专利名称：一种生产线设备的监控方法及系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及生产线设备技术领域，特别是涉及一种生产线设备的监控方法及一种
生产线设备的监控系统。
背景技术：
生产线设备是现代生活中完成各类产品生产、制造或工艺过程不可缺少的硬件设
备，为尽可能降低成本及提高效率，对于生产线设备一般均配置有相应的监控系统以监控
生产线设备的运行，并在生产线设备的运行状态不正常，或者是生产线设备所反映出的真
实条件的状态(如气压值、温度值等)不正常的时候，判断是否触发报警。 —般而言，所触发的报警方式可以分为两种情形，第一种情形的报警是针对于一
些对环境参数要求非常苛刻的情况，或者会对生产线设备造成损坏的情况，例如，刻蚀工艺
过程中的电压值、生产线设备硬件本身的损坏等，在这种情况下， 一旦检测到相关状态的参
数值超出正常范围，则立即触发报警；然而，还有诸多对工艺过程和生产的产品影响不是特
别大的状态参数，如压力值，温度值等，这种参数短时间内超出正常范围并不会对生产线设
备或工艺结果造成不利的影响，再者这种超出正常范围的情况也可能是因为生产线设备本
身的原因或者环境的原因产生的信号干扰所导致的，因而针对这种情况，不必在发现异常
时就立即触发报警，而可以在持续一段时间监控后，确定生产线设备返回的相关状态参数
值确实处于异常状态才触发报警，即第二种情形的报警。 参考图l，所述第二种情形的报警方式实现，具体可以包括如下步骤 步骤101、设置异常次数Exc印tNum为0 ; 步骤102、获取预置的循环检测间隔时间Interval ; 步骤103、获取预置的容忍时间TolerenceTime ; 步骤104、每间隔所述循环检测间隔时间Interval,检测生产线设备的相关状态 参数值； 步骤105、将所述状态参数值与预置的状态正常参数值进行比较，判断是否超出正 常范围，若是，则执行步骤107及后续步骤；若否，则执行步骤106，并返回步骤104 ;
步骤106、设置异常次数Exc印tNum为0 ;
步骤107、将异常次数Exc印tNum加1 ; 步骤108、判断循环检测间隔时间Interval与当前Exc印tNum的次数的乘积是否 大于预置的容忍时间TolerenceTime ;若是，则执行步骤109 ;否则返回步骤104 ;
步骤109、触发报警。 现有技术中，上述监控过程中的循环检测间隔时间是由相关技术人员在监控程序 运行之前手动配置的，而实际上生产线设备返回的状态参数值并没有规律可寻，该值可能 在很长的一段时间内不变化，也可能在很短的时间内变化很多次。在这种情况下，如果循环 检测间隔时间值稍大，就不能完全地捕捉设备的实际情况；如果循环检测间隔时间值稍小， 就会造成了在整个监控进行期间，应用程序总是在间隔很短的时间内循环读数据，造成了系统资源的浪费。 因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是如何能够创新地 提出一种生产线设备的监控方法，用以尽可能客观地捕捉生产线设备的实际情况，并节省 系统资源。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种生产线设备的监控方法及系统，用以尽可 能客观地捕捉生产线设备的实际情况，并节省系统资源。 为了解决上述技术问题，本发明实施例公开了一种生产线设备的监控方法，包 括 当检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常时，开启监控线程执行以下操 作 步骤S12、获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时间； 步骤S14、判断在预设的时间范围内，当前目标状态参数是否发生变化；若否，则
执行步骤S16 ; 步骤S16、触发报警。 优选的，所述的方法还包括 若在预设的时间范围内，当前目标状态参数发生了变化，则执行以下操作；
步骤S18、获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时间； 步骤S20、判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内，若是，则执行步骤
S22 ;若否，则执行步骤S24 ; 步骤S22、关闭所述监控线程； 步骤S24、依据连续两次异常发生时间的差值，縮短所述预设的时间范围，并返回 所述步骤S14。 优选的，所述的方法还包括 由开启的改正型互锁线程Overrunlnterlock按照预定的时间间隔循环检测所述
生产线设备的目标状态参数，并判断是否在正常范围内，若否，则判定发生异常。 优选的，所述的方法还包括 在所述监控线程开启后，挂起所述改正型互锁线程；
以及， 在所述监控线程关闭后，唤醒所述改正型互锁线程。 优选的，所述监控线程的开启通过打开预置的开关变量触发；所述监控线程的关
闭通过关闭预置的开关变量触发。 优选的，所述的方法还包括 在报警完成后，关闭所述开关变量，并开启改正型互锁线程以清除报警。
