用于半导体制造设备的服务活动管理系统和方法

专利名称：用于半导体制造设备的服务活动管理系统和方法
技术领域：
本发明涉及活动管理系统及其使用方法，更具体而言，涉及被配置为管理与半导体制造系统有关的服务活动的活动管理系统。
背景技术：
维护半导体制造工厂是耗时且昂贵的过程，其涉及设备制造商和制造工厂之间的协作。半导体设备制造商和半导体制造工厂之间的低效互动可能导致工厂的停机，这增加了总的操作成本，以及检修时间和硬件更换的过度消耗。
在电子产业中，设备制造商采用多个分离的、独立的服务模型，这些服务模型被配置为从事范围从制造系统维护到制造系统故障排查、硬件更换和核准、以及零件更换和核准等的活动。更具体而言，涉及诸如特定部件的修理和更换之类的服务的服务模型并不与涉及诸如排定和评估之类的一般管理任务的服务模型相集成。因此，这些服务模型表现为彼此之间缺乏数据沟通，明显的重叠导致冗余，以及建立被设计用来促进设备服务的结构内的虚拟界限。本发明人认识到使用独立的服务模型导致服务成本增加和操作效率降低。

发明内容
因此，本发明的一个方面是减轻或消除上述问题中的任何一个或全部。
本发明的另一目的是减少在维护半导体制造工厂时的服务成本并使操作效率最大。
本发明的另一目的是提供一种用于整合半导体制造工厂的管理活动的系统。
本发明的这些和其他的目的由一种用于管理与半导体制造有关的服务的活动管理系统提供。该系统包括被配置为接收与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一个有关的服务活动数据的数据采集系统。数据存储系统耦合到数据采集系统，并被配置为存储服务活动数据，并且服务动作系统耦合到数据采集系统和数据存储系统。服务动作系统被配置为利用服务活动数据提供服务动作数据，以便执行多种服务功能中的至少两种，这多种服务功能包括提供服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载、提供服务教学以及提供服务协作。
根据本发明的另一方面，提供了一种使用活动管理系统来辅助执行与半导体制造有关的服务动作的方法。该方法包括提供被配置为与服务操作者互动并且采集来自服务操作者的服务活动数据的数据采集系统，其中服务活动数据与服务操作者、服务部件和服务账目中的至少一个相关联。提供耦合到数据采集系统并且被配置为存储服务活动数据的数据存储系统；提供耦合到数据采集系统和数据存储系统的服务动作系统，其被配置为与服务操作者互动并利用存储在数据存储系统中的服务活动数据向服务操作者提供服务动作数据。服务动作数据被用于执行服务功能，该服务功能包括提供服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载、提供服务教学以及提供服务协作中的至少一种。
本发明的另一方面是一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统。该系统包括被配置为采集与半导体制造服务有关的服务活动数据的数据采集系统；耦合到数据采集系统并被配置为存储服务活动数据的数据存储系统；以及耦合到数据采集系统和数据存储系统的服务动作系统。服务动作系统被配置为执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能以便辅助服务操作者执行服务动作。
本发明的另一方面是一种使用计算机系统来管理与半导体制造有关的服务活动的方法。该方法包括使用计算机系统来采集与半导体制造服务有关的服务活动数据；使用计算机系统来存储服务活动数据；以及使用计算机系统来执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能。基于服务部件或非服务部件服务功能的结果执行服务动作。
在本发明的另一方面中，提供了一种包含用于在处理器上执行的程序指令的计算机可读介质，该程序指令当被处理器执行时，使得计算机系统执行本发明的方法中的步骤。
本发明的另一方面包括一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统。该系统包括用于采集与半导体制造服务有关的服务活动数据的装置；耦合到用于采集的装置的用于存储服务活动数据的装置；以及耦合到用于采集的装置和用于存储的装置的用于执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能以便辅助服务操作者执行服务动作的装置。


在附图中图1表示根据本发明实施例的活动管理系统的示意图；图2A图示了用于使服务操作者获得对图1的活动管理系统的访问的第一示例性操作者界面；图2B图示了用于使服务操作者获得对图1的活动管理系统的访问的第二示例性操作者界面；图2C图示了用于访问图1的活动管理系统的操作者界面的示例性示意图；图3A图示了用于访问服务功能的示例性操作者界面；图3B图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3C图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3D图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3E图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；
图3F图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3G图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3H图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3I图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3J图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3K图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图4A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图4B图示了用于执行图4A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图4C图示了用于执行图4A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图5A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图5B图示了用于执行图5A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图5C图示了用于执行图5A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图6图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图7A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图7B图示了用于执行图7A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图8A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图8B图示了用于执行图8A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；
图8C图示了用于执行图8A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图8D图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图8E图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图8F图示了用于执行图8E中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图9图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图10A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图10B图示了用于执行图10A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图10C图示了用于执行图10A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图11A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图11B图示了用于执行图11A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图12A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图12B图示了用于执行图12A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图13A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图13B图示了用于执行图13A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图14A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图14B图示了用于执行图14A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图15A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图15B图示了用于执行图15A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图15C图示了用于执行图15A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；
图15D图示了用于执行图15A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图16A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图16B图示了用于执行图16A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图17A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图17B图示了用于执行图17A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图18A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图18B图示了用于执行图18A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图18C图示了用于执行图18A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图18D图示了用于执行图18A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图18E图示了用于执行图18A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图18F图示了用于执行图18A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；以及图19图示了可在其上实现本发明实施例的计算机系统。
具体实施例方式
现参考附图，在多个图中，相似的标号指代等同或相应的部分。图1表示用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统1。活动管理系统1包括数据采集系统10、数据存储系统20、服务动作系统30和操作者界面40。数据采集系统10被配置为接收与服务绩效(performance)和管理有关的服务活动数据，并且服务活动数据被存储在数据存储系统20中。服务动作系统30使用服务活动数据来执行服务功能。服务功能是由活动管理系统1执行的用来辅助服务操作者执行服务动作的软件功能。服务动作可以是设备修理、与维护排定有关的决定、服务操作者的评价或者与半导体制造中的服务有关的任何其他动作。在一个实施例中，服务动作系统30执行服务功能以提供在执行特定服务动作中使用的服务动作数据。例如，服务动作系统30可以分析数据存储系统20中的服务活动数据，以提供用于对半导体处理设备执行维护方案的按步指令形式的服务动作数据。由活动管理系统1执行的特定服务功能将在下面详细描述。
