专利名称：光记录媒体母盘的制作方法及制作装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及光盘等光记录媒体制造用的母盘的制作方法，特别是，适于具有不同纹道间距的多个信号区域的光记录媒体母盘的制作方法，以及它的制作装置。
最近，本发明者为使在这些多个区域的边界，连续平滑地再现或记录再现，正在研究将多个区域间的纹道连接，使之连续。在此情况下，需要母盘的记录，即使在区域切换时也不停止向母盘的曝光处理，配合各自区域的记录的进行，一边切换纹道间距，一边继续曝光处理记录。
而且，纹道间距的切换，必须在各区域间的设定范围内完成，另外，必须与形成各区域纹道用的信号同步进行。
根据本发明的光记录媒体母盘的制作方法，用于母盘制作的盘片基板，对应于形成预定信号区域用的信号，产生经调制或偏转的记录光，在涂敷有感光材料的旋转的所述基板上，一边使所述记录光向所述盘片基板的半径方向移动一边进行照射，为形成所述信号区域进行曝光处理；为进行此曝光处理的所述记录光的照射中，按照要在所述信号区域中形成的纹道间距进行控制，使所述盘片基板的旋转速度与所述记录光的移动速度保持预定的关系。
另外，作为形成所述预定信号区域用的信号，使用对应于纹道间距不同的多个信号区域的信号，按照对应于所述多个信号区域的信号，连续调制或偏转所述记录光并照射到所述盘片基板上，当形成的所述信号区域切换到不同种类的信号区域时，基于应切换的所述信号区域中的纹道间距，改变所述盘片基板的旋转速度与所述记录光移动速度之间的关系，从而变更所述纹道间距。
本发明的记录媒体母盘的制作装置设有以下部分提供对应于用以形成纹道间距不同的多个信号区域的信号的调制或偏转信号的信号产生部分；基于所述信号产生部分提供的所述信号，产生经调制或偏转的记录光的激光光源部分；使盘片基板旋转的旋转台；一边在半径方向移动所述旋转台，一边在所述盘片基板上引导所述激光光源部分产生的所述记录光进行曝光处理以形成纹道的记录光引导部分；以及根据所述信号产生部分提供的信号，控制所述旋转台的旋转速度与所述记录光引导部分的所述移动速度的控制部分。所述信号产生部分，将对应于纹道间距不同的所述多个信号区域的所述调制或偏转信号，在所述多个信号区域的范围连续提供给所述激光光源部分。所述控制部分，在形成的所述信号区域切换到不同种类信号区域的时候，基于应切换的所述信号区域的纹道间距，改变所述记录光引导部分的所述移动速度相对于所述旋转台的旋转速度的关系，从而变更所述纹道间距。
图2A～E是表示本发明实施例的光盘母盘制作方法的工序的剖面图。
图3是表示本发明实施例的光记录媒体母盘的记录装置的简明结构4是说明根据本发明实施例制作的光盘母盘纹道的模式平面图本发明特别适用于在盘片基板中形成纹道间距不同的多个信号区域的情况。本发明的特征是，在不同信号区域的边界部分，连续地形成间距不同的纹道。由此，用对应于纹道间距不同的多个信号区域的信号作为用于形成预定信号区域的信号，记录光根据此信号连续被调制或偏转，连续地在盘片基板上照射。形成的信号区域在切换到不同种类的信号区域时，基于应切换的纹道间距，使盘片基板的旋转速度与记录光的移动速度的关系改变。
根据此光记录媒体母盘的制作方法，对于纹道间距不同的多个信号区域，能容易地形成连续纹道。
上述的方法中，最好基于对应于所述多个信号区域的信号，产生表示纹道间距切换的切换信号，并按照所述切换信号，进行使所述盘片基板的旋转速度与所述记录光的移动速度的关系改变的处理。
并且，最好在所述信号区域切换时，使所述记录光的强度对应于所述各信号区域进行切换。
另外，也可以按照所述切换信号，使所述记录光的强度对应于所述各信号区域进行切换。
并且，也可以将对应于所述各信号区域的多个纹道间距的设定值预先存入存储装置中，按照所述切换信号，从所述设定值中选择对应于所述信号区域的纹道间距的设定值，并基于选择的设定值，改变所述盘片基板的旋转速度与所述记录光移动速度的关系。
或者，也可以将对应于所述各信号区域的多个记录光强度的设定值预先存入存储装置中，根据所述切换信号，从所述设定值中选择对应于所述信号区域的记录光强度的设定值，并基于选择的设定值，切换所述记录光的强度。
