专利名称：制造液晶显示装置的方法
技术领域：
本发明涉及一种制造液晶显示装置的方法，特别涉及制造采用塑料衬底的液晶显示装置的方法，以使液晶面板更轻更薄。
已经进行了很多努力如通过减少玻璃衬底的密度或使玻璃衬底的厚度更薄来克服此类问题。当降低玻璃的密度时，主要构成玻璃的二氧化硅(SiO2)基本上决定了玻璃的所有物理特性，进一步降低玻璃密度的技术面临它的极限，因此，难以进一步降低玻璃的密度。另一方面，当使平板厚度变薄时，玻璃衬底的强度急剧下降，使得生产线上的装置被迫进行一定程度的改动，抵抗外力的物理强度变低。因此，可说可把玻璃衬底的厚度制造为0.4至0.5mm，作为它的最小值。
作为一种获得轻型和薄型结构的液晶面板，例举了没有采用有源元件如TFT(薄膜晶体管)来驱动液晶的称之为简单矩阵类型的单色液晶面板。在这种液晶面板中，构成矩阵的材料由称为ITO的透明的电极材料形成，并且在相对较低的温度下形成，因此可能使用塑料衬底或者在其上形成透明电极材料的类似物。实际上，已将具有此类结构的塑料衬底用在便携式信息终端装置和便携式电话中。
作为液晶显示面板的趋势，观测到这样一种现象随着近来便携式终端设备性能的提高，可处理为显示信息的信息量也一直在增加，待显示的图像也已从单色和静止图像分别变为彩色和运动图像。
然而，简单矩阵类型液晶显示装置采用STN(超扭曲向列型)液晶显示模式作为液晶驱动模式，因此简单矩阵类型液晶显示装置具有如下缺点。也就是，与采用TN(扭曲向列型)液晶显示模式和TFT、且用于流行的和广为使用的笔记本类型个人计算机或监视器的有源矩阵类型液晶显示装置相比，简单矩阵类型液晶显示装置未向用户提供足够的待显示的图像的质量，使得灰度显示恶化，或者用户感到有残留的图像。
考虑到上述问题，已经开发并且在诸如日本公开专利申请212116/1999和日本公开专利申请116158/1997中公开了下述技术。也就是，在塑料衬底上形成有源元件如TFT元件。在前一个公开中，在玻璃衬底上形成有源元件，然后将塑料衬底加到玻璃衬底安装元件的一侧的表面上，进而，沿衬底的厚度方向磨光玻璃衬底的未安装元件的一侧的部分，以去除玻璃衬底。在后一个公开中，在塑料衬底上或厚度不大于0.5mm的玻璃衬底上形成有源元件。然而，已发现在采用塑料衬底的装置中仍然要解决许多技术问题，而且此类装置要求昂贵的设备，从而妨碍将该装置付诸实践。
在塑料衬底上具有彩色滤光片和有源元件的液晶显示装置中，在其上形成彩色滤光片的塑料衬底表现出差的耐热和耐溶解力，因此可用作彩色滤光片的色素和溶解力受到限制，从而无法充分地获得彩色的复制性。因此，强烈需要开发具有下述构造和优点的液晶显示装置。也就是，形成一种更轻和更薄的液晶显示装置，进一步形成以与彩色和有源矩阵液晶显示面板工作于TN液晶模式的情况下相同的方式进行工作。
而且，即使在采用塑料衬底来使液晶显示装置更轻和更薄的情况下，除了差的耐热和耐溶解力性能外，塑料衬底具有如下问题塑料衬底容易变形，因此，与处理玻璃衬底的情况相比，难以按照制造液晶面板的步骤来处理塑料衬底。
一种制造根据本发明的液晶显示装置的方法构成如下。该方法包括放置TFT衬底和面对TFT衬底的反面衬底使之相互隔开一预定距离的步骤；和用液体填充TFT衬底和反面衬底间空间的步骤，其中，如此构造液晶显示装置至少TFT衬底和反面衬底其中之一由塑料衬底构成，进而如此构成该方法该方法包括切割和分离由TFT衬底和反面衬底组成的组合衬底的衬底分割步骤，两个衬底将它们之间的液晶放入衬底单元中，由支撑衬底支撑塑料衬底的一个表面，直到切割和分离所述组合衬底。