由数据采集系统10采集的服务活动数据可以通过来自服务操作者的手工输入采集，或者可通过例如来自制造设备传感器的自动输入采集。服务活动数据优选地存储在与服务操作者、服务账目(service account)和服务部件中的至少一个相关联的数据存储系统20中。服务操作者例如可以包括服务监管者(或管理者)、服务设计者、服务分析者、服务工程师(例如现场工程师)或涉及与半导体制造有关的服务活动的任何其他人。与服务操作者相对应的服务活动数据例如可以包括服务操作者的名称、服务操作者的头衔、服务操作者执行他/她的主要任务的地点(例如制造工厂、客户地等)、监管者名称、电话号码、地址、电子邮件地址、参考文件、照片文件等。
服务账目例如可包括服务合同、服务保证(warranty)和制造系统(MS)部门中的至少一个。服务账目可以是执行诸如在半导体制造工厂和设备制造商之间协商的保证之类的服务的任何义务。与服务账目相对应的服务活动数据可例如包括协议号、服务协议标题(例如，一年24×7零件和人力(Parts & Labor)保证)、涵盖小时(24×7)、项目涵盖标识(例如，非消耗品、修理人力、启动人力)、不涵盖项目标识(例如，消耗品、客户损坏)、列表价格(例如，列表价格可以基于活动管理系统中现有的服务活动数据)、惩罚(例如，对于低于93％可用率的月份增加一月)、服务操作者对制造工厂的贡献、保证或合同的开始日期、保证或合同的结束日期、保证或合同的发货单日期、保证或合同的支付日期等。服务协议可指定给服务部件以及制造工厂(即客户)。
服务部件可例如包括制造系统(MS)平台、制造系统(MS)工具或制造系统(MS)零件。例如，MS平台可包括群集(cluster)工具配置，例如Unity II、Unity IIe、Unity M或Unity ME，或者串列(serial)工具配置，如Telius平台，以用于执行半导体制造工艺，这些工具可从TokyoElectron Limited(TBS Broadcast Center，3-6 Akasaka 5-chome，Minato-ku，Tokyo 107-8481)通过商业途径获得。另外，例如，MS平台可包括可从Tokyo Electron Limited通过商业途径获得的ACT 8、ACT 12或LithiusTrack系统。另外，例如，MS平台可包括可从Tokyo Electron Limited通过商业途径获得的Alpha系列或TELFormula批处理热处理系统。另外，例如，MS平台可包括可从Tokyo Electron Limited通过商业途径获得的Trias沉积系统。MS工具可例如包括DRM、A-DRM、DRM II、SCCM-DT、SCCM-Ox或SCCM-Poly刻蚀系统、或SPA沉积系统。更具体而言，MS工具可例如包括刻蚀系统；诸如热沉积系统、化学气相沉积(CVD)系统、原子层沉积(ALD)系统、物理气相沉积(PVD)系统或离子化PVD(I-PVD)系统之类的沉积系统；光刻胶旋涂系统；电介质旋涂(spin-ondielectric)系统；诸如浸液系统或超临界流体清洗系统之类的清洗系统；诸如批处理氧化、扩散、低压CVD退火或热固化系统之类的热处理系统；快速热处理(RTP)系统、光刻系统；离子注入系统；平坦化系统；电镀系统；设备探测系统；度量系统等。MS零件可例如包括MS工具中的非消耗零件或消耗零件。
与服务部件相对应的服务活动数据可例如包括MS平台的类型、MS平台的型号、MS平台的序列号、MS工具的类型、与特定MS工具相关联的工艺、MS工具的型号、MS工具的序列号、与特定MS工具相关联的MS零件、MS零件的类型、MS零件的型号、MS零件的序列号、备用零件的存有情况标识、消耗零件的标识和MS零件成本。
服务活动数据还可包括更为一般的信息，如服务数据、服务时间、服务类型、服务描述、服务位置和服务原因。而且，例如，服务活动数据可包括核准状态数据、拒绝状态数据、运输状态数据、接收状态数据、请求状态数据等。
如上所述，在图1中，活动管理系统1还可包括耦合到数据采集系统10和数据动作系统30的操作者界面40。利用操作者界面40，通过数据采集系统10，服务活动数据可被跟踪并存储在数据存储系统20中。另外，服务动作数据可通过操作者界面40被提供给服务操作者。界面可以是文本形式的或图形形式的，并且可以是多语言形式的。例如，操作者界面可包括图形用户界面(GUI)。GUI使得活动管理系统1能够执行期望的服务活动数据的获取、监视、建模和服务功能动作。图2A图示了具有登录(logon)屏幕的示例性GUI，登录屏幕具有用户标识和口令字段。一但服务操作者进入活动管理系统1，他们就可以被呈现以另一GUI屏幕，该屏幕呈现出用于执行服务功能的一个或多个选项，如图2B所示。本领域技术人员将认识到，GUI屏幕可包括从左到右的选择切换(tab)结构和/或从右到左的结构、从下到上的结构、从上到下的结构、或组合结构。本领域技术人员将认识到，GUI屏幕可包括选择切换结构和/或导航树结构。另外，作为界面的一部分，可以提供键盘、鼠标、触摸屏或其任何组合。
活动管理系统1可包括基于web的软件应用以用在可进行因特网访问的场合，或者其可包括可下载的客户端软件应用以用在不可进行因特网访问的场合。例如，后者的情形可适用于半导体制造工厂中。
活动管理系统1可提供访问控制。例如，活动管理系统1只对服务提供者是可访问的。另外，例如，读写访问规则可按用户和用户角色配置。另外，例如，活动管理系统可采用数据加密。另外，活动管理系统可限制只向获得核准的人公开某些文档。另外，活动管理系统1可跟踪用户访问各种文档。活动管理系统1可通过例如跟踪对指令、文档、规程、测试、关键分数指标(key point indicator)(KPI)等的修正来提供修正控制。
如图2C所示，提供了示例性的图形用户界面(GUI)，以着重显示由活动管理系统提供的一种或多种服务功能。GUI提供了用于执行服务功能的若干选项。例如，若干服务功能具体涉及服务部件或机器；这种服务部件服务功能包括执行服务部件启动，即“Start Up Machine”键；执行服务部件清洗，即“Clean Machine”键；执行服务部件预防性维护，即“PMMachine”键；执行服务部件修正，即“Revise Machine(FCN)”键；执行服务部件增强，即“Enhance Machine”键；执行服务部件修理，即“Repair Machine”键；执行服务部件卸载，即“De-Install Machine”键；以及执行服务部件教学，即“Learn Machine”键。
从图2C中可见，服务功能可以不具体涉及服务部件；这种非服务部件服务功能包括执行项目动作计划，即“Project Action Plans”键；以及执行客户动作计划，即“Customer Action Plans”键。另外，如图2C所示，GUI提供了非服务部件服务功能，其允许服务操作者访问以利用“Machine Operations，Tests，& Corrective Actions”键集成新的测试或校正动作，并修改当前的测试或校正动作。另外，如图2C所示，GUI向服务操作者提供了利用“Machine-Related Files(documentation)”键输入与MS平台、MS工具、MS零件或MS服务协议有关的新文档的能力。
另外，如图2C所示，GUI提供了非服务部件服务功能，其允许服务操作者例如利用“Escalation Hotboards”键检查、输入或修改上报(escalation)热点板(hot-board)；例如利用“KPI Dashboard”键检查、输入或修改关键绩效指标(key performance indicator，KPI)仪表板(dashboard)；例如利用“Reports”键检查、输入或修改报告；例如利用“Procedures”键检查、输入或修改规程；例如利用“Job Description”键检查、输入或修改工作描述；例如利用“Help Desk Action Plans”键检查、输入或修改桌面帮助动作计划；例如利用“Employee Action Plans”键检查、输入或修改雇员动作计划；例如利用“Files(documentation)”键检查、输入或修改文件(文档)；例如利用“Collaboration”键检查、进入或修改协作；例如利用“Service Agreements(warranty & contract)”键检查、输入或修改MS服务协议；例如利用“Machines”键检查、输入或修改MS平台和MS工具；以及例如利用“Part types”键检查、输入或修改MS零件。
根据一个实施例，活动管理系统1执行上述服务功能以提供辅助服务人员执行服务动作的服务动作数据。例如，服务动作数据可包括用于服务部件修理的互动案例研究。服务动作系统30可识别当前的服务活动数据基本与过去的服务活动数据相匹配的一个或多个案例，并利用这种相关来辅助服务操作者进行服务部件修理。如果必要的话，服务动作系统30可识别一个或多个测试用于执行，以缩窄匹配案例的数目。另外，可使得特定于MS平台和MS工具的测试规程对于服务操作者来说可访问。测试规程可存储在数据存储系统20中。随着测试的执行并且数据采集系统10获取结果，匹配案例的数目减少。例如，活动管理系统1可辅助识别MS零件以在MS工具中进行更换，以便校正问题。一旦识别了该MS零件，就可以使得特定于MS平台和MS工具的规程对于服务操作者来说可访问。更换规程可存储在数据存储系统20中。
图3到图18示出了在执行各种服务功能时由活动管理系统提供用来与系统用户进行交互的图形用户界面屏幕的示例。
图3A图示了根据本发明一个实施例的用于利用活动管理系统执行服务部件修理的示例性操作者界面。在该示例中，服务操作者已经从MS平台中的MS工具接收到故障，并且已经决定利用活动管理系统来确定故障的校正动作。故障可例如包括阻抗匹配网络上的高反射功率，所述阻抗匹配网络用于将射频(RF)发生器的输出电阻抗与等离子体处理系统(例如刻蚀系统)的输入电阻抗相匹配。从图3A中可见，服务操作者运行活动管理系统，并通过选择“Repair Machine”键激活服务部件修理功能。
在激活后，活动管理系统1的操作者界面40使得服务操作者能够识别服务活动数据，包括MS平台(例如通过机器序列号)、MS工具(例如通过处理室序列号)和与服务账目(或购买帐目)有关系的工艺类型；见图3B。其后，服务动作系统30可提供所识别的MS平台和MS工具的修理历史列表；见图3C。例如，如图3C所示，服务动作系统30从数据存储系统20获取服务活动数据，并将该历史数据呈现给服务操作者。服务活动数据可包括服务日期、服务类型、服务描述和服务原因。例如，服务类型指示该服务是包括测试还是包括校正动作。
此外，数据采集系统10使得服务操作者能够识别故障，或失败的测试；见图3D。如果测试失败(或故障)是已知的故障，则其可被显示在操作者界面的左侧。如果测试失败不是已知故障，则界面使得服务操作者能够输入测试失败。
现参考图3E，服务操作者输入从MS平台和MS工具报告的测试失败的结果。该服务活动数据被存储在数据存储系统20中。另外如图3E所示，数据动作系统30提供了某些测试计划数据，例如包括失败下限、警告下限、目标结果、警告上限、失败上限、用于比较目标结果和实际结果的数学运算符、测量单位、结果是否基于意见。
现参考图3F，数据动作系统30搜索数据存储系统20，以寻找与当前测试失败或故障相匹配的其他服务活动(或案例)。例如，数据动作系统30可以呈现针对当前服务活动(或案例)执行的测试和校正动作。另外，例如，数据动作系统30可以呈现针对当前服务活动(或案例)计划的测试和校正动作。另外，例如，数据动作系统30可以呈现与当前服务活动(或案例)相关联的MS零件。另外，数据动作系统30可以呈现对匹配案例完成的测试，以及对匹配案例完成的校正动作。如图3F所示，三十(30)个过去案例与当前案例匹配。在完成的测试和校正动作列表中，服务操作者可以编辑结果，将另一完成的测试或校正动作添加到列表末尾，将另一测试或校正动作添加到计划的测试或校正动作的列表，检查对于特定的MS平台、MS工具、MS零件或MS服务协议的测试规程，检查对于特定测试的测试规范，或者检查对于特定校正动作的规程。在计划的测试和校正动作列表中，服务操作者可以将测试或校正动作添加到完成列表，删除测试或校正动作，将测试或校正动作在列表中上移或下移，检查对于特定MS平台、MS工具、MS零件或MS服务协议的测试规程，检查对于特定测试的测试规范，或者检查对于特定校正动作的规程。
例如，数据动作系统30可提供如上所述的互动案例研究，其中对匹配案例完成的测试和对匹配案例完成的校正动作被逐条列举。对于那些对匹配案例完成的测试，数据动作系统30可通过指示测试被执行并通过的条件下留下来的案例数目，以及测试被执行并失败的条件下留下来的案例数目，来对测试排序(或划分优先级)。例如，当测试用于C4F8处理气体的质量流控制器时，测试通过的条件下剩余的案例数目是二十一(21)，而测试失败的条件下剩余的案例数目是七(7)。此外，对于那些对匹配案例完成的校正动作，数据动作系统30可通过指示在执行校正动作时将会被校正的案例数目(或案例百分比(％))以及在执行校正动作时将不会被校正的案例数目，来对校正动作排序(或划分优先级)。例如，当要更换用于C4F8处理气体的质量流控制器时，被校正的案例数目是四(4)，未被校正的案例数目是零(0)。
