专利名称：用碳纳米管形成半导体装置用导电线的方法及半导体装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种形成用于半导体装置的导电线的方法，尤其涉及一种使用碳纳米管来形成用于半导体装置的导电线的方法。本发明也涉及使用该方法制造的半导体装置。
背景技术：
现在有很多不同种类的半导体装置，尤其是一些半导体存储器，如DRAM(Dynamic Random Access Memory，动态随机存取存储器，动态RAM)，SRAM(静态RAM)，PRAM(Phase-change RAM，相变RAM)以及MRAM(Magnetic RAM，磁性RAM)。在这些半导体存储装置中，MOS(Metal Oxide Semiconductor，金属氧化物半导体)晶体管通常被用来作为开关元件。除此之外，半导体存储器还配备有导电线，如接触和互联，以作为电子迁移的路径。
近来，由于半导体存储器的高度集成化，导电线的宽度减小而每单位表面积的电流强度即电流密度增大了。基于这种考虑，可以预见半导体装置用导电线的电流密度在2010年左右将达到106A/cm2。
而且，在传统的半导体装置中主要使用的是金属导电线。公知的是金属导电线的最小宽度是70nm，其最大电流密度大约是106A/cm2。半导体装置的高度集成化需要减小导电线的宽度和增加其电流密度。然而，由于前述原因，在不久的将来，可以预见使用金属导电线的半导体装置将要受到集成化的限制。
因此，为了持续获得半导体装置的高度集成化，就需要开发用于导电线的新材料，即使这种新材料的宽度小于金属导电线的宽度也能提供高电流密度。
发明内容
本发明提供一种形成用于半导体装置的导电线的方法，包括在一电极的表面上生长一碳纳米管，这使得实现半导体装置的高度集成化成为可能。
本发明还提供了能够高度集成化的一半导体装置，该半导体装置具有由使用前述方法形成的碳纳米管构成的导电线。
根据本发明的第一方面，提供一种形成用于半导体装置的导电线的方法，该方法包括(a)使用表面预处理方法活化半导体装置的电极表面；(b)在该电极表面上形成一绝缘层，并以这样一种方式在该绝缘层中形成一接触孔，即使得电极的部分活化表面暴露在外；和(c)通过接触孔向电极的活化表面通入含碳元素的气体，以在电极的活化表面上生长一碳纳米管，该碳纳米管形成导电线。
根据本发明的一个特定实施例，在步骤(a)中，可以通过在300～700℃温度范围向电极表面通入至少一种预处理气体，该气体可以是氮气(N2)、氩气(Ar)及氨气(NH3)，以将电极表面活化成多孔状态。
在步骤(a)中，可以通过使得电离化了的Ar气或N2气与电极表面发生相互碰撞来将电极表面活化成多孔状态。在这种情况下，步骤(a)可以在室温下完成。
在步骤(b)中，绝缘层可由氧化物制成，接触孔的直径大小可从几个nm到几十nm。
步骤(c)可以通过热化学气相沉积或等离子增强化学气相沉积在500～900℃温度范围下进行。
在步骤(c)中，含碳气体可以从以下气体中任意选择至少一种CH4，C2H2，C2H4，C2H6，CO及CO2。这些含碳气体可以和H2、N2及Ar中的至少一种一起注入。
根据本发明的第二方面，提供一种形成用于半导体装置的导电线的方法，该方法包括(a)在半导体装置的电极表面上形成一催化金属层；(b)在催化金属层上形成一绝缘层，并在该绝缘层中形成一接触孔，而使得部分催化金属层暴露在外；和(c)通过接触孔向催化金属层通入含碳元素的气体，以在催化金属层上生长碳纳米管，该碳纳米管形成导电线。
根据本发明的一具体实施例，在步骤(a)中，催化金属层可以通过采用射频(RF)磁控溅射或电子束蒸发法在电极表面上沉积预定厚度催化金属的方式来实现。
可替换的，在步骤(a)中，催化金属层可以通过在电极表面上喷涂预定厚度催化金属粉末的方式来实现。
在步骤(a)中，催化金属层可以由以下过渡金属中的至少一种来制成，即W、Ni、Fe、Co、Y、Pd、Pt及Au。