如上所述，在制造液晶显示装置的方法中，通过将塑料衬底用作为构成液晶面板的两个衬底的一个，与具有与用在液晶面板中的塑料衬底的相同的厚度的玻璃衬底的情况相比，可使液晶面板为轻型的。而且，在制造塑料衬底以具有与玻璃衬底相同的抗碰撞的情况下，与玻璃衬底的厚度相比，可以减少塑料衬底的厚度，从而使液晶面板具有更薄的厚度。
上述方法具有如下的具体步骤。即，该制造TFT衬底的方法包括在第一衬底上形成薄膜晶体管和布线的步骤；在第一衬底上放置覆盖薄膜晶体管和所述布线的保护膜的步骤；
在保护膜上形成对应于薄膜晶体管的彩色层和防止光照射到薄膜晶体管上的黑矩阵的步骤；在保护膜上放置覆盖彩色层和黑矩阵的平坦膜的步骤；打开保护膜和平坦膜的一部分，以在保护膜和平坦膜中形成达到薄膜晶体管的源电极的接触孔的步骤；在平坦膜上形成覆盖接触孔并连接到源电极的透明像素电极的步骤；在平坦膜上形成隔离片的步骤；在平坦膜上形成覆盖透明像素电极和隔离片的取向膜，然后研磨取向膜的步骤；在取向膜上形成密封材料以围住预定区域的步骤；和将液晶滴入由构成取向膜的密封材料围住的区域中，和一种制造反面衬底的方法，包括用透明的电极覆盖第二衬底并且将支撑衬底粘附到所述第二衬底的表面的步骤，所述表面位于所述第二衬底与所述透明电极相反的一侧；和在所述透明电极上形成用于取向膜的材料，且随后研磨所述取向膜的步骤，和制造液晶显示装置的方法进一步包括相互重叠地放置所述TFT衬底和反面衬底，使得所述TFT衬底和所述反向衬底的取向膜相互面对，然后使所述反面衬底的所述取向膜接触所述TFT的隔离片和密封材料的步骤；固化所述密封材料，以使所述TFT衬底与所述反面衬底相互粘附，从而形成半成品的面板的步骤；从所述支撑衬底上取下所述第二衬底的步骤；将所述半成品的面板分割且分成面板单元的步骤；和将极化器附到构成所述面板单元的所述第一和第二衬底中至少所述第一衬底的表面，所述表面位于所述液晶的反面，和在所述第二衬底上形成所述透明电极的所述步骤之前，先将所述支撑衬底附到所述第二衬底的表面，将所述表面置于所述透明电极的反面。
此外，上述方法具有下述另外的结构。即，在前述的将极化器附到构成所述面板单元的所述第一和第二衬底中至少所述第一衬底的表面、并且所述至少第一衬底的所述表面位于所述液晶的反面的步骤中，仅将所述极化器附到所述第一衬底的所述表面上，且所述第二表面由极化器加塑料衬底形成。
如上所述，在所述第一和第二衬底外采用极化器加塑料衬底作为所述第二衬底，使得可能形成比使用玻璃衬底获得厚度更薄的第二衬底，并且形成更加薄的液晶面板。
如
图1所示，通过曝光或类似的方式在TFT上形成彩色滤光片108和黑矩阵，并且经外涂层110在彩色滤光片和黑矩阵上形成像素电极112和柱状隔离片113，从而形成TFT衬底100。通过在塑料衬底201上形成反面电极202来形成面对TFT衬底100的反面衬底200。
与具有与使用塑料衬底201的厚度相等的厚度的玻璃衬底的情况相比，使用塑料衬底201，可使液晶面板更轻。而且，在把塑料衬底201制成与玻璃衬底具有相同的抗碰撞能力的情况下，与玻璃衬底的厚度相比，可以减少塑料衬底的厚度，从而使液晶面板具有更薄的厚度。
在TFT衬底100的玻璃衬底101上形成非晶硅(a-Si)层104。在a-Si层104上形成彩色滤光片108和黑矩阵109，且进一步形成外涂层110，以覆盖彩色滤光片和黑矩阵。进而，在外涂层110形成的接触孔111中形成透明金属构成的像素电极112。放置具有上述膜的TFT衬底100隔着柱状隔离片面对反面衬底200，同时与反面衬底隔开几微米的距离，且将液晶115插入TFT衬底100和反面衬底200之间。