本发明实施例还公开了一种生产线设备的监控系统，包括 监控线程开启模块，用于在检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常时， 开启监控线程控制模块，所述监控线程控制模块包括 第一异常信息标记模块，用于获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时间；
参数变化监测模块，用于判断在预设的时间范围内，当前目标状态参数是否发生
变化；若否，则触发报警模块； 报警模块，用于触发报警。 优选的，所述的系统还包括用于在预设的时间范围内，当前目标状态参数发生了 变化时触发的以下模块； 第二异常信息标记模块，用于获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时间；
参数校验模块，用于判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内，若是，则 触发监控线程关闭模块；若否，则触发时间范围调整模块；
监控线程关闭模块，用于关闭所述监控线程； 时间范围调整模块，用于依据连续两次异常发生时间的差值，縮短所述预设时间 范围，并触发所述参数校验模块。
优选的，所述的系统还包括 改正型互锁线程操作模块，用于按照预定的时间间隔循环检测所述生产线设备的 目标状态参数，并判断是否在正常范围内，若否，则判定发生异常，触发所述监控线程开启 模块。 优选的，所述的系统还包括 改正型互锁线程挂起模块，用于在所述监控线程开启后，挂起所述改正型互锁线 程； 改正型互锁线程唤醒模块，用于在所述监控线程关闭后，唤醒所述改正型互锁线 程。 优选的，所述监控线程开启模块通过打开预置的开关变量触发；所述监控线程关
闭模块通过关闭预置的开关变量触发。 优选的，所述的系统还包括 报警清除模块，用于在报警完成后，关闭开关变量，以及，开启改正型互锁线程。
与现有技术相比，本发明具有以下优点 本发明通过一个在检测到生产线设备的目标状态参数发生异常时开启的监控线 程，基于该线程中设定的持续观察时间监控目标状态参数的异常值是否有变化，若在该持 续观察时间内，目标状态参数有变化且未回到正常范围，则依据当次与上一次异常发生时 间的差值，縮短所述持续观察时间，并基于该縮短后的持续观察时间进行下一次检测。若在 该持续观察时间内目标状态参数无变化，则触发报警。 可以看出，在本发明实施例中的持续观察时间并不是一成不变的，而是会在生产 线设备当前的目标状态参数再次发生异常变化时，依据连续两次异常发生的时间差值相应 地被縮短。从而不仅能真实反映、全面捕捉生产线设备目标状态参数的实际情况，还由于合 理地縮短持续观察时间，不至于造成资源的浪费。 本发明还可以将改正型互锁线程与监控线程相结合，即在正常情况下仍用改正型 互锁线程来循环检测生产线设备的相关状态参数，只在参数值出现异常的时候才启动监控 线程在预设的观察时间内进行监控，不仅易于实现，系统开销也很小，对于相关技术人员而 言，由于对异常情况不是不加区分地立即报警，而是经过观察后确定发生异常才报警，所以 还能提高工作效率及使用体验。
图1是现有技术中一种持续观察后报警方式的步骤流程图；
图2是本发明的一种生产线设备的监控方法实施例1的步骤流程图
图3是本发明的一种生产线设备的监控方法实施例2的步骤流程图
图4是本发明的一种生产线设备的监控系统实施例1的结构框图；
图5是本发明的一种生产线设备的监控系统实施例2的结构框图。
具体实施例方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实 施方式对本发明作进一步详细的说明。 本发明可用于众多通用或专用的计算系统环境或配置中。例如多处理器系统、服 务器、网络PC、小型计算机、大型计算机、包括以上任何系统或设备的分布式计算环境等等。
本发明可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序 模块。 一般地，程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组 件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本发明，在这些分布式计算环境中，由 通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序模块可以 位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。 本发明实施例的核心构思之一在于，针对现有技术中循环检测间隔时间的手动配
置所导致的设备报警不准或资源耗费的问题，提出一种全新的对生产线设备某些状态参数
持续一段时间的监控后才触发报警的方案，该方案通过一个在检测到生产线设备的目标状
态参数发生异常时开启的监控线程，基于该线程中设定的持续观察时间监控目标状态参数