本发明的记录光媒体母盘的制作装置中最好还设有基于形成所述多个信号区域的信号，产生表示纹道间距切换的切换信号，并将此切换信号提供给所述控制部分的切换信号产生部分。所述控制部分，按照所述切换信号，进行使所述记录光引导部分的所述移动速度相对于所述旋转台的旋转速度的关系改变的处理，从而变更所述纹道间距。
并且，所述控制部分的结构可以这样设置存有多个纹道间距的设定值的纹道间距表，根据所述切换信号，从所述表中选择纹道间距的设定值，并基于此设定值，控制所述记录光引导部分的所述移动速度相对于所述旋转台旋转速度的关系。
并且，所述控制部分的结构可以这样设置存有多个记录强度的设定值的记录强度表，并根据来自所述信号产生部分的所述切换信号，从所述记录强度表中选择记录强度的设定值，并基于此设定值，控制记录强度。
根据本发明的光记录媒体的制造方法，由上述结构的光记录媒体母盘的制作方法制作光记录媒体母盘，并使用所述光记录媒体母盘制造光记录媒体。
本发明的光记录媒体母盘包括盘片基板，以及为在所述盘片基板表面上半径方向上形成多个纹道用凹凸形状配置的多个信号区域。而且，所述纹道横跨多个不同所述信号区域连续，同时所述各信号区域中形成的纹道的至少有一处相邻的所述各信号区域之间的间距互不相同。
该光记录媒体母盘可以具有这样的结构至少在两处，相邻的所述各信号区域之间的纹道间距互不相同。并且，在纹道间距互不相同的相邻的所述各信号区域间，纹道间距是连续变化的。
下面，参照附图就本发明实施例的光盘母盘的制作方法与制作装置进行说明。首先，参照
图1对用依据本实施例的方法制作的母盘制造的光盘进行概要说明。
该光盘可以具有这样的结构例如，尺寸为直径120mm，内径15mm，厚1.2mm，通过厚度为0.1mm的透明层，使用波长为405nm，数值孔径为0.85的光学头记录再现信息。作为光盘上记录了信息的信号区域，如图1所示，从内圆周侧开始设置BCA区域1、再现专用区域2和记录再现区域3。
在BCA区域1中，在从中心算起半径21mm到22mm的位置范围内，记录着被称为BCA(Burst Cutting Area)的条形码状的标记。再现专用区域2是在从中心算起的半径22.4mm到23.2mm的位置范围内，记录了光盘信息的再现专用区域。记录再现区域3是在从中心算起的半径23.2mm到58.6mm的范围内，记录再现信息的区域。但是，这些区域的位置半径值只是一例，也可采用这些区域各自有其它的半径位置的结构。
各区域中设置了预刻槽(未图示)，其纹道间距分别为BCA区域是2.0μm，再现专用区域是0.3μm，记录再现区域是0.32μm。
现在的DVD中，对于波长是650mm，数值孔径是0.60的光学头，纹道间距设定为0.74μm，对于上述光学头，如要与该波长和数值孔径对应，纹道间距最好大致设定在0.4μm以下。
在BCA区域1、再现专用区域2和记录再现区域3上，设置了相变记录膜。BCA区域1的条形码状的BCA4，可通过条形码状地设置相变记录膜中的结晶状态和非晶状态的两个区域来形成。再现专用区域2，作为表达数据的形态，例如，根据应记录信号，通过使预刻槽抖颤的形态来记录再现专用数据。再有，再现专用区域2中，也可以使用按照再现信号调制的预刻坑，来代替预刻槽。另外，再现专用区域2，不仅是再现专用目的区域，也可以包括进行补写或记录再现的区域。记录再现区域3中，作为表达地址信息的形态，通过使预刻槽偏摆来记录地址数据。再有，记录再现区域3中，不仅可用预刻槽，也可用预刻坑来记录信息。
BCA区域1和再现专用区域2之间，设置了纹道切换第一保护区5。在再现专用区域2和记录再现区域3之间，同样设置了纹道切换第二保护区6。
在第一保护区5中，纹道是连续的，从BCA区域1中的纹道间距2.0μm，到再现专用区域2中的纹道间距0.35μm，纹道间距是连续变化的。第二保护区6中的纹道也是连续的，从再现专用区域2中的纹道间距0.35μm，到记录再现区域3中的纹道间距0.32μm，纹道间距是连续变化的。
以上是本实施例相关的光盘的结构概要。
接着，相对于本发明实施例的光盘母盘的制作方法及制作装置，参照图2A～2E及图3进行说明。