在如上所述构成的液晶面板中，塑料衬底201由聚碳酸酯、聚醚砜、多芳基化合物或类似物组成。由于塑料衬底201的重量比相同厚度的玻璃衬底更小，可使液晶显示装置更轻。而且，在把塑料衬底制造与玻璃衬底具有相同的抗碰撞能力的情况下，与玻璃衬底相比，可以减少塑料衬底的厚度，从而使液晶面板厚度更薄。
通过如图2所示的制造步骤，将采用此实施例的塑料衬底201的反面衬底装入面板。参考图1，介绍一种实例方法制造具有所料衬底作为反面衬底的液晶面板。
首先，在TFT衬底100中，在玻璃衬底101上依次形成栅电极102、栅绝缘膜103、a-Si层104、数据线105和源电极106、钝化膜107、彩色滤光片108、黑矩阵109、外涂层110、接触孔111和由透明金属组成的像素电极112。
在TFT衬底100中，在形成像素电极112前，利用旋涂方法或印刷方法来涂敷由光敏丙烯酸树脂组成的彩色抗蚀剂，以形成均匀膜厚的彩色抗蚀剂，之后，相对于各自的颜色进行曝光、显影和烘焙，从而随后在给定位置形成彩色滤光片108。
接着，使用类似于彩色抗蚀方法的涂敷方法在预定区域上涂敷由光敏丙烯酸树脂组成的黑色抗蚀剂，并且进行刻蚀以形成黑矩阵109。
接着，使用类似于彩色抗蚀剂的方法的涂敷方法在预定区域上涂敷由光敏丙烯酸树脂组成的作为外涂层的透明抗蚀剂(有机层间绝缘膜)110，并且通过在外涂层110的开口部分和在源电极106上的钝化膜107形成接触孔111。然后，形成由透明金属组成的像素电极112，来覆盖接触孔111，以使像素电极112和源电极106相互连接。
进而，在外涂层110上涂敷具有基本上等于形成面板所需间隙的膜厚度的光敏丙烯酸树脂，且暂时用60～120℃的温度进行烘焙，使用掩模进行曝光，以在树脂中形成预定的图形。之后，使已曝光的树显影，然后以200～250℃的温度进行烘焙，以形成具有预定外形的柱状隔离片113。
下面介绍制造反面衬底200的方法。
首先，通过粘结、负压吸附(用于产生负压以吸附塑料衬底的方法)或类似方法来将具有0.1-0.7mm的膜厚的塑料衬底201固定到具有0.4-1.1mm(未示出)的平板厚度的玻璃衬底上。玻璃衬底的厚度是可随意选择的，使得玻璃和塑料衬底的总计厚度在将塑料衬底附到玻璃衬底后不需要对制造步骤的特别修改。而且，当玻璃衬底和塑料衬底相互粘合时，将可重剥压敏粘合剂(便于剥离的压力敏感粘合剂)如从诸如基于天然橡胶的粘合剂、丙烯酸粘合剂、基于合成橡胶粘合剂、基于硅橡胶粘合剂的材料组中选出的玻璃纸带(赛珞玢带)或密封物(seal)加到玻璃衬底通过旋涂、印刷方法或类似方法涂敷粘合剂一侧的表面上，之后，将塑料衬底201粘合到玻璃衬底。注意，可将硅树脂或类似物加到塑料衬底的涂敷了粘合剂的表面上，以便于在随后的步骤中进行剥离。此外，玻璃衬底和塑料衬底不要求具有相同的面积，塑料衬底201可以比玻璃衬底稍微大一些，以便于在随后的步骤中进行剥离。
通过进行真空溅射或者将包含有ITO颗粒或类似物的透明抗蚀剂加到塑料衬底201上，以在塑料衬底201上形成由透明金属构成的公共电极212。在此情况下，不论膜的状态也就是在形成膜期间和之后，以不高于塑料衬底201的耐热温度的温度进行将已淀积或涂敷的膜从非晶态变为晶态的热处理。
接着，介绍在制造面板步骤中的用于TFT衬底100和反面衬底200组装的方法。
首先，通过印刷、涂敷或类似手段将用于取向膜的由聚酰亚胺或类似物组成的材料均匀地加到预定区域上，以获得预定膜厚，然后烘焙作为TFT衬底100的表面的预定区域，和反面衬底200的液晶所在的一侧，具体地说，在分别地放置像素电极112和公共电极212的一侧。在此情况下，以不高于至少相对于塑料衬底201的塑料的耐热温度的温度进行烘焙。
接着，为使液晶沿恒定方向排列，用布或类似物打磨在各自的衬底的表面上形成的用于取向膜的材料，以形成取向膜114(打磨处理)。
