵌装有可吸收有色液体的海绵30。
[0038]连接件为L型的中空管状结构8，标记头9连接于中空管状结构8的第二部分82，从中空管状结构8注入有色液体，嵌入环形框架91的海绵吸收该有色液体，从而在中空管状结构8向靠近目标位置的方向移动以至海绵30接触目标位置，快速、便捷。
[0039]L型的中空管状结构8设计，使得在不需要进行标记时，可转动中空管状结构8，使得第二部分82远离显微镜I视野范围，即将标记头9移动至显微镜I视野范围外，以免影响显微镜I的正常使用；当需要对目标位置进行标记时，即可转动中空管状结构8以将标记头9转动至显微镜I视野范围，L型结构可以很好克服普通标记笔与显微镜I干涉的缺点，且利于找到显微镜I视野中心，或需要标记的点。
[0040]为了更准确的对目标位置进行标记，进行标记时，标记头9能够随着中空管状结构8的转动至显微镜I视野中心。
[0041]为了进一步的保证标记位置的准确性，本实施例中，所述标记头9还包括定位针93，所述定位针93的一端设于环形框架91的内侧，所述定位针93的另一端向所述环形框架91的中心延伸，如图4和图5所示。
[0042]如图4所示，所述环形框架91可以为圆形、半圆形、方形等，凹槽92的形状由环形框架91的形状决定，海绵30嵌入凹槽92，海绵30的形状由凹槽92的形状决定，即标记形状的形状由凹槽92的形状决定，本实施例中，环形框架91为方形，海绵30的形状也为方形，如图6所不O
[0043]本实施例中，有色液体为墨水。
[0044]本实施例中，为了便于海绵30吸收从中空管状结构8注入的有色液体，所述凹槽92的底部设有第一通孔94，该第一通孔94向内延伸形成与所述中空连接部连通的通道。
[0045]所述固定结构10的具体结构形式可以有多种，只要将标记结构20固定于显微镜I上即可，本实施例中，所述固定结构10包括固定于显微镜I上的固定板2，以及具有供所述中空管状结构8穿过的第二通孔510的连接部5。
[0046]所述固定板2上设有供螺栓穿过的第三通孔21。
[0047]所述连接部5包括具有供所述中空管状结构8穿过的第二通孔510的第一部分51，以及位于所述第一部分51两侧的框架结构52。框架结构52的设置起到减重的作用。
[0048]本实施例中，所述调节件包括:
[0049]按压头3，设于所述中空管状结构8远离所述标记头9的一端；
[0050]弹性部件，设置于所述中空管状结构8上、位于所述连接部5两侧的位置；
[0051]限位部件7，设于所述中空管状结构8靠近所述标记头9的一侧，用于限定相应的所述弹性部件的位置。
[0052]进一步的，所述按压头3螺接于所述中空管状结构8的一端。
[0053]优选的，所述弹性部件为弹簧，设于所述中空管状结构8靠近所述标记头9的一侧的弹簧为第一弹簧6，靠近按压头3的弹簧为第二弹簧4，向远离显微镜I镜面的方向按压按压头3，第一弹簧6压缩，对目标位置进行标记后，松开按压头3，第一弹簧6回弹，标记头9自动复位。
[0054]第二弹簧4的位置通过按压头3限定，且第二弹簧4的主要作用为缓冲第一弹簧6回弹产生的回弹力，起到保护标记结构20的作用，提高标记结构20的工作稳定性。
[0055]本发明显微镜I辅助标记装置在组装时，首先将第一弹簧6套在中空管状结构8上，卡在限位部件7处。然后中空管状结构8的第一部分81穿装入连接部5的第二通孔510内，然后在中空管状结构8的第一部分81套入第二弹簧4，拧上按压头3从而固定第二弹簧4的位置。在标记头9的环形框架91上安装海绵，将标记头9与中空管状结构8连接(标记头9与所述中空管状结构8可为一体结构)，组装完成后的标记结构20如图1所示。
[0056]以上所述为本发明较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明保护范围。
【主权项】
1.一种显微镜标记装置，其特征在于，包括通过一固定结构固定于显微镜上的标记结构，所述标记结构位置对应于显微镜视野区域内、以对目标位置进行标记。2.根据权利要求1所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述标记结构包括: 标记头，用于对目标位置进行标记； 连接件，用于将所述标记头固定于所述固定结构上； 调节件，连接于所述连接件上，调节所述连接件在与显微镜镜面垂直的方向和与显微镜镜面水平的方向上移动以使得所述标记头移动以进行标记。3.根据权利要求2所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述连接件为一可容纳有色液体的中空管状结构，所述中空管状结构包括与显微镜镜面垂直的第一部分，以及与所述第一部分相垂直的第二部分，所述第一部分和所述第二部分连接呈L型结构。4.根据权利要求3所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述标记头包括与所述第二部分相连通的中空连接部，以及与所述中空连接部连接的环形框架，所述环形框架平行于所述第二部分设置，且所述环形框架的底部设有与所述中空连接部连通的凹槽，所述凹槽内嵌装有可吸收有色液体的海绵。5.根据权利要求4所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述标记头还包括定位针，所述定位针的一端设于环形框架的内侧，所述定位针的另一端向所述环形框架的中心延伸。6.根据权利要求4所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述凹槽的底部设有第一通孔，该第一通孔向内延伸形成与所述中空连接部连通的通道。7.根据权利要求3所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述固定结构包括固定于显微镜上的固定板，以及具有供所述中空管状结构穿过的第二通孔的连接部。8.根据权利要求3所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述调节件包括: 按压头，设于所述中空管状结构远离所述标记头的一端； 弹性部件，设置于所述中空管状结构上、位于所述连接部两侧的位置； 限位部件，设于所述中空管状结构靠近所述标记头的一侧，用于限定相应的所述弹性部件的位置。9.根据权利要求8所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述按压头螺接于所述中空管状结构的一端。10.根据权利要求7所述的显微镜标记装置，其特征在于，所述连接部包括具有供所述中空管状结构穿过的第二通孔的第一部分，以及位于所述第一部分两侧的框架结构。
【文档编号】G01N21/88GK105891216SQ201610224020
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年4月12日
【发明人】刘超, 薛金祥, 张玉军
【申请人】京东方科技集团股份有限公司