利用由数据动作系统30呈现的动作数据(见图3F)，服务操作者例如可以决定执行测试。例如，服务操作者可执行一个或多个测试，并检查“Matcher Mode Setting”、“PC Pressure Control”和“C4F8 Flow”。当服务操作者已决定执行一个或多个测试，并且进行到执行这些测试时，服务操作者可获得用于执行特定于MS零件、特定于MS工具和特定于MS的测试的测试规程。在该示例中，该测试的结果分别包括通过、通过和失败，如图3G所示。在执行这些测试时，匹配案例的数目从三十(30)减少到二十一(21)、到十五(15)，到四(4)。另外，对匹配案例的校正动作减少到更换C4F8质量流控制器(MFC)的单个动作。因此，服务操作者可通过请求相应MS零件，即C4F8质量流控制器，来决定执行校正动作；见图3H。与MS零件的顺序相关联的服务活动数据可存储在数据存储系统20中。服务活动数据可例如包括MS零件号、数量、MS平台和其状态、MS工具和其状态、运输信息、请求信息、核准信息、服务账目以及更换原因。
现参考图3I，数据动作系统30可指示与当前案例相关联的MS零件。例如，可呈现MS零件源、MS零件、MS零件号(P/N)、MS零件序列号(S/N)和MS零件状态。例如，MS零件状态可包括“Ordered”(已订购)、“Paid”(已支付)、“Shipped”(已运输)、“Installed”(已安装)或“Removed”(已移除)。一旦请求了MS零件，MS零件状态就可被修改，并且变为指示MS零件已“Shipped”，并且已由服务账目“Paid”。一方面，服务操作者利用活动管理系统来请求MS零件，另一方面，另一服务操作者利用活动管理系统来处理包括核准、运输等的请求。另外，一旦请求者接收到MS零件，运输状态就可被改为已接收，并且可由服务操作者输入MS零件序列号。图3I还指示针对当前案例计划的测试和校正动作。例如，C4F8质量流控制器要被更换。
如图3J所示，当服务操作者已经接收到所请求的MS零件，并且进行到更换MS工具上的MS零件时，服务操作者可获得用于更换特定于MS零件、特定于MS工具和特定于MS平台的MS零件的指令。校正动作规程可存储在数据存储系统20中，并经由数据动作系统30被提供给服务操作者。例如，图3J图示了用于更换C4F8质量流控制器的校正动作规程。校正规程是特定于MS零件、特定于MS工具和特定于MS平台的。
一旦校正动作完成，活动管理系统就被更新以反映变化；见图3K。例如，计划的校正动作被移到完成的校正动作，并且与案例相关联的MS零件被更新以显示移除的MS零件，包括MS零件源、MS零件、MS零件号、MS零件序列号和MS零件状态。其后，服务操作者可重新检查最初失败的测试。例如，这种情况下，服务操作者重新检查测试51A5和C4F8流测试。在这种情况下，如果测试通过，则活动管理系统被更新以反映这些附加测试和测试结果。然后MS零件可被去污和丢弃(如果选择这样作的话)。
在作为第一示例描述的该服务过程期间的任何时刻，另一服务操作者(例如服务监管者)都可监视特定案例的进程。例如，如果不执行互动案例研究，并且MS零件被零星地更换(即，“shot-gunning approach(鸟枪法)”)，则服务监管者可通过拒绝对MS零件支付、指示服务操作者请求MS零件以从事互动案例研究等，来影响服务活动。
或者，当利用活动管理系统来执行互动案例研究时，作为本地高级过程控制(APC)软件的结果，服务操作者可获得对可从MS工具获得的数据的访问。例如，MS工具可包括蚀刻系统，其中历史数据(例如正向功率、反射功率、压强和质量流率的时间示踪)可从每趟衬底运作(run)获得。
在另一示例中，图4A图示了用于利用活动管理系统执行服务部件启动的示例性操作者界面，其中服务部件启动功能是经由“Start UpMachine”键访问的。在该示例中，服务操作者已经从活动管理系统接收到请求以执行MS工具的启动规程。在该示例中，MS工具可包括诸如蚀刻系统之类的等离子体处理系统，其中射频(RF)发生器和阻抗匹配网络需要执行启动测试。服务操作者运行活动管理系统并选择“Start UpMachine”键；见图4A。
现参考图4B，活动管理系统可呈现用于测试服务部件(例如具有一个或多个MS工具的MS平台)的启动列表。如图4B所示，启动规程可包括对于MS平台、MS工具、MS服务协议等来说特定的一系列测试。此外，启动方案可标识测试顺序、测试类型(例如“Matcher ModeSetting”)、测试位置(例如MS工具号1，或处理室1(PC1))、测试的目标结果、测试的实际结果和任何相关的修理。启动规程可存储在数据存储系统中，其中可通过数据采集系统进行修改。另外，数据动作系统可向服务操作者提供启动规程以辅助服务操作者，如图4B所示。
当利用活动管理系统来从事启动规程时，服务操作者可获得用于执行特定于MS工具和特定于MS平台的每个测试的测试规程。另外，服务操作者可访问对于测试来说特定的测试规范，其中所述测试是针对特定的MS平台、MS工具、MS服务协议等执行的。测试规范可例如定义失败上限和下限。
随着在启动方案期间测试的执行，实际测试结果经由数据采集系统被输入，并且启动方案被更新以反映这些获取的结果。如果实际结果落在由目标结果分别加或减失败上限和下限设定的限度内，则测试结果是“通过”。如果实际结果不落在这些限度内，则测试结果是“失败”。例如，如图4C所示，当针对第二MS工具(PC2)执行正向RF功率测试，并且实际结果超过目标结果加失败上限时，发生故障。此时，服务操作者可继续使用活动管理系统来排查故障以修复MS工具，如上所述。在该示例中，服务操作者利用活动管理系统来标识校正动作，如重新校准RF发生器。在执行了由数据动作系统呈现的该校正动作之后，重新检查启动测试规程中的测试以确保测试失败被校正。另外，启动方案被更新以反映在相关的修理场合中采取的校正动作。
在另一示例(跟随第一示例)中，服务操作者可输入其开销，包括与旅程、人力、等待MS零件和等待客户相关联的时间；见图5A。此外，时间可以与不同服务账目相关联，包括已支付服务、服务合同、预启动、启动、预保证、保证、MS工具修正(FCN)、MS工具增强(CIN)或设备制造商部门。另外，可输入已支付服务开销，包括旅馆、飞机和每日津贴(汽车/餐费)。例如，服务操作者将时间或成本或这两者输入到字段中。一旦被数据采集系统获取，服务活动数据就可被存储在数据存储系统中。如图5B和5C所示，客户可核实服务操作者所指示的服务已完成。该核实可例如被打印出来，并经由常规邮件或电子邮件被提交给设备制造商，如图5C所示。
在另一示例中，服务操作者可访问对于MS平台、MS工具、MS零件、MS服务协议等来说特定的服务教学材料。例如，服务操作者可利用GUI并选择“Learn Machine”键，通过活动管理系统获得访问。服务操作者可标识MS平台、或MS工具、或MS零件、或MS服务协议或其任意组合。其后，服务操作者可获得对机械图、电气图、训练视频、训练规程、产品描述等的访问。服务操作者(例如服务监管者)可利用活动数据管理系统生成用于教学材料的一个或多个测验。测验可包括回答键。此外，服务操作者可在训练材料后采用测验以评价其理解水平。例如，图6图示了用于Unity IIe(MS平台)、DRM(MS工具)蚀刻系统的存储在数据存储系统中的一系列训练数据。
在另一示例中，服务操作者可利用GUI中的“Machine Operations，Test，& Corrective Actions”键集成新的测试或校正动作，并修改当前的测试或校正动作；见图7A。如图7A所示，服务操作者可进行新的操作，进行新的测试，采取新的校正动作，以及修改现有的操作、测试或校正动作。例如，图7B图示了服务操作者输入新测试的过程。测试条目可包括标识(ID)号、修正状态、发起者的标识、核准者的标识、核准日期、拒绝日期、拒绝新测试的原因、新测试的描述(例如，MS平台、MS工具、测试参数等的标识)、父任务的标识、可适用产品的标识(例如，MS平台、MS工具等)、可适用公司的标识、完成新测试的估计时间、失败下限、警告下限、目标结果、失败上限、警告上限、比较目标和实际结果的数学运算符的标识(例如“等于”)、测量单位的标识、关于结果是否基于意见的指示、在启动期间要测量的一个或多个测试值、以及在预防性维护期间要测量的一个或多个测试值。一旦新的测试被输入，其就可被提交以进行核准。例如，新测试可经由常规邮件或电子邮件被发送到另一服务操作者(例如监管者)。另外，在完成新测试后，服务操作者可输入用于新测试的一个或多个测试方案，其中每个测试方案可特定于MS平台、MS工具、MS零件等。
此外，服务操作者可利用GUI 100中的“Machine Operations，Test，&Corrective Actions”键来修改当前测试或校正动作。服务操作者可输入新的修正号，改变某些测试条件，并提交修改后的测试以进行核准。
在另一示例中，服务操作者可访问对于MS平台、MS工具、MS零件或MS服务协议来说特定的文档。例如，服务操作者可利用GUI并选择“Machine-Related Files(documentation)”键，通过活动管理系统获得访问。
在另一示例中，服务操作者可利用GUI中的“Machines”键，将新的MS平台和MS工具添加到活动管理系统，或检查与现有的MS平台和MS工具相关联的服务活动数据；见图8A。如图8B所示，可以选择现有的MS平台(例如Unity IIe)和现有的MS工具(例如SCCM No.U10977)，并且可以检查服务活动数据。服务活动数据可包括服务账目(协议)、所有权信息(客户信息)和当前材料单(BOM)。例如，服务账目数据可包括订单号、服务账目类型(例如保证、合同等)、服务协议号、服务开始日期、服务停止日期、月收入、服务账目涵盖范围和服务涵盖小时。其中，可以指定新的服务账目。另外，例如，所有权信息可包括订单号、公司(客户)名、计划的FOB和实际日期、计划的SL1和实际日期、计划的SL2和实际日期、计划的HW SU和实际日期以及计划的系统接受和实际日期。其中，可以输入新的所有权信息。另外，例如，当前BOM可包括MS零件、MS零件号、MS零件序列号、备用指示符(MS零件备用是否可获得)、消耗品指示符(MS零件是否是消耗品)和规定寿期、规定寿期的单位(例如小时等)的列表，以及实际数据。实际数据可包括从MS零件校准起的天数、与MS零件相关联的射频(RF)小时数和针对MS零件运行的衬底(晶片)数。其中，另一MS零件可被添加到当前列表。
如图8C所示，服务操作者可利用GUI中的“Machines”键将新的MS平台和MS工具添加到活动管理系统。其中，服务操作者可输入MS平台序列号、MS平台、以及耦合到MS平台的MS工具号。另外，服务操作者可输入与服务账目(协议)相关联的数据以及所有权。此外，服务操作者可输入当前BOM，包括MS工具和MS零件标识、MS零件ID号、MS零件序列号(在从MS工具运输接收到后)和MS零件规范。在新的MS平台数据的添加期间，服务操作者可通过名称识别其自身。或者，当服务将MS工具输入到BOM中时，如果MS零件已知与特定MS工具相关，则MS零件可自动填充到列表中。
在另一示例中，服务操作者可利用GUI并选择“Part Types”键来添加新的MS零件，或者修改现有的MS零件；见图8D。
在另一示例中，服务操作者可利用GUI并选择“Service Agreements(warranty & contract)”键来添加或编辑新的MS服务协议，或者修改现有的MS服务协议；见图8E。如图8F所示，服务操作者可输入公司(客户)信息、MS服务协议(合同或保证)号、服务协议类型、服务协议涵盖小时(例如8AM～5PM，星期一到星期五)、月收入、服务协议排除情况(例如，消耗品、客户损坏等)、对表现差的惩罚、对表现好的奖励以及MS平台和/或MS工具信息。另外，可以输入服务协议的计划和实际的开始和停止日期，以及计划和实际值之间的差。另外，服务操作者可输入计划和实际的服务协议财政状况，包括总人工小时、人工小时比率、总人工小时成本、总MS零件成本、总成本、总收入(购买价格)、利润(+)、亏损(-)和利润率(％)。
在另一示例中，服务操作者可访问数据存储系统中的服务活动数据，并且数据动作系统可为服务操作者准备所请求数据的报告。如图9所示，服务操作者可创建新的报告，或生成特定类型的报告，例如包括总保证利润报告、总合同利润报告、无效校正动作报告、鸟枪(shot-gunapplication)报告、零件处置问题报告、进料到部门的零件的报告、移除的零件序列号(S/N)不匹配我们的记录的报告、迟到系统接受情况报告、高超时(OT)/可付费小时报告、公开FCN报告、机器需要FCN的报告、工程师IOE报告、工程师认证报告、工程师电子学习报告等。
在另一示例中，服务操作者可创建新的上报热点板，或检查上报的修理时间、上报的系统接受时间或上报的客户问题。如图10A所示，服务操作者可利用“Escalation Hotboards”键通过GUI来访问上报热点板。例如，图10B图示了上报时间热点板，其中可以识别客户(或制造工厂)，可以识别MS平台和MS工具(“Model”)，修理状态的总结，已被上报的修理的天数以及被指定进行修理的服务操作者的标识。另外，例如，热点板项目可以用颜色编码以进一步标识其状态(即，红色＝停机(harddown)；黄色＝有限生产；绿色＝刚刚关闭)。此外，如图10C所示，可以访问上报客户问题热点板。
在另一示例中，服务操作者可创建服务活动的新的关键分数指标(KPI)仪表板，或者访问现有的KPI仪表板，以寻求客户支持、技术支持、现场服务、启动、技术公开或训练。如图11A所示，服务操作者可利用“KPI Dashboards”键通过GUI访问KPI仪表板。例如，图11B图示了客户支持KPI仪表板。该仪表板呈现了KPI以及实际结果和目标结果。例如，KPI可包括与特定MS平台和MS工具上的保证MS零件相关联的月成本的实际结果和目标结果。在这种情况下，10,000$的实际结果超出了8,500$的目标结果。另外，例如，仪表板项目可以用颜色编码以进一步识别其状态(即，红色＝KPI失败；黄色＝KPI警告)。当实际结果超过目标结果时，可发出“KPI警告”。当实际结果超过目标结果预定容限时，可发出“KPI失败”。