在步骤(b)中，绝缘层可由氧化物制成，接触孔的直径大小可从几个nm到几十个nm。
步骤(c)可以通过热化学气相沉积或等离子增强化学气相沉积在500～900℃温度范围下实现。
在步骤(c)中，含碳气体可以从以下气体中任意选择至少一种CH4，C2H2，C2H4，C2H6，CO及CO2。这些含碳气体可以和H2、N2及Ar中的至少一种一起注入。
根据本发明的第三方面，提供一种半导体装置，包括衬底；形成在衬底上的电极；形成于电极表面上的多孔活化层；形成于活化层上的一绝缘层，该绝缘层具有一使得部分活化层暴露的接触孔；生长于接触孔内的活化层上的碳纳米管，该碳纳米管形成一作为电子迁移路径的导电线；以及一形成于绝缘层上并与碳纳米管之间呈电连接的存储薄膜。
根据本发明的一具体实施例，活化层的形成可以采用和本发明第一方面相同的方法。
衬底可以由硅或氧化物来制成，电极可以是MOSFET(Metal OxideSemiconductor Field Effect Transistor，金属氧化物半导体场效应晶体管)源电极，所述存储薄膜可以由相变材料制成。
根据本发明的第四方面，提供一种半导体装置，包括衬底；形成在衬底上的电极；形成于电极表面上的催化金属层；形成于催化金属层上的一绝缘层，该绝缘层具有一使得部分催化金属层暴露的接触孔；生长于接触孔内的催化金属层上的碳纳米管，该碳纳米管形成一作为电子迁移路径的导电线；以及一形成于绝缘层上并与碳纳米管之间呈电连接的存储薄膜。
根据本发明的一具体实施例，催化金属层的形成可以采用和本发明第二方面相同的方法。
衬底可以由硅或氧化物来制成，电极可以是MOSFET源电极，存储薄膜可以由相变材料制成。
通过参照附图对本发明的示例性实施例进行详细地描述，本发明的上述及其它特点和优点将变得更加明显，在附图中图1A至1D是根据本发明第一实施例采用碳纳米管来形成用于半导体装置的导电线的顺序步骤的剖面图；图2A和2B是根据本发明第二实施例采用碳纳米管来形成用于半导体装置的导电线的工艺的剖面示意图；图3是在图1C所示步骤后形成于电极上的活化层以及接触孔的结构的照片；图4和图5是生长于电极表面上的碳纳米管的照片；图6是根据本发明的导电线形成方法而形成于接触孔中的碳纳米管的规则阵列结构的照片；以及图7是一个示意性剖面图，示出了一个半导体装置的例子，其具有由根据本发明的导电线形成方法而形成的碳纳米管所构成的导电线。
具体实施例方式
在下文中，将参照相应附图对本发明的优选实施例进行详细地描述。附图中，相同的附图标记表示相同的构件。
图1A至1D是根据本发明第一实施例采用碳纳米管来形成用于半导体装置的导电线的顺序步骤的剖面图。
图1A显示在半导体装置用衬底110上形成电极120。参见图1A，衬底110可以是一块硅晶片、玻璃或者类似物。此时，电极120可以形成在预定的材料层如绝缘层上，从而代替衬底110。电极120可以由具有优良导电性能的金属或者掺杂硅制成。确切地说，当形成于硅衬底110上时，电极120可以由掺杂硅制成，就像MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)的源电极一样。另一方面，当形成于绝缘层上时，电极120可由具有优良导电性能的金属制成。
图1B显示了使用表面预处理法来活化电极120表面这一步骤的剖面图。参见图1B，当衬底110和电极120达到约300～700℃温度范围时，预处理气体通入到电极120的表面，这样将电极120的表面活化成多孔状态。结果，如图1B所示，在电极120的表面上形成了一活化层122，在其上将生长碳纳米管。这里，可以使用氮气(N2)、氩气(Ar)或氨气(NH3)来作为预处理气体。控制预处理气体的处理时间和流速，从而使得活化层122的厚度在约几个nm到几十nm的范围内。