如图2A所示，准备均匀涂敷了作为感光材料的正光刻胶10的玻璃盘片11。接着，如图2B所示，通过使用远紫外线激光(波长248nm)的激光记录装置(以下简称为LBR)12，使用产生与所要的预刻槽图案对应的信号的格式器传来的信号，对预刻槽图案进行曝光处理。用LRB12进行记录曝光处理，曝光处理在到达图1所示的记录再现区域3的外圆周半径处停止。由此，如图2C所示，所要的凹槽图案的潜像13记录在玻璃盘片上。接着，如图2D所示，一边使玻璃盘片旋转，一边从显影喷嘴14中喷出显影液进行显影，之后进行干燥。由此，如图2E所示，制作出形成了所要凹槽图案15的光盘母盘16。
下面，参照图3就图2B的工序中使用的LBR12的结构进行说明。LBR的组成部分包括将玻璃盘片11保持并旋转的转轴21，由线性电动机驱动在半径方向上移动的滑动部分22，控制它们的控制电路23，产生应记录信号的格式器24，以及激光光源部分25。
控制电路23包括CPU26，脉冲计数器27，滑动部分驱动器28，以及转轴驱动器29。CPU26通过滑动部分驱动器28控制滑动部分22的移动，并通过转轴驱动器29控制转轴21的转动。激光光源部分25包含激光器30和偏转元件31。根据格式器提供的信号，激光器30产生经调制的激光束，偏转元件31将激光器30产生的激光束偏转。从激光光源部分25输出的激光，通过滑动部分22，照射到玻璃盘片11上。
滑动部分22装有检测半径方向移动量的编码器(未图示)。随着滑动部分22在半径方向上移动，编码器每隔一定的距离间隔就产生脉冲，脉冲输出通过控制电路的脉冲计数器27来计数。脉冲计数器27的输出被输入到CPU26中。CPU26根据存储的脉冲发生间隔数据和由脉冲计数器27计数的脉冲数，可以检测出滑动部分在半径方向上的移动量，从而也可以检测出滑动部分22的移动速度。
滑动部分22的移动速度，相对于转轴21旋转速度根据纹道间距的设定值来决定。因此，CPU26控制滑动部分22的移动速度在设定的值。实际上，滑动部分22的驱动受到控制，以使脉冲计数器27的计数值是，相对于转轴21的旋转速度，与纹道间距的设定值相应的合适值。
格式器24，将构成与存储的预刻槽图案相应的信号的调制信号以及偏向信号，分别提供给激光器30及偏向元件31。按照在激光束曝光处理开始的同时由控制电路23的CPU26提供的开始信号S，开始这些信号的提供。依据预刻槽图案的信号与在光盘母盘上形成的各区域相对应，相互间不一样。格式器24，基于各区域不同的信号，将每个区域不同的识别信号，从第一输入端子32，第二输入端子33输出。第一与第二输出端子32、33，各自连接到控制电路23的第一与第二输入端子34、35。
例如，激光束曝光处理位置一进入图1所示的第一保护区5，第一输出端子32输出的识别信号就从低电平变为高电平，表示纹道间距切换定时的来临。曝光处理位置一进入到第二保护区6，第二输出端子33输出的识别信号就从低电平变为高电平，表示纹道切换定时的到来。每个电平一旦转变为高电平，在该区域的记录结束前，一直保持高电平。
控制电路23，分别判断第一输入端子34和第二输入端子35上的输入信号的电平是高电平还是低电平，以高电平为1、低电平为0，识别为2位的信号。如果用给各输入端子34、35的输入信号，分别作为第一输入信号与第二输入信号，则控制电路23有一个如表1所示的、对应于各输入信号值设定4种纹道间距和4种记录强度的表格。
表1
为了达到根据上述各输入信号值选择的纹道间距，切换控制电路23的脉冲计数器27应检出的脉冲数，由此，纹道间距就作了切换。
在曝光处理时，格式器24最初，第一输出端子32和第二输出端子33二者都输出低电平信号(00b)。滑动部分22，从玻璃盘片11上的适当确定的位置开始移动而开始曝光处理。随着滑动部分22的移动，从相当于BCA区域1的内圆周半径或其内侧的位置开始，以表1中与(00b)相对应的设定值2.0μm的纹道间距开始曝光处理记录凹槽。
对应于格式器24输出的预刻槽图案的信号，成为与第一保护区5相当的信号时，第一输出端子32就从0变成1，由此，控制电路23第一输入端子34也从0变成1。因此，控制电路23的纹道间距的设定值切换到与(10b)对应的纹道间距0.35μm，同时，纹道的曝光处理切换到再现专用区域2中的纹道间距0.35μm。这样，在第一保护区5中的纹道间距纹道不中断地发生变化，之后的再现专用区域2中纹道的曝光处理与第二纹道间距一样进行。