在另一示例中，服务操作者可访问用于执行服务活动的规程，并确定他/她在规程的每步中的职责。如图12A所示，服务操作者可利用“Procedures”键通过GUI来访问规程。例如，服务操作者可创建新规程，或者检查现有的规程。图12B图示了用于Unity IIe安装的示例性规程。该规程可包括规程中步骤的顺序、步骤被指定给的服务操作者(例如，“Start Up Supervisor”(启动监管者)相对于“Start Up Engineer”(启动工程师))以及规程步骤的描述。
在另一示例中，服务操作者可访问服务操作者的工作描述，并确定他/她的职责。如图13A所示，服务操作者可利用“Job descriptions”键通过GUI来访问工作描述。例如，服务操作者可创建新的工作描述，或者检查现有的工作描述。图13B图示了启动工程师(Start Up Engineer)的工作描述。
在另一示例中，服务操作者可访问雇员动作计划，并确定其服务动作职责。如图14A所示，服务操作者可利用“Employee Action Plans”键通过GUI来访问雇员动作。例如，如图14B所示，服务操作者可检查服务动作的列表，包括动作描述、当前计划开始日期的指示和实际开始日期的指示。此外，服务动作可用颜色编码以呈现其状态(例如，灰色＝被指定者还未接受服务动作；黑色＝服务动作已指定并被接受；绿色＝服务动作完成；黄色＝服务动作生成KPI警告；红色＝服务动作生成KPI失败)。
在另一示例中，服务操作者可访问桌面帮助动作计划，并且作为桌面帮助功能的结果确定其服务动作职责。如图15A所示，服务操作者可利用“Help Desk Action Plans”键通过GUI来访问雇员动作。例如，如图15B所示，服务操作者可检查服务动作的列表，包括动作描述、当前计划开始日期的指示、实际开始日期的指示和服务动作已被指定给的服务操作者的指示。此外，服务动作可用颜色编码以呈现其状态(例如，灰色＝被指定者还未接受服务动作；黑色＝服务动作已指定并被接受；绿色＝服务动作完成；黄色＝服务动作生成KPI警告；红色＝服务动作生成KPI失败)。
另外，服务操作者可利用“Help Desk Action”功能来请求帮助。例如，服务操作者可选择“ES Technical Support”(见图15A)，并访问由ES技术支持(ES Technical Support)组执行的服务动作。其后，服务操作者可利用“Assign New”键指定新的服务动作(见图15B)，并输入服务动作的细节。如图15C所示，服务动作细节可包括动作标识号(ID)、服务动作的描述、父动作(或任务)(如果存在的话)的标识、客户(或公司)的标识、最初计划开始日期和时间的指示、当前计划开始日期和时间的指示、实际开始日期和时间的指示、最初计划停止日期和时间的指示、当前计划停止日期和时间的指示、实际停止日期和时间的指示、服务动作顺序的指示、购买者的指示、请求者的标识、指定者的标识、被指定者的标识、指定日期、接受日期、拒绝日期、拒绝原因、意见。一旦输入了动作细节，服务操作者就可以将服务动作请求添加到服务动作列表，如图15B中的列表。新的服务动作可着重显示为灰色以指示其还未被接受。活动管理系统可通知ES技术支持(例如经由电子邮件)新的服务动作已被添加。被告知新的服务动作的另一服务操作者可决定接受服务动作请求(见图15D)，并且服务动作列表(图15B)被更新以通过将动作着重显示为黑色(已接受)来反映该具体服务动作的状态变化。如图15D所示，服务操作者或者可以拒绝服务动作，检查KPI，检查指令，检查服务动作细节，或检查任何支持文档。
此外，利用GUI和“Help Desk Action”键，服务操作者可将服务动作从例如ES技术支持组转发到另一群组，例如TEA IS组。服务操作者可停止第一组中的服务动作，并在第二组中发起请求。
在另一示例中，服务操作者可访问项目动作计划，并针对特定项目确定其服务动作职责。如图16A所示，服务操作者可利用“Project ActionPlans”键通过GUI来访问雇员动作。例如，如图16B所示，服务操作者可检查服务动作的列表，包括动作描述、当前计划开始日期的指示、实际开始日期的指示、服务动作已被指定给的服务操作者的指示。此外，服务动作可用颜色编码以呈现其状态(例如，灰色＝被指定者还未接受服务动作；黑色＝服务动作已指定并被接受；绿色＝服务动作完成；黄色＝服务动作生成KPI警告；红色＝服务动作生成KPI失败)。
在另一示例中，服务操作者可访问客户动作计划，并针对特定客户确定其服务动作职责。如图17A所示，服务操作者可利用“Customer ActionPlans”键通过GUI来访问雇员动作。例如，如图17B所示，服务操作者可检查服务动作的列表，包括动作描述、当前计划开始日期的指示、实际开始日期的指示、服务动作已被指定给的服务操作者的指示。此外，服务动作可用颜色编码以呈现其状态(例如，灰色＝被指定者还未接受服务动作；黑色＝服务动作已指定并被接受；绿色＝服务动作完成；黄色＝服务动作生成KPI警告；红色＝服务动作生成KPI失败)。
在另一示例中，服务操作者可创建新的服务操作者之间的协作，或者加入现有的服务操作者之间的协作。如图18A所示，服务操作者可利用“Collaboration”键通过GUI来访问新的和现有的协作。例如，如图18B所示，服务操作者可打开新的协作，其中提供了标识(ID)号、发起协作的日期和时间以及发起者的标识。服务操作者还可输入协作的标题、协作的介绍、用于协作的论坛定义、以及协作的被邀请者的定义；见图18C。论坛可例如包括“Open”(开放)论坛，其中每个人都有读写权限，并且没有提供邀请；“Private”(私有)论坛，其中只有被邀请者有读写权限，并且向被邀请者提供了邀请；以及“Public”(公共)论坛，其中被邀请者有读写权限，其余每个人有读权限，并且向被邀请者提供了邀请。
一旦发起协作，就可以利用“Collaboration”键经由GUI来访问协作；见图18A。图18D呈现了一种现有的协作，其中第一服务操作者发起讨论。图18E和18F图示了若干个其他服务操作者对第一服务操作者的回复。其后，如果协作的被邀请者同意新的服务动作，则服务操作者之一可以将新的服务动作输入到雇员动作计划、桌面帮助动作计划、项目动作计划或客户动作计划中的任何一个。
如上所述，活动管理系统1与诸如服务操作者之类的系统用户交互，以执行可用于使服务操作者执行服务动作的各种服务功能数据。下面的方法描述了服务操作者与活动管理系统1用来执行特定服务动作的互动。
服务部件修理根据一个实施例，一种用于执行服务部件修理的方法可包括以下步骤(1)识别服务部件修理需求；(2)利用活动管理系统将修理服务过程指定给诸如服务修理工程师之类的服务操作者；以及(3)活动管理系统列出该服务部件的修理历史总结。示出了由在最后一次与活动管理系统1同步的服务操作者之前的所有服务操作者上载的每个修理。活动管理系统1示出了初始故障、校正动作和校正动作是否表现无效。历史返回到在设备安装期间执行的最终测试的开始。
(4)服务操作者输入在活动管理系统中失败的(一个或多个)机器测试名词(例如，“Etch Rate，51A5”等)。(5)如果活动管理系统以前曾见过这种失败，则其提供互动案例研究。(活动管理系统给出与记录在当前案例上的当前测试结果相匹配的所有案例。然后，其列出对匹配案例进行的附加测试动词/名词(例如，“Test RF Forward Power Level”)，以及对匹配案例进行的附加变化动词/名词(例如“Clean ESC”))。测试通过区分概率和所需的时间而被划分优先级。通过变化修理匹配案例的次数来划分变化的优先级。服务工程师可通过服务部件型号、工艺类型或客户来过滤。
(6)服务操作者随后诊断(排查)问题。(7)服务操作者可选择对匹配案例进行的测试(理想的)，选择不对匹配案例进行的测试，进行新的测试，或仅仅以自由文本描述测试。活动管理系统标记新的测试以供检查。测试可在完成(有结果)或对未来作出计划后被记录。活动管理系统从所选的动词/名词组中提取出特定于服务部件的测试(如果不存在动词/名词组的话，则允许用户作出动词/名词组)。活动管理系统通过查看s/n特定的期望的关键零件材料单(BOM)来获知服务部件。测试在实际动作计划(指定了服务操作者、服务部件等)中示为修理父任务下的子任务。
(8)服务操作者可通过点击与动作计划中的测试紧接着的关联按钮来读取活动管理系统中的关键绩效指标(KPI)(规范)或指令。(9)服务操作者可搜索并读取活动管理系统中的清楚的服务部件描述和操作理论图。(10)服务操作者可在活动管理系统中输入封闭任务。服务操作者可将开放任务转移给另一服务操作者。(11)服务操作者将服务部件修理测试结果记入活动管理系统中。服务操作者可将测试结果记入活动管理系统中(例如，“Test RF Forward Power Level”)。活动管理系统显示针对该任务记入的结果。结果日志文件示例可包括规范名“Power Meter BeforeMatcher to Power Setting”，目标级别“X”，实际级别“Y”和任何意见。
(12)服务操作者随后校正问题。(13)服务操作者可选择对匹配案例进行的(一个或多个)变化，选择不对匹配案例进行的(一个或多个)变化，进行新的(一个或多个)变化，或仅仅以自由文本描述(一个或多个)变化。活动管理系统标记新的变化以供检查。变化可在完成或对未来作出计划后(尤其当更换MS零件时，因为MS零件需要订购)被记录。活动管理系统从所选的动词/名词组中提取出特定于服务部件的变化。活动管理系统通过查看序列号(s/n)特定的期望的关键零件BOM(材料单)来获知服务部件。(一个或多个)变化在实际动作计划(指定了服务操作者、服务部件等)中示为修理父任务下的(一个或多个)子任务。(14)服务操作者还可通过点击与动作计划中的变化紧接着的(一个或多个)关联按钮来读取活动管理系统中的(一个或多个)指令。(15)如果变化动词是“更换(replace)”，变化名词是“零件类型(part type)”，则活动管理系统作出MS零件订购系统任务。
(16)活动管理系统在解决了案例时(所有失败的测试当前都已通过)，通知服务操作者，着重显示不是解决方案一部分的MS零件以使其可以移除，并且着重显示要一起(shot-guned)更换的MS零件，以使其可被进一步隔离。服务操作者可继续工作或关闭案例。(17)活动管理系统将该案例添加到其互动案例研究(除非由于对案例建档的问题而导致服务操作者拒绝)。(18)另一服务操作者(例如技术支持)检查新的测试和变化，并删除或改变现有的测试或变化(如果需要的话)。
服务部件清洗根据另一实施例，一种用于执行服务部件清洗的方法可包括以下步骤(1)服务操作者基于服务部件设计、工艺经验和维护经验在活动管理系统中生成用于该服务部件的清洗规程。生成了一系列步骤，这一系列步骤基于日历、晶片(衬底)计数器或RF定时器(典型地是一(1)年长)指定了每个清洗步骤的开始标准。
(2)服务操作者基于服务部件设计、工艺经验和维护经验在活动管理系统中生成用于该服务部件的(一个或多个)清洗指令。所需要的一组重要的MS零件是服务部件特定的清洁配套工具(kit)。(3)服务操作者可在活动管理系统中将服务部件测试、变化和操作指令链接到(一个或多个)清洗指令中的步骤。(4)服务操作者(例如服务监管者/管理者)在活动管理系统中给客户服务部件指定清洗规程。(5)服务操作者(例如服务监管者/管理者)指定在他/她想要跟踪的活动管理系统中清洗规程步骤的被指定者。
(6)标识出服务部件需要清洗。如果开始标准是基于日历的，则活动管理系统在时间到时发起。如果开始标准是基于晶片计数器或RF定时器的，则活动管理系统在服务部件计数器被更新时发起(如果可适用的话)。服务操作者被要求每当其对服务部件操作就更新服务部件计数器，并且一天一次。如果建立了电子监视，则服务部件计数器可被实时更新。(7)服务操作者选择针对清洁配套工具零件类型的MS零件订购系统任务。活动管理系统生成与清洗父任务相关联的并且被指定给服务操作者和服务部件的MS零件请求系统任务。
(8)服务操作者在活动管理系统中记入服务部件清洗测试结果。服务操作者可访问结果日志(例如“Test P/C Leak Rate”)。活动管理系统显示该任务的结果日志。结果日志示例产品零件类型PC，产品S/NSCCM55-PC1，规范名Self Check P/C Leak Rate Result，目标3，实际最终测试2，实际...，意见...；(9)服务操作者向活动管理系统输入封闭任务。服务操作者可将开放任务转移给另一服务操作者。(10)服务操作者也可通过点击与动作计划中的任务紧接着的关联按钮来读取活动管理系统中的KPI(规范)或指令。(11)如果测试结果失败，则活动管理系统作出与测试子任务相关联的并且被指定给服务操作者和客户服务部件的修理系统任务。活动管理系统还输入失败的机器测试名词(例如，“P/C Leak Rate”)。
服务部件更换根据另一实施例，一种用于执行服务部件更换(例如MS零件的更换)的方法可包括以下步骤(1)通知服务部件需要更换；(2)服务操作者在活动管理系统中将更换任务指定给他/她自己以及诸如清洁配套工具之类的服务部件更换；以及(3)服务操作者可将任务转发给另一服务操作者。