的异常值是否有变化，若在该持续观察时间内目标状态参数无变化，则触发报警。 参考图2，示出了本发明的一种生产线设备的监控方法实施例1的流程图，具体可
以包括以下步骤 步骤S11、当检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常时，开启监控线程执 行以下操作 步骤S12、获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时间； 步骤S14、判断在预设的时间范围内，当前目标状态参数是否有变化；若否，则执 行步骤S16。 应用本实施例，当在目标状态参数出现异常时会启动一个单独的监控线程，基于 该监控线程中预设的时间范围对异常参数值进行持续观察，若在该时间范围内该值未发生 变化，则表示生产线设备的异常一直存在，故在此时会触发报警。 进一步而言，本发明实施例还涉及依据实际生产或工艺情况调整监控线程中的预 设时间范围的操作，简单来说，即如果目标状态参数在预设的范围内发生了变化且未回到 正常范围(即仍为异常)，则依据当次与上一次异常发生时间的差值，縮短所述持续观察时 间，并基于该縮短后的持续观察时间进行下一次检测。 具体而言，在本发明实施例还可以包括在预设的时间范围内，当前目标状态参数
发生了变化时(即步骤S14判断为是时)执行的以下操作； 步骤S18、获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时间；
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步骤S20、判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内，若是，则执行步骤
S22 ;若否，则执行步骤S24 ; 步骤S22、关闭所述监控线程； 步骤S24、依据连续两次异常发生时间的差值，縮短所述预设时间范围，并返回步 骤S14。 为使本领域技术人员更好地理解本发明，以下通过一个具体例子对本发明的监控 方法进一步说明。 例如，在PECVD设备的预热腔中对硅片进行预热时，需要对温度进行监控，并且假 设预热的正常温度范围是150°C 200°C ，每隔ls对预热的温度进行一次检测，若某次检测 到的温度达到205t:，即超出正常范围，则判定发生异常，此时，则开启监控线程执行以下操 作 1)标记该次异常为异常温度值D1 = 205"，异常发生时间Tl = 10:05:30 ;
2)判断在预设的时间范围TolerenceTime = 10s (即所述预热温度异常所能承受 的时间范围)内，所述温度值是否发生变化；若否，则触发报警；若是，则执行以下3)或4);
3)如果标记的变化值D2 = 18(TC，变化发生时间T2 = 10:05:35 ;则可以发现当 前温度已经回到正常范围，在这种情况下，则可以关闭该监控线程； 4)如果标记的变化值D2 = 21(TC，变化发生时间T2 = 10:05:35 ;则可以发现其 变化值仍超出了正常范围，并且T2与Tl的差值未超出TolerenceTime,在这种情况下，可以 将TolerenceTime调整为5s后，返回2)步骤，继续等到下一个变化值D3及变化发生时间 T3后再进行处理。 需要说明的是，所述步骤S14中判断目标状态参数的异常值是否有变化的操作，
是基于当前获得的目标状态参数与上一次获得的目标状态参数的对比获知的。例如，对下
一个变化值D3及变化发生时间T3的判断，是基于上一次的变化值D2及变化发生时间T2
进行的，即假设第一次获得的参数值为D1 = 51、第二次获得的参数值为D2 = 52，第三次获
得的参数值为51，则在此次循环中，是将D3与D2进行比较，判断是否发生变化，即本例为
D3是此次循环获得的变化值；以此类推，若获得再下一个变化值D4及变化发生时间T4，其
是否变化的判断则是基于上一次的变化值D3及变化发生时间T3进行的。 此外，由于每次检测到的变化是在预设的时间范围内发现的，故连续两次异常发
生的时间会小于该预设时间范围，在这种情况下，为客观反映生产线设备目标状态参数的
实际情况，则需要调整该时间范围。在本发明的一种优选实施例中，所述縮短预设时间范围
的值可以为连续两次异常发生时间的差值。 例如，预设时间范围为10s，第一次获得目标状态的异常参数的时间为10:22:55 ; 第二次获得目标状态的变化异常参数的时间为10:23:02 ;在这种情况下，则将预设时间范 围重置为7s (10s-3s)，那么第三次目标状态参数的检测就是基于7s这个持续观察时间进 行的。 当然，上述縮短时间范围的处理仅仅用作一种示例，在实际中，本领域技术人员依 据实际情况采用任一种计算方式都是可行的，例如，取连续两次异常时间差值的平均值，或 者，取连续两次异常时间差值的80%等，本发明对此无需加以限制。 在实际中，不排除可能出现由于硬件问题或其它故障，导致出现连续两次异常发生的时间大于所述预设时间范围，在这种情况下，则可以直接触发报警。 可以看出，在本发明实施例中通过在异常情况发生时启动监控线程，然后由该监