图4是表示在第一保护区5中连续切换纹道间距而形成的纹道的情况的模式图。图中表示了在第一保护区5，控制电路23的第一输入端子34从0变到1的点开始的作为转变区间T表示的多条纹道之间，不使纹道中断，而是让纹道间距从2.0μm到0.35μm连续地进行变化的情况。
同样地，在第二保护区6中，格式器24使第二输出端子33从0变到1。由此，控制电路23的第二输入端子35也从0变到1，选择对应于(11b)的纹道间距0.32μm，纹道的曝光处理切换到记录再现区域3中的纹道间距0.32μm。这样，即使在第二保护区6中，也是纹道不中断地进行纹道间距的改变。之后的记录再现区域3中的纹道曝光处理，以纹道间距0.32μm一样地进行。
如图4所示，在纹道间距的切换连续进行的转变区间T中包含的纹道的条数，可通过对应于滑动部分22的移动速度的控制电路23的反馈控制的响应速度的设定来调整。转变区间T中包含的纹道的条数，可根据各种条件进行合适的设定。但是，此纹道数越多，不能用来记录信号的纹道也增多，会使记录密度变低，因此，最好将上限设为130条。下限即使是0条，在理论上也没有问题，但是控制电路23的控制上就难以实现，所以并不实用。因此，下限最好设为2条。
并且，纹道间距切换的位置，最好如图4所示，将与光盘上保护区对应的半径方向区域的中央部分设置为转变区间T。
并且，LBR12不仅切换纹道间距，还可使之具有如表1所示的同时切换记录强度设定值的功能。因此，通过给各区域的记录预先设定最合适的记录强度，就可以在第一保护区5与第二保护区6中，与格式器24的信号同步地同时切换纹道间距和记录强度。由此，各区域能够以合适的宽度记录凹槽，从而使制作出的光盘的性能得到改善。
还有，全部多个区域的纹道间距没有必要都互不相同，在只有一部分区域的相邻区域间的纹道间距不同的场合，本发明也可适用。这种场合，例如，相对于纹道间距在区域间不变化，而只设定所要凹槽的宽度可变化的部分，使用所述切换信号，可以只切换记录强度。对于至少有两处相邻区域间纹道间距不同的场合，本发明特别有效。
再有，可以在第一输出端子32和第一输入端子34，以及第二输出端子33和第二输入端子35之间，根据各自设置的延迟电路，不变更格式器24地调整切换纹道间距的定时。并且，也可以在格式器24或控制电路23中预先内置延迟电路，同样地实现对纹道间距切换的定时调整。
并且，上述实施例中给出的是关于母盘记录时两次切换纹道间距的示例，但是，也有根据光记录媒体的格式而需要切换次数更多的情况。此时，通过增加控制电路23和格式器24之间的切换信号数，并随之增加控制电路23的表格中的纹道间距和记录强度设定值的种类，能够如上述说明的那样应付纹道间距的切换问题。
权利要求
1.一种光记录媒体母盘的制作方法，其中根据用以在母盘制作用的盘片基板上形成预定的信号区域的信号，产生调制或偏向的记录光，在涂敷有感光材料的旋转的所述盘片基板上，一边将所述记录光向所述盘片基板的半径方向移动一边进行照射，进行为形成所述信号区域的曝光，在为该曝光进行的所述记录光的照射中，根据在所述信号区域中形成的纹道的间距进行控制，以使所述盘片基板的旋转速度和所述记录光的移动速度达到预定的关系；其特征在于用对应于纹道间距不同的多个信号区域的信号，作为形成所述预定信号区域用的信号；所述记录光，根据对应于所述多个信号区域的信号被连续地调制或偏向后照射到所述盘片基板上；当形成的所述信号区域切换到不同种类的信号区域时，基于应切换的所述信号区域中的纹道间距，使所述盘片基板的旋转速度和所述记录光的移动速度的关系变化，从而改变所述纹道间距。
2.如权利要求1所述的光记录媒体母盘的制作方法，其特征在于基于对应于所述多个信号区域的信号，产生表示纹道间距切换的切换信号，并根据所述切换信号，进行使所述盘片基板的旋转速度和所述记录光的移动速度的关系变化的处理。
3.如权利要求1所述的光记录媒体母盘的制作方法，其特征在于在所述信号区域切换时，还使所述记录光的强度对应于所述各信号区域进行切换。