(4)服务操作者在活动管理系统中输入多久清洁配套工具在MS平台或MS工具上被更换(例如300个晶片、14天或300RF小时)。(5)如果MS零件实际寿期(在活动管理系统中被跟踪)在用于MS平台或MS工具中的另一工艺周期之前超过了典型寿期(在活动管理系统中指定)，则活动管理系统生成与服务操作者和服务部件更换或清洁配套工具相关联的用于该(一个或多个)MS零件的MS零件订购系统任务。(6)如果(一个或多个)MS零件被损坏，则服务操作者选择MS零件订购系统任务。(7)服务操作者清洗其他MS零件，或将其返回到清洗中心以进行清洗。
(8)活动管理系统通过零件序列号(s/n)跟踪MS零件位置(例如，仓库、废料、配套工具BOM或不固定)和MS零件特性。服务操作者输入更换MS零件何时丢失、被接收(包括s/n)、被打开、被添加到清洁配套工具、被从清洁配套工具移除等等。服务操作者输入更换MS零件为何不被添加到清洁配套工具的原因(例如，错误的MS零件、MS零件不需要、重复的MS零件、MS零件损坏、MS零件未订购、MS零件误标记等)。活动管理系统确定更换MS零件是否有经核准的购买帐目。另一服务操作者可调查MS零件s/n的不符。
执行预防性维护根据另一实施例，一种用于对服务部件(例如MS平台、MS工具或MS零件)执行预防性维护(PM)的方法可包括以下步骤(1)服务操作者(例如服务设计者)基于服务部件设计、工程经验和维护经验，在活动管理系统中生成用于该产品的PM规程。提供了一系列步骤，其中每个步骤基于日历、晶片计数器或RF定时器(典型地是一年长)指定了用于每个PM步骤的开始标准。(2)服务操作者(例如技术写入者)在活动管理系统中生成用于该服务部件的(一个或多个)PM指令。例如，服务部件PM可包括服务部件特定的PM配套工具。(3)服务操作者可在活动管理系统中将服务部件测试、变化和操作指令链接到(一个或多个)PM指令中的步骤。
(4)服务操作者(例如服务管理者)在活动管理系统中给客户服务部件指定PM规程。(5)服务管理者指定他/她想要跟踪的活动管理系统中的PM规程步骤的服务操作者(被指定者)。(6)标识出服务部件需要PM。如果开始标准是基于日历的，则活动管理系统在PM的时间到时发起。如果开始标准是基于晶片计数器或RF定时器的，则活动管理系统在服务部件计数器被更新时发起(如果可适用的话)。服务操作者被要求每当其对服务部件操作时就更新服务部件计数器，并且一天一次。如果建立了电子监视，则服务部件计数器可被实时更新。
(7)服务操作者(例如PM技术员)检查活动管理系统上的PM任务。(8)PM技术员选择针对PM配套工具MS零件类型的MS零件订购系统任务。活动管理系统生成与PM父任务相关联的并且被指定给服务操作者和客户服务部件的MS零件请求系统任务。(9)PM技术员在活动管理系统中输入服务部件PM测试结果。随后服务操作者可访问该任务的结果日志。结果日志示例包括产品零件类型“PC”，产品S/N“SCCM55-PC1”，规范名“Self Check P/C Leak Rate Result”，目标“3”，实际最终测试“2”，以及任何意见。(10)PM技术员向活动管理系统输入封闭任务。服务操作者可将开放任务转发给另一服务操作者。(11)PM技术员可检查活动管理系统中的KPI(规范)或指令。(12)如果测试结果失败，则活动管理系统可生成与测试子任务相关联的并且被指定给服务操作者和客户服务部件的修理系统任务。活动管理系统还输入失败的服务部件测试名词(例如，“P/C Leak Rate”等)。
服务部件安装根据另一实施例，一种用于执行服务部件安装(例如MS平台、MS工具或MS零件的安装)的方法可包括以下步骤(1)服务操作者(例如服务管理者)在活动管理系统中生成安装规程。最终测试步骤和启动步骤被链接到相应指令。(2)服务操作者(例如服务设计者)向活动管理系统中的最终测试指令和启动指令输入以特定服务部件发起的新步骤。(3)服务操作者(例如技术写入者)将服务部件测试、变化和操作指令(利用其动词/名词组)链接到活动管理系统中的最终测试指令和启动指令中的新步骤。(4)服务操作者在活动管理系统中生成多个MS零件的s/n特定的服务部件BOM以“track from start(从开始跟踪)”(例如MS平台、MS工具、清洁配套工具、PM配套工具等)。活动管理系统可添加s/n未知的临时s/n。如果MS零件不存在于活动管理系统中，则其被输入。该条目的示例包括P/N“ES1D80-1231-01”，零件通用名“12inch Ceramic ESC”，零件官方名“X”，零件类型“ESC”，寿期“3000”，特别处置“SD23”。(5)服务操作者输入客户标识、购买帐目等。例如，P/N“ES1D80-1231-01”，零件S/N“ANS-343”，零件别名“X”，父零件S/N“PC1-SCCM68”。
(6)服务操作者(例如服务管理者)在活动管理系统中给客户服务部件指定安装规程。(7)服务管理者指定他/她想要跟踪的活动管理系统中的安装规程步骤的其他服务操作者(被指定者)。(8)活动管理系统通过从在最终测试指令和启动指令中列举的动词/名词组中提取出服务部件特定的指令，来在活动管理系统中生成s/n特定的最终测试指令和s/n特定的启动指令。活动管理系统可从s/n特定的期望的关键零件BOM中识别出服务部件。这些步骤在实际动作计划(例如，指定的服务操作者、服务部件等)中示为最终测试或启动父任务下的子任务。
服务部件的更改根据另一实施例，一种用于执行服务部件的更改(例如对MS平台、MS工具或MS零件的更改)的方法可包括以下步骤(1)标识出需要对现有的服务部件进行特殊更改。(2)服务操作者(例如服务管理者)确定是否继续(例如，考虑估计成本，资源优先级以及客户的购买意愿)，是否请求客户不执行更改(例如，更改可能导致问题)，或者是否请求(或允许)客户自己从事更改。(3)如果服务操作者(例如服务管理者)确定需要新的MS零件设计，则可以设计解决方案，构建原型，并测试该解决方案。
(4)服务操作者生成用于购买的MS零件(例如，离架的MS零件)、设计的MS零件以及MS零件组件的规范文档。文档可包括(一个或多个)提供者和(一个或多个)提供者的零件号。文档还可包括文本、物理绘图和示意图，以及其任意组合。文档还可包括修正(例如，对形式、适合性或功能不产生影响)。(5)服务操作者给MS零件、MS零件组件和MS零件规范文档指定工程号。工程号可包括版本(例如客户、国家等)和后缀(例如，指示反向兼容性)。(6)服务操作者生成MS零件组件的期望的BOM。(7)服务操作者生成软件的版本注释。(8)服务操作者在活动管理系统中生成更改安装指令。(9)服务操作者可将服务部件测试、变化和操作指令链接到活动管理系统中的(一个或多个)更改安装指令中的步骤。(10)服务操作者(例如服务管理者)在活动管理系统中将更改安装指令指定给受影响的服务部件。(11)服务管理者在活动管理系统中给更改安装任务指定服务操作者(被指定者)。
(12)标识出服务部件需要更改安装。如果开始标准是基于日历的，则活动管理系统在时间到时发起。如果开始标准是基于晶片计数器或RF定时器的，则活动管理系统在服务部件计数器被更新时发起(如果可适用的话)。服务操作者被要求每当其对服务部件操作就更新服务部件计数器，并且一天一次。如果建立了电子监视，则服务部件计数器可被实时更新。(13)服务操作者(例如被指定执行更改的某个人)在活动管理系统中记入更改测试结果。服务操作者可通过活动管理系统访问测试结果(例如，“Test P/C Leak Rate”的结果)。结果日志示例包括产品零件类型“PC”，产品S/N“SCCM55-PC1”，规范名“Self Check P/C LeakRate Result”，目标“3”，实际最终测试“2”，实际“X”，以及任何意见。(14)服务操作者可将封闭任务输入到活动管理系统中，并通过活动管理系统将开放任务转交给另一服务操作者。(15)如果测试结果失败，则活动管理系统可生成与测试子任务相关联的并且被指定给服务操作者和客户服务部件的修理系统任务。活动管理系统还输入失败的机器测试名词(例如，“P/C Leak Rate”)。
服务部件卸载根据另一实施例，一种用于执行服务部件卸载(例如MS平台、MS工具或MS零件的卸载)的方法可包括以下步骤(1)标识出需要进行服务部件卸载；以及(2)服务操作者将卸载系统任务指定给他/她自己，以及活动管理系统中的客户服务部件。(3)服务操作者卸载服务部件。(4)服务操作者将封闭任务输入到活动管理系统中。服务操作者可将开放任务转交给另一服务操作者。(5)如果MS零件遗失，或者需要额外的MS零件，则服务操作者可选择零件订购系统任务。(6)如果服务部件需要修理，则活动管理系统生成与测试子任务相关联的并且被指定给服务操作者和客户服务部件的修理系统任务。活动管理系统还输入失败的服务部件测试名词(例如，“RF Forward Power level”)。
零件订购根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行MS零件订购的方法可包括以下步骤。(1)标识出需要进行MS零件订购。(2)服务操作者在活动管理系统中生成MS零件订购系统任务。如果需要用于个别服务任务(如在典型情形中一样)，则活动管理系统将MS零件订购与父任务号相关。(3)如果服务操作者提供了MS零件类型，则活动管理系统列出与该MS零件类型相匹配的服务部件BOM中的(一个或多个)MS零件(和(一个或多个)MS零件等级)。(4)服务操作者从列表中选择MS零件或添加MS零件到基于服务部件BOM的FRU号ID文档。如果MS零件还未存在于活动管理系统中，则服务操作者生成新的MS零件。例如，P/N“ES1D80-1231-01”，零件通用名“12inch Ceramic ESC”，零件官方名“X”，零件类型“ESC”。
(5)活动管理系统推荐质量、基于服务部件的(一个或多个)服务协议以及零件是否是消耗品的购买帐目(即，保证、合同、已支付服务购买订单等)、运输优先级(例如，“需要零件运输”、“隔日”等)、针对该服务部件最后一次使用的运输地址、任何运输意见(例如，“don’temail estimated time of arrival(ETA)unless the MS part can not be shipped“overnight”)”(“除非MS零件不能“隔日”运输，不用电子邮件邮寄估计到达时间(ETA)“)、以及s/n未知时的临时s/n。(6)服务操作者确认MS零件订购信息，并在活动管理系统中编辑该信息(如果必要的话)。活动管理系统提示服务操作者考虑活动购买帐目。服务操作者可向订单中添加多于一个MS零件(如果必要的话)。(7)活动管理系统获取MS零件价格。如果客户正在购买，或者MS零件相对不贵，近来未被更换，并且已遵照了最好的已知方法，则活动管理系统可自动核准该MS零件订购。
(8)活动管理系统通知服务操作者何时支付和运输被核准或拒绝。(9)如果与服务任务(例如，修理、启动等)相关联，则MS零件仍保留有该任务，即使该任务转交给不同的服务操作者(被指定者)。(10)活动管理系统通知服务操作者ETA和跟踪号(如果需要的话)。(11)如果需要的话，MS零件被运输。
(12)活动管理系统通过零件s/n跟踪MS零件位置(例如，仓库、废料、服务部件BOM或不固定)和MS零件特性。服务操作者将与更换MS零件何时丢失、被接收(例如输入s/n)、被打开、被安装以及被移除有关的信息输入到活动管理系统中。服务操作者输入更换MS零件为何被移除的原因(例如，MS零件不能解决问题或者MS零件损坏)。服务操作者输入更换MS零件为何一直不安装的原因(例如，错误的MS零件、MS零件不需要、MS零件重复、MS零件损坏、MS零件未订购、MS零件误标记)。活动管理系统确定在移除时(例如确认/输入s/n)，原始MS零件是好的、坏的还是未知。活动管理系统输入更换MS零件是否有被核准的购买帐目。服务操作者可调查MS零件s/n的不符。
生成MS零件故障关键分数指标(KPI)根据另一实施例，活动管理系统利用以下方法生成MS零件故障关键分数指标(KPI)分析(1)活动管理系统生成MS零件故障KPI仪表板，并且包括在其寿期目标之前发生故障的消耗品零件和非消耗品MS零件更换。(2)服务操作者(例如服务分析者)分析活动管理系统中的MS零件故障KPI仪表板的绩效。服务操作者选择MS零件故障KPI仪表板的类型(例如，“All”(全部)、“Service Component-Specific”(特定于服务部件)、“Customer-Specific”(特定于客户)等)。活动管理系统以列的形式列出具有这些KPI的每个MS零件例如，质量、成本、修理时间、以天为单位的平均寿期、晶片和RF小时以及寿期目标(如果指定用于消耗品的话)。任何一列可向上或向下排序。列表可被过滤(包括日期范围)。(3)服务操作者可利用活动管理系统中的MS零件故障KPI仪表板，周期性地识别总体的最顶端的五个MS零件以及用于每个服务部件的顶端0-3个MS零件(如果是低用量或低优先级市场，则0)。
(4)如果未在前一周期中进行，则服务操作者检查活动管理系统中的修理历史，并发起校正动作以改变维护(如果那是问题所在的话)(例如，修正训练、修正文档、发送公告等)。(5)如果服务操作者确定需要宣告新的维护设计(例如，每新指令进行清洗)，则服务操作者生成问题和解决方案的描述，并列出具有旧的维护设计的客户。(6)如果问题并不表现为与维护相关并且未在前一周期中进行，则服务操作者生成返回用于分析的特别处置。