控线程的内部时钟控制目标状态参数的持续观察时间，并且该持续观察时间并不是一成不
变的，而是在生产线设备当前的目标状态参数再次发生异常变化时，依据连续两次异常发
生的时间差值，相应縮短该持续观察时间。本发明不仅能真实反映、全面捕捉生产线设备目
标状态参数的实际情况，还由于合理地縮短持续观察时间，不至于造成资源的浪费。 在本发明的另一优选实施例中，上述监控线程的应用还可以与现有的改正型互锁
线程(Overrimlnterlock)相结合， 一般而言，改正型互锁线程的工作流程为循环检测(如
每100ms检测一次)生产线设备的目标状态参数，判断它是否在正常范围内，如果正常，则
继续循环检测；如果不在正常范围内，则立即报警，在现有技术中，这种改正型互锁线程仅
仅能用来实现立即报警的情形。 然而，从本说明书中背景技术部分的描述可以得知，实际中有诸多情况是需要持
续观察一段时间才触发报警的，显然，上述改正型互锁线程控制的立即报警方式不能满足
这个要求。针对这个问题，本专利发明人创造性地提出将改正型互锁线程与监控线程相结
合的实现方案，即在正常情况下仍用改正型互锁线程来循环检测生产线设备的相关状态参
数，只在参数值出现异常的时候才启动监控线程在预设的观察时间内进行监控，不仅易于
实现，系统开销也很小，对于相关技术人员而言，由于对异常情况不是不加区分地立即报
警，而是经过观察后确定发生异常才报警，所以还能提高工作效率及使用体验。 关于所述改正型互锁线程与监控线程相结合的实现方案，具体可以参考图3所示
的本发明的一种生产线设备的监控方法实施例2的流程图，可以包括以下步骤 步骤301、启动改正型互锁线程，该线程按照预定的时间间隔循环检测所述生产线
设备的目标状态参数，并判断是否在正常范围内，若否，则判定发生异常； 在实际中，改正型互锁线程会定时(如100ms/次)去检测一次目标状态参数，如
果正常，则进行下一次检测。 步骤302、在判定发生异常时，打开开关变量以开启监控线程； 可以理解的是，这个监控线程可以采用观察者的模式来订阅由改正型互锁线程所 操作的开关变量；如果开关变量被关闭则什么也不做，如果开关变量被打开，则继续下面的 操作。 步骤303、挂起所述改正型互锁线程，并获得所述目标状态参数的异常值及异常发 生时间； 即在本步骤中，监控线程会中止改正型互锁对设备的监控，而改为监控线程自己 采用观察者的模式订阅改正型互锁线程所监控的设备目标状态参数，同时取得刚才返回的 目标状态参数的异常值和异常发生时间。 步骤304、判断在预设的时间范围内，当前目标状态参数是否有变化；若否，则执 行步骤310 ; 即在设定的持续观察时间内，如果目标状态参数没有发生变化，表示其在这段时 间内一直处于异常状态，则在这种情况下，触发报警。 例如，预设的时间范围内为ls(ls = 1000ms)，之前标记的目标状态参数的异常值 为210°C ，每隔100ms检测一次目标状态参数，从第1次至第10次所检测到的目标状态参数均为21(TC，则触发报警。 若是，即表示在预设的时间范围内所述目标状态参数发生了变化，则执行以下步 骤； 步骤305、获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时间； 在具体实现中，当在预设的时间范围内，所述目标状态参数相对于上述获得的异 常值发生了变化时，应用程序会立即通知监控线程，于是监控线程就获得了连续两次的目 标状态参数值和连续两次变化发生的时间。 步骤306、判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内，若是，则执行步骤 307 ;若否，则执行步骤308 ; 步骤307、关闭所述开关变量以关闭所述监控线程，并且唤醒所述改正型互锁线 程； 即在再次获得的变化值正常的情况下，则不触发报警，只是通过关闭开关变量关 闭所述监控线程，并再次启动改正型互锁线程对设备的监控。 步骤308、依据连续两次异常发生时间的差值，縮短所述预设时间范围，并返回步 骤304。 可以理解的是，所述异常发生时间及变化发生时间的差值表示此次异常的实际持
续时间，若小于预设的持续观察时间，表示之前设定的时间间隔过大，在这种情况下则有可
能不能完全捕捉生产线设备相关状态的实际情况，故需要将其相应调小。在本实施例中，优
选的是，所述縮短预设时间范围的值可以为连续两次异常发生的时间差值。步骤309、触发报警。 在具体实现中，本发明实施例还可以包括以下步骤 步骤310、在报警完成后，关闭所述开关变量，并开启改正型互锁线程以清除报警。
即在完成报警后，将控制监控线程的开关变量，以及，改正型互锁线程重置为初始 状态，以进行下一次的监控处理。 需要说明的是，对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列 的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为 依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知 悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明 所必须的。 参考图4，示出了本发明的一种生产线设备的监控系统实施例1的结构框图，具体 可以包括以下模块 监控线程开启模块41，用于在检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常