之后，通过分配方法(dispenser method)将紫外线固化类型的密封材料加到(draw on)TFT衬底上，通过利用滴落(dropping)技术注入液晶来将液晶115填充在由密封物包围的区域中。尽管在该例子中，在此实施例中介绍了在TFT衬底100上形成密封物，将液晶115填充在由密封物包围的区域中，该方法并不受限于此例子，可以在反面衬底200上形成密封物，可以将液晶115填充在由密封物限定的区域中。
然后，将反面衬底200与TFT衬底100重叠放置，在其中，填充了液晶115，并将紫外线从反面衬底200一侧照射到密封部分，以固化密封物。
之后，按照下面的方式将粘连到塑料衬底201上的玻璃衬底从塑料衬底201移去。即，在由粘合剂将玻璃衬底固定到塑料衬底201的情况下，按照将玻璃衬底的端部和塑料衬底的端部沿相互相反的方向分离的方式将玻璃衬底从塑料衬底201中移去，在所述方式中，它的操作与在剥离玻璃纸带和密封物中看到的操作相似。另一方面，在由负压吸附将玻璃衬底固定到塑料衬底201上的情况下，通过按照非破坏性的方式将负压破坏为空气压力来将玻璃衬底和塑料衬底201相互分离开。之后，将由TFT衬底100和反面衬底200相互粘合而构成的衬底分割成特定大小的衬底，并且把用于TFT衬底的极化器116和用于反面衬底的极化器216分别粘连到衬底的两个相对表面上，从而完成了液晶面板的形成。注意，在清洁玻璃衬底的表面后，可以重新利用按照非破坏性的方式从塑料衬底中取下的玻璃衬底。在此情况下，使用酒精或石油基有机溶剂去除粘连到玻璃衬底的粘合剂或类似物。
如上所述，根据用于完成由塑料衬底201组成的反面衬底200的制造步骤，在从在塑料衬底201上形成公共电极的步骤到将反面衬底200分割并分成液晶面板单元的步骤前的步骤中，将玻璃衬底粘连到塑料衬底，作为塑料衬底的支撑衬底。因此，可以防止塑料衬底的挠度对制造液晶面板的负面影响，从而允许以与处理玻璃衬底的相同方法来处理塑料衬底。
现在，参考附图3和4介绍本发明的第二实施例。
在第一实施例中，尽管在将衬底切割并分成液晶面板后将极化器粘合到塑料衬底，第二实施例介绍一种制造液晶面板的方法，其中将极化功能先给予塑料衬底中。
根据图4所示的步骤流程，将在图3中所示的本实施例的反面衬底300组装入到面板中，所述反面衬底300使用具有极化功能的塑料衬底301(下面称之为极化加塑料衬底301)。下面详细地介绍示例方法。注意，制造CF-on-TFF衬底100的方法与第一实施例的方法相同，因此，省略了其中的说明。
首先，通过粘结、负压吸附(用于产生负压以吸附塑料衬底的方法)或类似方法来将具有膜厚度为0.1-0.7mm的极化器加塑料衬底301固定到具有平板厚度为0.4-1.1mm(未示出)的玻璃衬底上。玻璃衬底的厚度是可随意选择的，使得在将极化器加塑料衬底附到玻璃衬底后的玻璃和塑料衬底的总计厚度不需要对制造步骤的特定修改。而且，当玻璃衬底和极化器加塑料衬底相互粘合时，将可重剥压敏粘合剂(便于剥离的压力敏感粘合剂)如从诸如基于天然橡胶的粘合剂、丙烯酸粘合剂、基于合成橡胶粘合剂、基于硅橡胶粘合剂的材料组中选出的玻璃纸带或密封物(seal)加到玻璃衬底，通过旋涂、印刷方法或类似方法放置粘合剂一侧的表面上，之后，将极化器加塑料衬底301粘合到玻璃衬底。注意，可将硅树脂或类似物加到应放置粘合剂的极化器加塑料衬底301的表面上，以便于在随后的步骤中进行剥离。此外，玻璃衬底和极化器加塑料衬底不要求具有相同的面积，极化器加塑料衬底301可以比玻璃衬底稍微大一些，以便于在随后的步骤中进行剥离。