生成MS零件消耗关键分数指标(KPI)根据另一实施例，活动管理系统利用以下方法生成MS零件消耗关键分数指标(KPI)分析(1)活动管理系统生成包括消耗品零件的MS零件消耗KPI仪表板。(2)服务操作者(例如服务分析者)分析活动管理系统中的MS零件消耗KPI仪表板的绩效。服务操作者选择MS零件消耗KPI仪表板的类型(例如，“All”、“Service Component-Specific”、“Customer-Specific”等)。活动管理系统以列的形式列出具有这些KPI的每个MS零件例如，质量、成本、修理时间、以天为单位的平均寿期、晶片和RF小时以及寿期目标(如果指定用于消耗品的话)。任何一列可向上或向下排序。(3)服务操作者可利用活动管理系统中的MS零件消耗KPI仪表板周期性地识别总体的最顶端的五个MS零件以及用于每个服务部件的顶端0-3个MS零件(如果是低用量或低优先级市场，则0)。
(4)如果未在前一周期中进行，则服务操作者检查活动管理系统中的修理历史，并发起校正动作以改变维护(如果那是问题所在的话)(例如，修正训练、修正文档、发送公告等)。(5)如果服务操作者确定需要宣告新的维护设计(例如，每新指令进行清洗)，则服务操作者生成问题和解决方案的描述，并列出具有旧的维护设计的客户。(6)如果问题并不表现为与维护相关并且未在前一周期中进行，则服务操作者生成返回用于分析的特别处置。
生成MS零件处置推荐根据另一实施例，活动管理系统可用于生成MS零件处置推荐。其中，例如，服务操作者(例如服务设计者)在活动管理系统中针对标准MS零件生成标准处置(例如，丢弃、返回库存等)，针对特别零件生成特别处置(例如，返回修理、返回分析、由于交换返回等)，活动管理系统提供了用于各种MS零件状态变化的处置推荐。如果特别处置是修理，则另一服务操作者(例如技术支持)可提供处置推荐的输入。如果特别处置是用于交换或分析，则另一服务操作者(例如技术支持)可输入数量(例如，买了多少坏的匹配者，或者样品分析批次的期望大小等)。如果MS零件并不存在于活动管理系统中，则其可被输入作为新零件；例如，P/N“ES1D80-1231-01”，零件通用名“12inch Ceramic ESC”，零件官方名“X”，零件类型“ESC”，寿期“3000”，特别处置“SD23”。
返回MS零件根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统返回MS零件的方法可包括以下步骤(1)标识出需要进行MS零件返回(return)。(2)服务操作者(例如零件返回专家)在活动管理系统中生成MS零件返回系统任务。如果MS零件返回系统任务与个别服务任务相关(如在典型情形中那样)，则活动管理系统将该任务与父任务相关联。(3)如果服务操作者提供了MS零件s/n(即使是由活动管理系统指定的临时s/n)，则活动管理系统显示MS零件特性/位置，并推荐处置(例如，询问特定的服务操作者，给予所有者，丢弃，发送到MS零件分析中心，发送到MS零件修理/清洗中心，返回库存，保存用于故障排查等)。另外，活动管理系统基于标准或特别处置配置确定是否对MS零件去污。
(4)如果MS零件正被返回用于分析或修理/清洗，则活动管理系统推荐购买帐目(例如，保证、合同、已支付服务购买订单(PO)、部门等)。(5)服务操作者确认MS零件返回信息，并且编辑活动管理系统中的任何信息(如果必要的话)。活动管理系统提示服务操作者考虑活动购买帐目(用于分析和修理/清洗)。另一服务操作者(例如零件订购专家)可将多于一个MS零件添加到返回(如果必要的话)。服务操作者可能需要在从客户取得PO之前从分析/修理/清洗中心取得报价。(6)如果返回到库存，则活动管理系统通知客户服务中心核准，并在活动管理系统中输入返回材料授权(RMA)号。活动管理系统将该RMA号发送到服务操作者。如果返回用于活动管理系统所不推荐的分析或修理/清洗，则活动管理系统通知另一服务操作者(例如技术支持)核准，并输入RMA号，如果返回用于活动管理系统所推荐的分析或修理/清洗，则活动管理系统核准并输入RMA号。
(7)如果运输出国，则活动管理系统生成耗用品运输授权(non-inventory shipping authorizatin，NISA)。(8)Import-Export(进出口)向服务操作者提供了商业发货单。(9)服务操作者对MS零件去污/密封。活动管理系统生成MS零件返回表格以置于MS零件上。服务操作者打印表格，并将其与MS零件和商业发货单一起运输。(10)服务操作者在活动管理系统中输入跟踪号。(11)客户服务中心在活动管理系统中输入跟踪号。如果MS零件仅要求放回库存，或者放回库存并具有新的标签，则活动管理系统将处置标记为封闭。如果MS零件被修理/清洗并被放入仓库中，则活动管理系统基于活动管理系统中的特别处置获得核心值(corevalue)，对购买帐目贷记(例如，保证、已支付服务PO(在交换程序上)等)，并通知客户服务中心。
执行MS零件分析根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行MS零件分析的方法可包括(1)标识出需要进行MS零件分析；(2)零件分析中心分析MS零件/批次，制作MS零件分析报告和MS零件分析发货单，通知一个或多个服务操作者(例如技术支持、零件返回专家和零件分析请求者)，并将MS零件运输到MS零件所有者处。如果MS零件为服务提供者所拥有，则他们可例如决定修理或丢弃MS零件；(3)服务操作者(例如技术支持)在活动管理系统中将MS零件分析报告附到MS零件(通过s/n)或MS零件号(如果分析一批的话)上，对于每个MS零件将处置标记为封闭的，并且如果分析显示MS零件终究还是好的零件，则将MS零件标记为不是解决方案的一部分；以及(4)服务操作者(例如零件分析请求者)为MS零件分析支付。
执行MS零件修理或清洗根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行MS零件修理或清洗的方法可包括(1)标识出需要进行MS零件修理或清洗；(2)MS零件修理/清洗中心修理/清洗MS零件，作出MS零件修理/清洗报告和零件修理/清洗发货单，通知一个或多个服务操作者(例如技术支持和零件所有者)(例如，客户或服务提供者的仓库、客户等)，并将MS零件运输到零件所有者处；(3)服务操作者(例如技术支持)在活动管理系统中将MS零件修理/清洗报告附到MS零件(通过s/n)上，并将处置标记为封闭的；以及(4)MS零件所有者为MS零件修理/清洗支付。
执行MS零件修正根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行MS零件修正的方法可包括以下步骤(1)服务操作者(例如服务管理者)定义MS零件问题/机会，并标识出需要新的MS零件设计。(2)另一服务操作者(例如维护工程师(sustaining engineer))设计解决方案，构造原型，并测试解决方案。(3)该另一服务操作者(即维护工程师)生成用于购买的MS零件(例如，离架MS零件)、设计的MS零件和MS零件组件的规范文档。文档可包括(一个或多个)提供者和(一个或多个)提供者零件号。文件还可包括文本、物理绘图或示意图，或其任意组合。文档还可包括修正(例如，对形式、适合性或功能不产生影响)。(4)维护工程师给MS零件、MS零件组件和规范文档指定工程号，其中工程号可包括版本(客户、国家等)和后缀(指示反向兼容性)。(5)维护工程师生成MS零件组件的期望的BOM。(6)维护工程师生成软件的版本注释。
(7)如果服务操作者(即服务管理者)确定新的MS零件设计需要被安装在现有的服务部件(例如MS平台或MS工具)中以使它们满足购买或安全性要求，则维护工程师生成现场变化通知(FCN)(例如，描述问题和解决方案的客户接受情况表格)以及具有旧的MS零件设计的服务部件列表(数据可存储在活动管理系统中)。如果服务管理者确定新的MS零件设计只需要安装在新的服务部件中，或者当旧的MS零件发生故障或用坏时或当客户想要购买时安装在现有的服务部件中，则维护工程师生成连续改进通知(CIN)(描述机会的报告)以及具有旧的MS零件设计的服务部件列表(数据可存储在活动管理系统中)。
执行现场变化通知(FCN)
根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行现场变化通知(FCN)的方法可包括以下步骤(1)服务操作者(例如维护工程师)在活动管理系统中对于每个受影响的服务部件生成(一个或多个)FCN安装指令。新的(一个或多个)MS零件列在所需要的MS零件中。(2)维护工程师可将服务部件测试、变化和操作指令链接到活动管理系统的(一个或多个)FCN安装指令中的步骤。(3)另一服务操作者(例如技术支持)在活动管理系统中生成用于该FCN的FCN规程。其后，FCN可例如被呈现给客户以供检查和核准。安装FCN步骤的开始标准可以是基于日历的、基于晶片计数器的或基于RF定时器的。(4)另一服务操作者(例如FCN计划者)给活动管理系统中的受影响的服务部件指定FCN规程。(5)FCN计划者指定他/她想要跟踪的活动管理系统中的FCN规程步骤的服务操作者(被指定者)。
(6)如果FCN被客户拒绝，则服务操作者(例如服务管理者)可确定如何进行(例如，“客户要在旧的MS零件发生故障/用坏时使用新的设计吗？或者服务提供者需要继续提供旧的MS零件吗？”)。(7)如果FCN被客户核准，则服务操作者(例如FCN安装者)选择用于FCN MS零件的MS零件订购系统任务。活动管理系统生成与FCN父任务相关联的并且被指定给FCN安装者和客户服务部件的MS零件订购系统任务。
(8)标识出服务部件需要进行FCN安装。如果开始标准是基于日历的，则活动管理系统在时间到时发起。如果开始标准是基于晶片计数器或RF定时器的，则活动管理系统在机器计数器被更新时发起FCN(如果可适用的话)。服务操作者被要求每当其对服务部件工作就更新服务部件计数器，并且一天一次。如果建立了电子监视，则服务部件计数器可被实时更新。(9)FCN安装者在活动管理系统中记入FCN测试结果。FCN安装者可访问FCN测试结果(例如，“Test P/C Leak Rate”)，并显示这些结果。结果日志示例包括产品零件类型“PC”，产品S/N“SCCM55-PC1”，规范名“Self Check P/C Leak Rate Result”，目标“3”，实际最终测试“2”，实际“X”以及任何意见。(10)FCN安装者将封闭任务输入到活动管理系统。FCN安装者可将开放任务转交给另一FCN安装者。(11)FCN安装者可读取活动管理系统中的KPI(规范)或指令。(12)如果测试结果失败，则活动管理系统生成与测试子任务相关联的并且被指定给FCN安装者和客户服务部件的修理系统任务。活动管理系统还输入失败的服务部件测试名词(例如，“P/C Leak Rate”)。
执行连续改进通知(CIN)根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行连续改进通知(CIN)的方法可包括以下步骤(1)服务操作者(例如维护工程师)在活动管理系统中对于每个受影响的服务部件生成(一个或多个)CIN安装指令。新的(一个或多个)MS零件列在所需要的MS零件中。(2)维护工程师可将服务部件测试、变化和操作指令链接到活动管理系统的(一个或多个)CIN安装指令中的步骤。(3)另一服务操作者(例如技术支持)在活动管理系统中生成用于该CIN的CIN规程。其后，CIN可例如被呈现给客户以供检查和核准。安装CIN步骤的开始标准可以是基于日历的、基于晶片计数器的或基于RF定时器的。(4)另一服务操作者(例如CIN计划者)给活动管理系统中的受影响的服务部件指定CIN规程。(5)CIN计划者指定他/她想要跟踪的活动管理系统中的的CIN规程步骤的服务操作者(被指定者)。
(6)如果CIN被客户拒绝，则服务操作者(例如服务管理者)可确定如何进行(例如，“客户要在旧的MS零件发生故障/用坏时使用新的设计吗？或者服务提供者需要继续提供旧的MS零件吗？”)。(7)如果CIN被客户核准，则服务操作者(例如CIN安装者)选择用于CIN MS零件的MS零件订购系统任务。活动管理系统生成与CIN父任务相关联的并且被指定给CIN安装者和客户机器的MS零件订购系统任务。
(8)标识出服务部件需要进行CIN安装。如果开始标准是基于日历的，则活动管理系统在时间到时发起。如果开始标准是基于晶片计数器或RF定时器的，则活动管理系统在机器计数器被更新时发起CIN(如果可适用的话)。服务操作者被要求每当其对服务部件操作时就更新服务部件计数器，并且一天一次。如果建立了电子监视，则服务部件计数器可被实时更新。(9)CIN安装者在活动管理系统中记入CIN测试结果。CIN安装者可访问CIN测试结果(例如，“Test P/C Leak Rate”)，并显示这些结果。结果日志示例包括产品零件类型“PC”，产品S/N“SCCM55-PC1”，规范名“Self Check P/C Leak Rate Result”，目标“3”，实际最终测试“2”，实际“X”以及任何意见。(10)CIN安装者将封闭任务输入到活动管理系统。CIN安装者可将开放任务转交给另一CIN安装者。(11)CIN安装者可读取活动管理系统中的KPI(规范)或指令。(12)如果测试结果失败，则活动管理系统生成与测试子任务相关联的并且被指定给CIN安装者和客户服务部件的修理系统任务。活动管理系统还输入失败的服务部件测试名词(例如，“P/C Leak Rate”)。