时，开启监控线程控制模块42，所述监控线程控制模块可以包括以下模块 第一异常信息标记模块421，用于获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时
间； 参数变化监测模块422，用于判断在预设的时间范围内，当前目标状态参数是否发 生变化；若否，则触发报警模块428 ;
若是，则触发以下模块； 第二异常信息标记模块423，用于获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时间； 参数校验模块424，用于判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内，若 是，则触发监控线程关闭模块425 ;若否，则触发时间范围调整模块426 ;
监控线程关闭模块425，用于关闭所述监控线程； 时间范围调整模块426，用于依据连续两次异常发生时间的差值，縮短所述预设时 间范围，并触发所述参数校验模块424 ;
报警模块427，用于触发报警。 由于本实施例基本相应于图2所示的实施例，故本实施例的描述中未详尽之处， 可以参见图2所示实施例中的相关说明，在此就不赘述了。 参考图5，示出了本发明的一种生产线设备的监控系统实施例2的结构框图，具体 可以包括以下模块 改正型互锁线程操作模块51，用于按照预定的时间间隔循环检测所述生产线设备 的目标状态参数，并判断是否在正常范围内，若否，则判定发生异常，触发所述监控线程开 启模块52; 监控线程开启模块52，用于在检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常 时，开启监控线程控制模块53，所述监控线程控制模块53可以包括以下模块
第一异常信息标记模块531，用于获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时 间； 改正型互锁线程挂起模块532 ，用于在所述监控线程开启后，挂起所述改正型互锁 线程； 参数变化监测模块533，用于判断在预设的时间范围内，当前的目标状态参数是否 有变化；若否，则触发报警模块540 ;
若是，则触发以下模块； 第二异常信息标记模块534，用于获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时 间； 参数校验模块535，用于判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内，若 是，则触发监控线程关闭模块536和改正型互锁线程唤醒模块537 ;若否，则触发时间范围 调整模块538 ; 监控线程关闭模块536，用于关闭所述监控线程； 改正型互锁线程唤醒模块537，用于在所述监控线程关闭后，唤醒所述改正型互锁 线程； 时间范围调整模块538，用于依据连续两次异常发生时间的差值，縮短所述预设时 间范围，并触发所述参数校验模块535 ;
报警模块539，用于触发报警。 在本实施例中优选的是，所述监控线程开启模块通过打开预置的开关变量触发；
所述监控线程关闭模块通过关闭预置的开关变量触发。 作为另一优选实施例，本发明还可以包括 报警清除模块540，用于在报警完成后，关闭开关变量，以及，开启改正型互锁线 程。
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由于本实施例基本相应于图3所示的实施例，故本实施例的描述中未详尽之处， 可以参见图3所示实施例中的相关说明，在此就不赘述了。 本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与
其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。 最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将
一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作
之间存在任何这种实际的关系或者顺序。 以上对本发明所提供的一种生产线设备的监控方法及一种生产线设备的监控系 统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上 实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技 术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本 说明书内容不应理解为对本发明的限制。
权利要求