接着，通过进行真空溅射或者将包含有ITO颗粒或类似物的透明抗蚀剂加到极化器加塑料衬底301上，以在极化器加塑料衬底301上形成由透明金属组成的公共电极312。在此情况下，不论膜的状态如何、也就是在形成膜期间和之后，以不高于极化器加塑料衬底301的耐热温度的温度进行将已淀积或施加的膜从非晶态变为晶态的热处理。
接着，介绍在制造面板步骤中的将TFT衬底100与反面衬底300组装的方法。
首先，通过印刷、涂敷或类似手段将用于取向膜的由聚酰亚胺或类似物组成的材料均匀地加到预定区域上，以获得预定膜厚，然后烘焙作为TFT衬底100的表面的预定区域，并且反面衬底300放置液晶115的一侧，具体地说，在分别地放置像素电极112和公共电极312的一侧。在此情况下，以不高于至少相对于极化器加塑料衬底301的塑料的耐热温度的温度进行烘焙。
接着，为使液晶115沿恒定方向排列，用布或类似物打磨在各自的衬底的表面上形成的用于取向膜的材料，以形成取向膜114(打磨处理)。
之后，通过分配方法(dispenser method)将紫外线固化类型的密封材料加到(draw on)TFT衬底上，通过利用滴落(dropping)技术注入液晶来将液晶115填充在由密封物包围的区域中。尽管在该例子中，在此实施例中介绍了在TFT衬底100上形成密封物，将液晶115填充在由密封物包围的区域中，该方法并不受限于此例子，可以在反面衬底300上形成密封物，可以将液晶115填充在由密封物包围的区域中。
然后，将反面衬底300与TFT衬底100重叠放置，在其中，填充了液晶115，并将紫外线从反面衬底300一侧照射到密封部分，以固化密封物。
之后，按照下面的方式将粘连到极化器加塑料衬底301上的玻璃衬底从极化器加塑料衬底301移去。即，在由粘合剂将玻璃衬底固定到极化器加塑料衬底301的情况下，按照将玻璃衬底的端部和塑料衬底的端部沿相互相反的方向分离的方式将玻璃衬底从极化器加塑料衬底301中移去，在所述方式中，它的操作与在剥离玻璃纸带和密封物中看到的操作相似。另一方面，在由负压吸附将玻璃衬底固定到极化器加塑料衬底301上的情况下，通过按照非破坏性的方式将负压破坏为空气压力来将玻璃衬底和塑料衬底301相互分离开。之后，将由TFT衬底100和反面衬底300相互粘合而构成的衬底分割成特定大小的衬底，并且把用于TFT衬底的极化器116和用于反面衬底的极化器216分别粘连到衬底的两个相对表面，从而完成了液晶面板的形成。注意，在清洁玻璃衬底的表面后，可以重新利用按照非破坏性的方式从极化器加塑料衬底中取下的玻璃衬底。在此情况下，使用酒精或石油基有机溶剂去除粘连到玻璃衬底的粘合剂或类似物。
同样，在此实施例中，可以防止玻璃衬底的挠度对制造液晶面板的负面影响，从而允许以与处理极化器加玻璃衬底的相同方法来处极化器加理塑料衬底。
正如至此所述，根据制造本发明的液晶显示装置的方法，在有源矩阵衬底中的玻璃衬底上形成TFT和彩色滤光片，在采用极化器加塑料衬底作为衬底的反面衬底中的极化器加塑料衬地上形成公共电极。在此情况下，根据用于使用极化器加塑料衬底作为液晶面板的反面衬地来完成反面电极的形成的制造步骤，在从在极化器加塑料衬底上形成公共电极的步骤到在将反面衬底200切割并分成液晶面板单元的步骤前的步骤中，将玻璃衬底粘连到极化器加塑料衬底，作为极化器加塑料衬底的支撑衬底。因此，可以防止极化器加塑料衬底的挠度对制造液晶面板的负面影响，从而允许以与处理玻璃衬底的相同方法来处理极化器加塑料衬底。
权利要求