服务管理KPI分析根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行服务管理KPI分析的方法可包括以下步骤(1)活动管理系统生成服务管理者/监管者KPI仪表板。(2)服务操作者(例如服务分析者)分析活动管理系统中的服务管理者/监管者KPI仪表板的绩效。服务分析者选择服务管理者/监管者KPI仪表板的类型(例如，“All”、“Me”(我)、“My DirectReports”(我的直接报告)、“My Department”(我的部门)、“OtherPerson’s Direct Reports”(其他人的直接报告)、“Other Person’sDepartment”(其他人的部门)等)。活动管理系统以列的形式列出具有这些KPI的每个服务管理者/监管者例如，位置、合同销售收入、合同利润、合同利润率、保证销售收入、保证利润、保证利润率、已支付服务销售收入、已支付服务利润、已支付服务利润率、超时(OT)成本、迟的FCN、迟的系统接受、上报呼叫(calls)等。任何一列可向上或向下排序。列表可以过滤(包括日期范围)。(3)服务分析者对于较差绩效发起校正动作，对于异常绩效发起确认动作。活动管理系统可以提供建议。(4)如果服务管理者确定需要宣告确认动作，则服务管理者在活动管理系统中生成公告。
服务协议KPI分析根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行服务协议KPI分析的方法可包括以下步骤(1)活动管理系统生成服务协议KPI仪表板。(2)服务操作者(例如服务分析者)分析活动管理系统中的服务协议KPI仪表板的绩效。服务分析者选择服务协议KPI仪表板的类型(例如，例如，“All”、“Product-Specific”、“Company-Specific”等)。活动管理系统以列的形式列出具有这些KPI的每个服务部件例如，销售收入、利润、利润率、零件成本、人工小时成本、呼叫、上报呼叫、修理时间、停机时间等。任何一列可向上或向下排序。列表可以过滤(包括日期范围)。(3)服务分析者对于较差绩效发起校正动作，对于异常绩效发起确认动作。活动管理系统可以提供建议。(4)如果服务操作者(例如服务管理者)确定需要宣告校正动作或确认动作(例如，服务协议被取消)，则服务管理者在活动管理系统中生成公告。
服务工作者KPI分析根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行服务工作者KPI分析的方法可包括以下步骤(1)活动管理系统生成服务协议KPI仪表板。(2)服务操作者(例如服务分析者)分析活动管理系统中的服务工作者KPI仪表板的绩效。服务分析者选择服务工作者KPI仪表板的类型(例如，“All”、“Me”、“My Direct Reports”、“MyDepartment”、“Other Person’s Direct Reports”、“Other Person’sDepartment”等)。活动管理系统以列的形式列出具有这些KPI的每个服务工作者例如，位置、shotguns、无效校正动作、部门费用、迟的零件处置、机器劳动力人工小时、OT小时、可支付小时、IOE、呼叫、最终测试、启动、清洗、PM、修理、上报呼叫等。任何一列可向上或向下排序。列表可以过滤(包括日期范围)。(3)服务分析者对于较差绩效发起校正动作，对于异常绩效发起确认动作。活动管理系统可以提供建议。(4)如果服务操作者(例如服务管理者)确定需要宣告确认动作，则服务管理者在活动管理系统中生成公告。
服务部件KPI分析根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行服务部件(例如，MS平台、MS工具等)KPI分析的方法可包括以下步骤(1)活动管理系统生成服务部件KPI仪表板。(2)服务操作者(例如服务分析者)分析活动管理系统中的服务部件KPI仪表板上的绩效。服务分析者选择服务部件KPI仪表板的类型(例如，“All”、“Product-Specific”、“Company-Specific”等)。活动管理系统以列的形式列出具有这些KPI的每个服务部件例如，合同销售收入、合同利润、合同利润率、合同零件成本、合同人工小时成本、保证销售收入、保证利润、保证利润率、保证零件成本、保证人工小时成本、已支付服务销售收入、已支付服务利润、已支付服务利润率、迟的FCN、系统接受情况延迟、呼叫、上报呼叫、修理时间、停机时间等。任何一列可向上或向下排序。列表可以过滤(包括日期范围)。(3)服务分析者对于较差绩效发起校正动作，对于异常绩效发起确认动作。活动管理系统可以提供建议。(4)如果服务操作者(例如服务管理者)确定需要宣告校正动作或确认动作(例如，机器被返回到工厂)，则服务管理者在活动管理系统中生成公告。
客户KPI分析根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行客户KPI分析的方法可包括以下步骤(1)活动管理系统生成客户KPI仪表板。(2)服务操作者(例如服务分析者)分析活动管理系统中的客户KPI仪表板的绩效。活动管理系统以列的形式列出具有这些KPI的每个客户例如，合同销售收入、合同利润、合同利润率、保证销售收入、保证利润、保证利润率、已支付服务销售收入、已支付服务利润、已支付服务利润率、OT成本、迟的FCN、迟的系统接受、上报呼叫等。任何一列可向上或向下排序。列表可以过滤(包括日期范围)。(3)服务分析者对于较差绩效发起校正动作，对于异常绩效发起确认动作。活动管理系统可以提供建议。(4)如果服务操作者(例如服务管理者)确定需要宣告校正动作或确认动作(例如，客户必须预先给出PO)，则服务管理者在活动管理系统中生成公告。
安全事件报告根据另一实施例，一种用于利用活动管理系统执行安全事件报告的方法可包括以下步骤(1)标识出安全事件发生。(2)服务操作者(例如安全事件报告者)在活动管理系统中生成安全事件系统任务。如果与个别服务任务相关(像在典型情况中一样)，则活动管理系统将安全事件与父任务相关联。(3)服务操作者将安全事件信息输入到活动管理系统中。(4)活动管理系统将安全事件报告转交(例如经由电子邮件)给服务提供者的安全官员(或环境、健康和安全组)。
服务部件操作、测试和变化根据另一实施例，一种用于准备服务部件操作、测试和变化的方法可包括以下步骤(1)服务操作者(例如服务设计者)生成MS零件的服务部件BOM以存档。MS零件必须是在其MS零件类型中已标记的产品。例如，产品#“B”，零件通用名“Telius Platform”，父产品#“A2”。服务设计者在活动管理系统中生成以该服务部件发起的新的服务部件测试名词(例如，“RF Forward Power Level”)。(2)服务设计者在活动管理系统中生成以该服务部件发起的新的改变动词(例如，“clean”、“lube”、“replace”等)和改变名词(例如，诸如“ESC”之类的MS零件类型或诸如“Matcher Mode”、“RF Forward PowerLevel”之类的功能)。(3)服务设计者在活动管理系统中生成以该服务部件发起的新的操作动词(例如，“edit”、“start”、“view”、“cycle”、“close”)和操作名词(例如，“machine”、“parameters”)。(4)服务设计者在活动管理系统中生成用于该服务部件的服务部件测试(例如，“Test Telius DRM RF Forward PowerLevel”)。测试可包括(一个或多个)KPI((一个或多个)规范)。KPI示例Power Meter Before Matcher to Power Setting目标--，单位瓦，低故障-3％，低警告--，高警告--，高故障+3％，意见无，应用UM。子KPI(对于诸如最终测试、启动、清洗、PM之类的特别应用有变化)目标1000，单位瓦，低故障-3％，低警告--，高警告--，高故障+3％，意见无，应用启动x，PM y。(5)服务设计者在活动管理系统中生成该服务部件的变化(例如，“Clean Telius DRM ESC”)。变化可包括建立、校正动作和预防性动作。(6)服务设计者在活动管理系统中生成用于该产品的操作(例如，“Create a New Process Recipe”)。
图19图示了可实现本发明实施例的计算机系统1201。计算机系统1201可用作图1的数据采集系统10、数据存储系统20、服务动作系统30或接口中的任何一个或其全部，以执行上述任何一种功能或全部功能。计算机系统1201包括用于传输信息的总线1202或其他通信机构，以及与总线1202相耦合用于处理信息的处理器1203。计算机系统1201还包括主存储器1204，如随机访问存储器(RAM)或其他动态存储设备(例如动态RAM(DRAM)、静态RAM(SRAM)和同步DRAM(SDRAM))，这些存储器耦合到总线1202，用于存储信息和处理器1203执行的指令。另外，主存储器1204可用于存储在处理器1203执行指令期间的临时变量或其他中间信息。计算机系统1201还包括只读存储器(ROM)1205或其他静态存储设备(例如，可编程ROM(PROM)、可擦写PROM(EPROM)和电可擦写PROM(EEPROM))，这些设备耦合到总线1202，用于存储静态信息和处理器1203的指令。
计算机系统1201还包括盘控制器1206，盘控制器1206耦合到总线1202以控制用于存储信息和指令的一个或多个存储设备，如磁硬盘1207和可移动介质驱动器1208(例如，软盘驱动器、只读光盘驱动器、读/写光盘驱动器、光盘机、磁带驱动器和可移动磁光驱动器)。存储设备可以利用合适的设备接口(例如，小型计算机系统接口(SCSI)、集成电子设备(IDE)、增强IDE(E-IDE)、直接存储器访问(DMA)或Ultra-DMA)添加到计算机系统1201上。
计算机系统1201还可以包括专用逻辑器件(例如，专用集成电路(ASIC))或可配置逻辑器件(例如，简单可编程逻辑器件(SPLD)、复杂可编程逻辑器件(CPLD)和现场可编程门阵列(FPGA))。计算机系统还可以包括一个或多个数字信号处理器(DSP)，例如来自TexasInstruments的TMS320系列芯片，来自Motorola的DSP56000、DSP56100、DSP56300、DSP56600和DSP96000系列芯片，来自LucentTechnologies的DSP1600和DSP3200系列，或者来自Analog Devices的ADSP2100和ADSP21000系列。也可以使用其他专门设计用来处理已被转换到数字域的模拟信号的处理器。
计算机系统1201还可以包括耦合到总线1202以控制显示器1210(例如阴极射线管(CRT))的显示控制器1209，显示器1210用于向计算机用户显示信息。计算机系统包括诸如键盘1211和点选设备1212之类的输入设备，其用于与计算机用户交互并向处理器1203提供信息。点选设备1212例如可以是鼠标、跟踪球、或点选杆，用于将方向信息和命令选择传输到处理器1203并用于控制显示器1210上光标的移动。另外，打印机可以提供计算机系统1201存储和/或生成的数据的打印列表。
响应于处理器1203执行包含在存储器(例如主存储器1204)中的一条或多条指令的一个或多个序列，计算机系统1201执行本发明的处理步骤中的一部分或全部。这些指令可以从另一种计算机可读介质(例如硬盘1207或可移动介质驱动器1208)读取到主存储器1204中。也可以采用多处理配置中的一个或多个处理器来执行包含在主存储器1204中的指令序列。在替换实施例中，硬连线电路可用来替代软件指令或与软件指令相组合使用。从而，实施例并不限于硬件电路和软件的任何特定组合。
如上所述，计算机系统1201包括至少一个计算机可读介质或存储器，其用于保存根据本发明的教导编程的指令，并用于保存数据结构、表、记录或这里所述的其他数据。计算机可读介质的示例是光盘、硬盘、软盘、磁带、磁光盘、PROM(EPROM、EEPROM、快闪EPROM)、DRAM、SRAM、SDRAM、或任何其他磁介质、光盘(例如，CD-ROM)、或任何其他光介质、穿孔卡片、纸带、或其他具有孔图案的物理介质、载波(将在下面描述)、或计算机可以读取的任何其他介质。
本发明包括存储在计算机可读介质中的任何一种或其组合上的软件，该软件用于控制计算机系统1201，驱动一个或多个设备以实现本发明，并且使计算机系统1201能够与人类用户交互(例如，打印产品人员)。这种软件可以包括但不限于设备驱动、操作系统、开发工具和应用软件。这种计算机可读介质还包括本发明的计算机程序产品，其用于执行在实现本发明时所执行的处理中的一部分(如果处理是分布式的话)或全部。
本发明的计算机代码设备可以是任何可解释或可执行的代码机制，包括但不限于脚本、可解释程序、动态链接库(DLL)、Java类和完全可执行程序。而且，本发明的处理的一些部分可以是分布式的，以实现更好的性能、可靠性和/或成本。
这里所用的术语“计算机可读介质”指参与向处理器1203提供指令以用于执行的任何介质。计算机可读介质可以采取许多形式，包括但不限于非易失性介质、易失性介质和传输介质。非易失性介质例如包括光盘、磁盘和磁光盘，例如硬盘1207或可移动介质驱动器1208。易失性介质包括动态存储器，如主存储器1204。传输介质包括同轴电缆、铜线和光纤，包括构成总线1202的线路。传输介质还可以采取声波或光波的形式，如在无线电波和红外数据通信期间生成的波。
各种形式的计算机可读介质可用来向处理器1203提供一条或多条指令的一个或多个序列以用于执行。例如，指令可以首先在远程计算机的磁盘上执行。远程计算机可以将用于实现本发明的全部或一部分的指令远程地加载到动态存储器中，并利用调制解调器经由电话线发送指令。在计算机系统1201本地的调制解调器可以在电话线上接收数据，并使用红外发送器将数据转换为红外信号。耦合到总线1202的红外检测器可以接收红外信号中承载的数据，并将数据放在总线1202上。总线1202将数据传输到主存储器1204，处理器1203从主存储器1204取得并执行指令。主存储器1204接收的指令可选地可以在由处理器1203执行之前或之后被存储在存储设备1207或1208上。