可选择的是，可以通过使得电离化了的Ar或N2气与电极120的表面相互碰撞来将电极120的表面活化成多孔状态。该活化工艺也可形成能确保在电极120的表面上生长碳纳米管的多孔活化层122。该活化工艺可通过反应离子刻蚀(RIE)系统来实现。其优点在于，该活化过程可在室温下完成，而不需加热衬底110和电极120。
图1C显示的是形成于电极120上的绝缘层130和接触孔132的结构的剖视图。参见图1C，首先，绝缘层130形成在电极120上，如图1B所示，在电极120的表面上形成有活化层122。这里，绝缘层130可由氧化物如氧化硅(SiO2)制成。
其次，接触孔132形成于绝缘层130内，而使得部分活化层122的表面暴露在外。更确切地，在绝缘层130上涂覆一层光致抗蚀剂并将其构图成预定的形状。然后，使用该图案化的光致抗蚀剂作为刻蚀掩模将绝缘层130以各向异性的方式刻蚀，以形成接触孔132。这里，接触孔132所形成的直径大小可以从几个nm到几十个nm。
经过图1C所示的步骤后，活化层122形成在电极120的表面上，如图3的照片所示，接触孔132由活化层122和绝缘层130限定。
图1D显示了生长在接触孔132内的活化层122之上的碳纳米管140的结构剖视图。在图1D中，碳纳米管140的生长可利用热化学气相沉积或等离子增强化学气相沉积法来进行。碳纳米管140的生长也可由其它公知的方法来实现。
参见图1D，根据上文如图1A到1C所描述工序而形成的产物被置于一反应炉中，随后反应炉的温度设定在约500～900℃范围内。接着，向反应炉中通入含碳气体，如CH4、C2H2、C2H4、C2H6、CO及CO2等。这里，含碳气体与H2、N2或Ar气一起通入反应炉。注入到反应炉中的含碳气体通过接触孔132与形成于电极120表面上的活化层122相接触。结果，碳纳米管140从活化层122上沿垂直方向生长。
然后，尽管在图中未画出，但是另外一种类型的电极或存储薄膜可形成于绝缘层130之上，以便与碳纳米管140相连接。碳纳米管140形成一导电线，如接触或互联，来连接两个电极(电极120和其它类型的电极)或电极120和存储薄膜。
图2A和2B显示的是根据本发明第二实施例采用碳纳米管来形成用于半导体装置的导电线的工艺的剖面示意图。除了在电极表面上形成有一催化金属层124外，该实施例与第一实施例相同。因此，将简单叙述该实施例不同于第一实施例的方面。
图2A显示的是形成于电极120表面上的催化金属层124的结构的剖面图。参见图2A，可确保碳纳米管生长的催化金属层124可以通过采用射频(RF)磁控溅射或电子束蒸发法在电极120的表面上沉积预定厚度催化金属的方式来实现。这里，催化金属可以是一种过渡金属，如W、Ni、Fe、Co、Y、Pd、Pt及Au。催化金属层124的厚度可从几个nm到几十个nm。
可选择的是，催化金属层124也可通过向电极120的表面涂覆预定厚度催化金属粉末的方式来实现。这里，使用喷涂法可使得过渡金属粉末涂覆的厚度在几个nm到几十个nm之间。该方法的优点是，催化金属层124可以更容易地形成为粗糙多孔状态。
通过这种方式，根据本发明的第二实施例，催化金属层124可单独地形成于电极120的表面上以生长碳纳米管。因此，第二实施例与第一实施例不相同，在第一实施例中，直接活化电极120的表面来生长碳纳米管。但是，在第二实施例中在电极120的表面上形成催化金属层124的后续步骤与前述第一实施例中的步骤相同。因此，将参见图2B对形成催化金属层124的后续步骤作简短描述。
如图2B所示，由氧化物(举例来说)制成的绝缘层130形成于催化金属层124上。随后，使用图案化的光致抗蚀剂作为刻蚀掩模将绝缘层130以各向异性的方式刻蚀，以形成接触孔132，接触孔132所形成的直径大小从几个nm到几十个nm。结果，催化金属层124的部分表面通过接触孔132暴露在外。
然后，当含碳气体如CH4、C2H2、C2H4、C2H6、CO及CO2与H2、N2或Ar气一起通入到温度范围约为500～900℃的反应室内时，碳纳米管140从催化金属层124的表面上沿垂直方向生长。