1.一种制造液晶显示装置的方法，包括如下步骤放置TFT衬底和面对TFT衬底的反面衬底，使之相互隔开一预定距离；和用液体填充所述TFT衬底和所述反面衬底间空间；如此构造所述液晶显示装置至少所述TFT衬底和所述反面衬底其中之一由塑料衬底构成，进而如此构成该方法该方法包括切割和分离由所述TFT衬底和所述反面衬底组成的组合衬底的衬底分割步骤，两个衬底将它们之间的液晶放入衬底单元中，由支撑衬底支撑所述塑料衬底的一个表面，直到切割和分离所述组合衬底。
2.根据权利要求1所述的制造液晶显示装置的方法，其中制造所述TFT衬底的方法包括在第一衬底上形成薄膜晶体管和布线的步骤；在第一衬底上放置覆盖所述薄膜晶体管和所述布线的保护膜的步骤；在所述保护膜上形成对应于所述薄膜晶体管的彩色层和防止光照射到所述薄膜晶体管上的黑矩阵的步骤；在所述保护膜上放置覆盖所述彩色层和所述黑矩阵的平坦膜的步骤；打开所述保护膜和所述平坦膜的一部分，以在所述保护膜和所述平坦膜中形成达到所述薄膜晶体管的源电极的接触孔的步骤；在所述平坦膜上形成覆盖所述接触孔并连接到所述源电极的透明像素电极的步骤；在所述平坦膜上形成隔离片的步骤；在所述平坦膜上形成覆盖所述透明像素电极和所述隔离片的取向膜，然后研磨所述取向膜的步骤；在取向膜上形成密封材料以围住预定区域的步骤；和将液晶滴入由构成取向膜的密封材料围住的区域中，和一种制造反面衬底的方法，包括用透明的电极覆盖第二衬底并且将支撑衬底粘附到所述第二衬底的表面的步骤，所述表面位于所述第二衬底与所述透明电极相反的一侧；和在所述透明电极上形成用于取向膜的材料，且随后研磨所述取向膜的步骤，和制造液晶显示装置的方法进一步包括相互重叠地放置所述TFT衬底和反面衬底，使得所述TFT衬底和所述反向衬底的取向膜相互面对，然后使所述反面衬底的所述取向膜接触所述TFT的隔离片和密封材料的步骤；固化所述密封材料，以使所述TFT衬底与所述反面衬底相互粘附，从而形成半成品的面板的步骤；从所述支撑衬底上取下所述第二衬底的步骤；将所述半成品的面板分割且分成面板单元的步骤；和将极化器附到构成所述面板单元的所述第一和第二衬底中至少所述第一衬底的表面上，所述表面位于所述液晶的反面，和在所述第二衬底上形成所述透明电极的所述步骤之前，先将所述支撑衬底附到所述第二衬底的表面，将所述表面置于所述透明电极的反面。
3.根据权利要求1所述的制造液晶显示装置的方法，其中所述第二衬底由塑料衬底形成。
4.根据权利要求2所述的制造液晶显示装置的方法，其中将另一个极化器附到所述第二衬底的表面，所述第二衬底的所述表面位于与所述液晶相反的面，在将极化器附到在构成所述面板单元的所述第一和第二衬底外的至少所述第一衬底的表面的步骤中，至少所述第一衬底的所述表面位于与所述液晶相反的面。
5.根据权利要求2所述的制造液晶显示装置的方法，其中，在所述的在将极化器附到构成所述面板单元的所述第一和第二衬底中至少所述第一衬底的表面上、其中所述至少第一衬底的所述表面位于所述液晶的反面的步骤中，仅将所述极化器附到所述第一衬底的所述表面上，并且所述第二表面由极化器加塑料衬底形成。
6.根据权利要求2所述的制造液晶显示装置的方法，其中所述支撑衬底由玻璃衬底形成。
全文摘要
本发明涉及一种制造液晶显示装置的方法,该方法采用塑料衬底作为反面衬底,该反面衬底构成液晶面板的两个衬底中之一。为了形成这种液晶面板,在这样一种情况下制造由塑料衬底构成的反面衬底:在从在塑料衬底上形成公共电极的步骤到将反面衬底切割并分成液晶面板单元的步骤前的步骤中,将玻璃衬底粘连到塑料衬底,作为塑料衬底的支撑衬底。因此,能够以与处理玻璃衬底的相同方法来处理塑料衬底。
文档编号G06K19/00GK1389757SQ0212228
公开日2003年1月8日 申请日期2002年6月4日 优先权日2001年6月4日
发明者山本勇司 申请人:日本电气株式会社