计算机系统1201还包括耦合到总线1202的通信接口1213。通信接口1213提供耦合到网络链路1214的双向数据通信，网络链路1214例如连接到局域网(LAN)1215，或者连接到诸如互联网之类的另一通信网络1216。例如，通信接口1213可以是附接到任何分组交换LAN的网络接口卡。作为另一示例，通信接口1213可以是提供到相应类型的通信线路的数据通信连接的非对称数字订户线路(ADSL)卡、集成服务数字网络(ISDN)卡或调制解调器。也可以实现无线链路。在任何一种实现方式中，通信接口1213发送并接收电的、电磁的或光信号，这些信号承载了代表各种类型信息的数字数据流。
网络链路1214一般提供经过一个或多个网络到其他数据设备的数据通信。例如，网络链路1214可以提供经过本地网络1215(例如，LAN)或者经过由服务供应商运行的设备到另一计算机的连接，服务供应商提供经过通信网络1216的通信服务。本地网络1215和通信网络1216例如使用承载了数字数据流的电的、电磁的或光信号以及相关联的物理层(例如，CAT 5电缆、同轴电缆、光纤等)。经过各种网络的信号和在网络链路1214上并且经过通信接口1213的信号(其承载了去往和来自计算机系统1201的数字数据)可以以基带信号、或基于载波的信号的形式来实现。基带信号将数字数据以无调制的电脉冲形式传送，这种电脉冲描述了数字数据比特流，其中术语“比特”应广义理解为符号，每个符号传送至少一个或多个信息位。数字数据也可用来调制载波，例如以幅移键控、相移键控和/或频移键控信号来调制，这些信号在传导介质上传播，或者以电磁波的形式经过传播介质来发送。从而，数字数据可以经由“有线”通信信道以无调制的基带数据的形式发送，以及/或者通过调制载波在不同于基带的预定频带内发送。计算机系统1201可以经由(一个或多个)网络1215和1216、网络链路1214和通信接口1213发送和接收包括程序代码的数据。而且，网络链路1214可以提供经由LAN 1215到移动设备1217的连接，移动设备1217例如是个人数字助理(PDA)、膝上型计算机或蜂窝电话。
尽管以上仅仅详细描述了该发明的某些示例性实施例，但是本领域技术人员很容易理解，在不实质上脱离本发明的新颖教导和优点的前提下可以对示例性实施例进行许多修改。因此，所有这些修改都应当包括在本发明的范围内。
权利要求
1.一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统，包括被配置为接收与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一个有关的服务活动数据的数据采集系统；耦合到所述数据采集系统并被配置为存储所述服务活动数据的数据存储系统；以及耦合到所述数据采集系统和所述数据存储系统的服务动作系统，所述服务动作系统被配置为通过执行多种服务功能中的至少两种而利用所述服务活动数据提供服务动作数据，所述多种服务功能包括提供服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载、提供服务教学以及提供服务协作。
2.如权利要求1所述的活动管理系统，其中，所述多种服务功能还包括设置项目动作计划、设置客户动作计划、设置服务部件操作、测试和校正动作、设置服务部件文档、设置上报热点板、设置关键分数指标仪表板、准备报告、设置规程、设置工作描述、设置桌面帮助动作计划、设置雇员动作计划、定义服务协议以及定义服务部件。
3.如权利要求1所述的活动管理系统，其中，所述服务部件包括制造系统平台、制造系统工具和制造系统零件中的至少一种。
4.如权利要求3所述的活动管理系统，其中，所述制造系统平台包括群集工具配置和串列工具配置中的至少一种。
5.如权利要求4所述的活动管理系统，其中，所述制造系统工具包括蚀刻系统、沉积系统、跟踪系统、热系统、离子注入系统、光刻系统、平坦化系统、度量系统和测试系统中的至少一种。
6.如权利要求4所述的活动管理系统，其中，所述制造系统零件包括消耗品零件和非消耗品零件中的至少一种。
7.如权利要求1所述的活动管理系统，其中，所述服务账目包括服务合同、服务保证和制造系统部门中的至少一种。
8.如权利要求1所述的活动管理系统，其中，所述数据采集系统、所述数据存储系统和所述数据动作系统被配置为基于web的软件应用和可下载的客户端软件应用中的至少一种。
9.如权利要求1所述的活动管理系统，还包括操作者界面，所述操作者界面被耦合到所述数据采集系统，并被配置为提供用于所述服务操作者将所述服务活动数据输入到所述数据存储系统的界面，并且被耦合到所述服务动作系统，并被配置为提供用于所述服务操作者从所述数据动作系统提取所述服务动作数据的界面。
10.如权利要求9所述的活动管理系统，其中，所述操作者界面包括图形用户界面。
11.如权利要求1所述的活动管理系统，其中，所述数据动作系统被配置为通过执行互动案例研究来执行所述服务部件修理。
12.如权利要求11所述的活动管理系统，其中，所述服务动作系统通过将所述服务部件的当前服务活动数据与被存储在所述数据存储系统中的所述服务活动数据相匹配，提供对于所述服务部件的测试和对于所述服务部件的校正动作中的至少一种。
13.如权利要求12所述的活动管理系统，其中，所述服务动作系统被配置为提供用于所述测试的规程。
14.如权利要求12所述的活动管理系统，其中，所述服务动作系统被配置为提供用于所述校正动作的规程。
15.如权利要求12所述的活动管理系统，其中，所述服务部件包括制造系统工具，并且所述校正动作包括所述制造系统工具中的制造系统零件的更换。
16.如权利要求15所述的活动管理系统，其中，所述活动管理系统被配置为跟踪第一制造系统零件和第二制造系统零件，所述第一制造系统零件更换所述制造系统工具中的所述第二制造系统零件。
17.如权利要求12所述的活动管理系统，其中，所述服务动作系统通过将来自所述测试的结果与被存储在所述数据存储程序中的所述服务活动数据相匹配，利用所述结果来提供对于所述服务部件的另一测试和对于所述服务部件的另一校正动作中的至少一种。
18.如权利要求3所述的活动管理系统，其中，所述服务部件包括具有一个或多个制造系统零件的制造系统工具，并且所述服务动作系统被配置为将所述一个或多个制造系统零件与所述制造系统工具相关联。
19.如权利要求2所述的活动管理系统，其中，所述数据采集系统被配置为对于雇员动作计划、客户动作计划和项目动作计划中的至少一种，允许第一服务操作者对第二服务操作者指定任务。
20.如权利要求2所述的活动管理系统，其中，所述服务动作系统被配置为向第一操作者提供服务动作数据，以便评估第二服务操作者的绩效。
21.一种使用活动管理系统来辅助执行与半导体制造有关的服务动作的方法，包括提供被配置为与服务操作者互动并且采集来自所述服务操作者的服务活动数据的数据采集系统，其中所述服务活动数据与服务操作者、服务部件和服务账目中的至少一个相关联；提供耦合到所述数据采集系统并且被配置为存储所述服务活动数据的数据存储系统；提供耦合到所述数据采集系统和所述数据存储系统的服务动作系统，所述服务动作系统被配置为与所述服务操作者互动，以利用存储在所述数据存储系统中的所述服务活动数据向所述服务操作者提供服务动作数据，以便执行多种服务功能中的至少两种，所述多种服务功能包括提供服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载、提供服务教学以及提供服务协作；以及利用所述服务动作数据来执行服务动作。
22.一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统，包括被配置为采集与半导体制造服务有关的服务活动数据的数据采集系统；耦合到所述数据采集系统并被配置为存储所述服务活动数据的数据存储系统；以及耦合到所述数据采集系统和数据存储系统的服务动作系统，所述服务动作系统被配置为执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能，以便辅助服务操作者执行服务动作。
23.如权利要求22所述的活动管理系统，其中，所述数据采集系统被配置为通过手工输入采集所述服务活动数据。
24.如权利要求22所述的活动管理系统，其中，所述数据采集系统被配置为通过自动输入采集所述服务活动数据。
25.如权利要求22所述的活动管理系统，其中，所述数据采集系统被配置为采集与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一种有关的服务活动数据。
26.如权利要求22所述的活动管理系统，其中，所述数据存储系统存储与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一种相关联的所述服务活动数据。
27.如权利要求22所述的活动管理系统，其中，所述服务动作系统被配置为通过执行服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载以及提供服务教学中的至少一种，来执行所述服务部件服务功能。
28.如权利要求22所述的活动管理系统，其中，所述服务动作系统被配置为通过允许服务操作者执行以下步骤来执行所述非服务部件服务功能与项目动作计划或客户动作计划交互；集成新的测试或校正动作，或者修改当前的测试或校正动作；输入与制造系统平台、制造系统工具、制造系统零件或制造系统服务协议有关的新文档；检查、输入或修改上报热点板；访问关键绩效指标仪表板、报告、规程、工作描述、桌面帮助动作计划、雇员动作计划或文件；与其他服务操作者协作；或者访问与制造系统服务协议、制造系统平台和制造系统工具以及制造系统零件有关的信息。
29.如权利要求22所述的活动管理系统，其中，所述服务动作系统还被配置为提供所述服务操作者用来执行服务动作的服务动作数据。
30.一种使用计算机系统来管理与半导体制造有关的服务活动的方法，包括使用所述计算机系统来采集与半导体制造服务有关的服务活动数据；使用所述计算机系统来存储所述服务活动数据；以及使用所述计算机系统来执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能；以及基于所述服务部件或非服务部件服务功能的结果执行服务动作。
31.如权利要求30所述的方法，其中，所述采集所述服务活动数据包括手工输入。
32.如权利要求30所述的方法，其中，所述采集所述服务活动数据包括自动输入。
33.如权利要求30所述的方法，其中，所述采集包括采集与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一种有关的服务活动数据。
34.如权利要求30所述的方法，其中，所述存储包括存储与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一种相关联的所述服务活动数据。
35.如权利要求30所述的方法，其中，所述执行服务部件服务功能包括提供服务动作数据以促进服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载以及提供服务教学中的至少一种。
36.如权利要求30所述的方法，其中，执行所述非服务部件服务功能包括提供服务动作数据以允许服务操作者与项目动作计划或客户动作计划交互；集成新的测试或校正动作，或者修改当前的测试或校正动作；输入与制造系统平台、制造系统工具、制造系统零件或制造系统服务协议有关的新文档；检查、输入或修改上报热点板；访问关键绩效指标仪表板、报告、规程、工作描述、桌面帮助动作计划、雇员动作计划或文件；与其他服务操作者协作；或者访问与制造系统服务协议、制造系统平台和制造系统工具以及制造系统零件有关的信息。
37.一种包含用于在处理器上执行的程序指令的计算机可读介质，所述程序指令当被所述处理器执行时，使得计算机系统执行如权利要求30中所述的方法中的步骤。
38.一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统，包括用于采集与半导体制造服务有关的服务活动数据的装置；耦合到所述用于采集的装置的用于存储所述服务活动数据的装置；以及耦合到所述用于采集的装置和所述用于存储的装置的用于执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能以便辅助服务操作者执行服务动作的装置。
全文摘要
描述了一种用于半导体制造中的服务过程的活动管理系统及其使用方法。该活动管理系统包括数据采集系统，其被配置为接收与至少一个服务部件和服务操作者相关联的服务活动数据，并将服务活动数据与至少一个服务账目相关。另外，该活动管理系统包括耦合到数据采集系统并被配置为存储服务活动数据的数据存储系统。此外，活动管理系统包括耦合到数据采集系统和数据存储系统的服务动作系统，其被配置为执行至少一种服务功能，这些服务功能包括服务部件修理、服务部件启动、服务部件预防性维护、服务部件清洗、服务部件修正(例如，现场变化通知)、服务部件增强(例如，连续改进通知)、服务部件卸载、客户动作计划、项目动作计划和服务教学。
文档编号G06Q10/00GK1942888SQ200580008281
公开日2007年4月4日 申请日期2005年2月7日 优先权日2004年3月15日
发明者埃里克·考夫曼, 保罗·布朗 申请人:东京毅力科创株式会社