4.如权利要求2所述的光记录媒体母盘的制作方法，其特征在于还根据所述切换信号，使所述记录光的强度对应于所述各信号区域进行切换。
5.如权利要求2所述的光记录媒体母盘的制作方法，其特征在于将对应于所述各信号区域的多个纹道间距的设定值预先存入存储装置，根据所述切换信号，从所述设定值中选择对应于所述信号区域的纹道间距设定值，并基于选择的设定值，使所述盘片基板的旋转速度和所述记录光的移动速度的关系变化。
6.如权利要求4所述的光记录媒体母盘的制作方法，其特征在于将对应于所述各信号区域的多个记录光强度的设定值预先存入存储装置，根据所述切换信号，从所述设定值中选择对应于所述信号区域的记录光强度的设定值，并基于选择的设定值，切换所述记录光的强度。
7.一种光记录媒体母盘的制作装置，其中设有供给基于形成纹道间距不同的多个信号区域的信号的调制或偏向信号的信号产生部分；产生基于所述信号产生部分供给的所述信号调制或偏向的记录光的激光光源部分；使盘片基板旋转的旋转台；一边在所述旋转台的半径方向移动一边在所述盘片基板上引导所述激光光源部分产生的记录光，进行形成纹道的曝光的记录光引导部分；以及根据所述信号产生部分供给的信号，控制所述旋转台的旋转速度和所述记录光引导部分的所述移动的速度的控制部分；其特征在于所述信号产生部分，将对应于纹道间距不同的所述多个信号区域的所述调制或偏向信号，在所述多个信号区域的范围内连续地供给给所述激光光源部分。所述控制部分，在形成的所述信号区域切换到不同种类信号区域时，基于应切换的所述信号区域的纹道间距，使所述记录光引导部分的所述移动的速度相对于所述旋转台的旋转速度的的关系改变，从而改变所述纹道间距。
8.如权利要求7所述的光记录媒体母盘的制作装置，其特征在于还设有基于形成所述多个信号区域的信号，产生表示纹道间距切换的切换信号，并将该切换信号供给给所述控制部分的切换信号产生部分；所述控制部分，根据所述切换信号，进行使所述记录光引导部分的所述移动的速度相对于所述旋转台的旋转速度的关系改变的处理，从而改变所述纹道间距。
9.如权利要求8所述的光记录媒体母盘的制作装置，其特征在于所述控制部分，含有保存多个纹道间距的设定值的纹道间距表，根据所述切换信号，从所述表中选择纹道间距的设定值，并基于该设定值，控制所述记录光引导部分的所述移动的速度相对于所述旋转台的旋转速度的关系。
10.如权利要求8所述的光记录媒体母盘的制作装置，其特征在于所述控制部分，含有保存多个记录强度设定值的记录强度表，并根据所述信号产生部分的所述切换信号，从所述记录强度表中选择记录强度的设定值，并基于该设定值控制记录强度。
11.用权利要求1所述的光记录媒体母盘的制作方法制作光记录媒体母盘，并使用所述光记录媒体母盘制造光记录媒体的光记录媒体的制造方法。
12.一种光记录媒体母盘，其特征在于包含盘片基板和在所述盘片基板表面上用凹凸形状在半径方向上形成多个纹道的方式配置的多个信号区域；所述纹道横跨不同的多个所述信号区域连续，同时所述各信号区域中形成的纹道至少有一处相邻的所述各信号区域之间的间距互不相同。
13.如权利要求12所述的光记录媒体母盘，其特征在于至少有两处，相邻的所述各信号区域之间的纹道间距互不相同。
14.如权利要求12所述的光记录媒体母盘，其特征在于在纹道间距互不相同的相邻的所述各信号区域之间，纹道间距连续地变化。
全文摘要
产生用于在母盘制作的盘片基板上形成预定信号区域而被调制或偏向的记录光，在涂敷有感光材料的旋转的所述基板上，一边使所述记录光在半径方向移动一边进行照射。在所述记录光的照射中，根据所述信号区域中的纹道间距进行控制，以使所述盘片基板的旋转速度与所述记录光的移动速度达到预定的关系。使用对应于纹道间距不同的多个信号区域的信号，所述记录光根据该信号被连续地调制或偏向，并照射在所述盘片基板上。当所述信号区域切换时，基于下一所述信号区域中的纹道间距，改变所述盘片基板的旋转速度与所述记录光的移动速度的关系，从而改变所述纹道间距。
文档编号G11B7/007GK1445771SQ0310746
公开日2003年10月1日 申请日期2003年3月17日 优先权日2002年3月15日
发明者阿部伸也, 佐藤秀二 申请人:松下电器产业株式会社