一种生产线设备的监控方法，其特征在于，包括当检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常时，开启监控线程执行以下操作步骤S12、获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时间；步骤S14、判断在预设的时间范围内，当前目标状态参数是否发生变化；若否，则执行步骤S16；步骤S16、触发报警。
2. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，还包括若在预设的时间范围内，当前目标状态参数发生了变化，则执行以下操作； 步骤S18、获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时间；步骤S20、判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内，若是，则执行步骤S22 ; 若否，则执行步骤S24;步骤S22、关闭所述监控线程；步骤S24、依据连续两次异常发生时间的差值，縮短所述预设的时间范围，并返回所述 步骤S 14。
3. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，还包括由开启的改正型互锁线程Overrunlnterlock按照预定的时间间隔循环检测所述生产 线设备的目标状态参数，并判断是否在正常范围内，若否，则判定发生异常。
4. 如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括 在所述监控线程开启后，挂起所述改正型互锁线程； 以及，在所述监控线程关闭后，唤醒所述改正型互锁线程。
5. 如权利要求1、2、3或4所述的方法，其特征在于，所述监控线程的开启通过打开预置 的开关变量触发；所述监控线程的关闭通过关闭预置的开关变量触发。
6. 如权利要求3或4所述的方法，其特征在于，还包括 在报警完成后，关闭所述开关变量，并开启改正型互锁线程以清除报警。
7. —种生产线设备的监控系统，其特征在于，包括监控线程开启模块，用于在检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常时，开启 监控线程控制模块，所述监控线程控制模块包括第一异常信息标记模块，用于获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时间；参数变化监测模块，用于判断在预设的时间范围内，当前目标状态参数是否发生变化； 若否，则触发报警模块；报警模块，用于触发报警。
8. 如权利要求7所述的系统，其特征在于，还包括用于在预设的时间范围内，当前目标 状态参数发生了变化时触发的以下模块；第二异常信息标记模块，用于获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时间； 参数校验模块，用于判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内，若是，则触发 监控线程关闭模块；若否，则触发时间范围调整模块； 监控线程关闭模块，用于关闭所述监控线程；时间范围调整模块，用于依据连续两次异常发生时间的差值，縮短所述预设时间范围，并触发所述参数校验模块。
9. 如权利要求7所述的系统，其特征在于，还包括改正型互锁线程操作模块，用于按照预定的时间间隔循环检测所述生产线设备的目标 状态参数，并判断是否在正常范围内，若否，则判定发生异常，触发所述监控线程开启模块。
10. 如权利要求9所述的系统，其特征在于，还包括改正型互锁线程挂起模块，用于在所述监控线程开启后，挂起所述改正型互锁线程； 改正型互锁线程唤醒模块，用于在所述监控线程关闭后，唤醒所述改正型互锁线程。
11. 如权利要求7、8、9或10所述的系统，其特征在于，所述监控线程开启模块通过打开 预置的开关变量触发；所述监控线程关闭模块通过关闭预置的开关变量触发。
12. 如权利要求9或10所述的系统，其特征在于，还包括 报警清除模块，用于在报警完成后，关闭开关变量，以及，开启改正型互锁线程。
全文摘要
本发明公开了一种生产线设备的监控方法及系统，其中所述方法包括当检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常时，开启监控线程执行以下操作获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时间；判断在预设的时间范围内，当前目标状态参数是否发生变化；若否，则触发报警。本发明可以尽可能客观地捕捉生产线设备的实际情况，并节省系统资源。
文档编号G05B19/048GK101694580SQ20091023558
公开日2010年4月14日 申请日期2009年9月29日 优先权日2009年9月29日
发明者马平 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;