图4和5的照片显示的是生长于电极活性表面上的碳纳米管。图6的照片显示的是根据本发明的导电线形成方法而形成于接触孔内的碳纳米管的规则阵列结构。
正如上文已描述的，根据本发明第一和第二实施例中的导电线形成方法，碳纳米管可形成一导电线，如接触和互联，来连接两个电极(电极120和其它类型的电极)或电极120和存储薄膜。这种碳纳米管的电流密度可达1010A/cm2，这大约是传统金属导电线电流密度的10,000倍。因此，由碳纳米管构成的导电线可被形成为直径大小从几个nm到几十个nm，并因此可用于制备超高集成化的半导体装置。
图7一个示意性剖面图，示出了一个半导体装置的例子，其具有由根据本发明的导电线形成方法而形成的碳纳米管构成的导电线。
图7所示的半导体装置是一采用MOSFET作为开关元件的相变随机存取存储器(PRAM相变RAM)。PRAM是使用相变材料的存储装置，该相变材料根据其不同的结晶状态而改变电阻的大小。通过改变施加给该相变材料膜的电流密度，可以改变部分相变材料膜的结晶状态。
参见图7，众所周知，MOSFET包括形成于衬底210上预定区域的一源电极221和一漏电极223，以及一栅电极224，其中栅电极224通过第一绝缘层230与源电极221和漏电极223隔开。源电极221和漏电极223可由掺杂硅或金属制成，而栅电极224主要由金属制成。
第一多孔活化层222通过前述的导电线形成方法形成在源电极221的表面上。与此同时，也可形成催化金属层来代替活化层222。在第一活化层222上形成有第一绝缘层230。第一接触孔232由第一绝缘层230和第一活化层222所限定。在第一接触孔232内从第一活化层222上沿垂直方向生长有第一碳纳米管240。这里，根据第一接触孔232的直径，第一碳纳米管240的直径可以从几个nm至几十个nm。
随后，中间电极250形成于第一绝缘层230上，以便连接到第一碳纳米管240上。因此，第一碳纳米管240形成了一使得源电极221和中间电极250相互电连接的导电线。
同样的，按照本发明的导电线形成方法，在中间电极250的表面上形成第二多孔活化层252或催化金属层。第二绝缘层260形成在第二活化层252上。第二接触孔262被第二绝缘层260和第二活化层252所限定。在第二接触孔262内从第二活化层252上沿垂直方向生长第二碳纳米管270。
随后，存储薄膜280形成在第二绝缘层260上，以便连接到第二碳纳米管270上。存储薄膜280由相变材料制成。因此，第二碳纳米管270形成了使得中间电极250和存储薄膜280相互电连接的导电线。
可替换地，在缺少中间电极250和形成于其上的第二碳纳米管270的情况下，存储薄膜280也可直接形成在生长于源电极221上的第一碳纳米管240之上。
在存储薄膜280上形成有第三绝缘层290。第三接触孔292被第三绝缘层290和存储薄膜280所限定。存储薄膜280与形成于第三接触孔292内及第三绝缘层290上的上电极295相连。
到现在为止，已经展示了将本发明的导电线形成方法应用到PRAM装置上的例子。但是，除了PRAM外，本发明的导电线形成方法也可以应用到各种类型的半导体存储器中，如DRAM(动态随机存取存储器，动态RAM)，SRAM(静态RAM)，及MRAM(磁性RAM)等。在这些半导体存储器中，除MOSFET之外，各种类型的晶体管也可被设置成开关元件。
从上面的描述可以明显地看出，根据本发明的形成半导体装置用导电线的方法，可使用碳纳米管来形成一导电线，该导电线例如为接触和互联，来连接两个电极或一个电极和一存储薄膜。这种碳纳米管的电流密度可达1010A/cm2，这大约是传统金属导电线电流密度的10,000倍。因此，由碳纳米管构成的导电线可被形成为其直径大小从几个nm到几十个nm，并因此可用于制备超高集成化的半导体装置。
虽然以上参考示范性实施例对本发明作了详细地展示和描述，但对于本领域内的普通技术人员来说，可在不偏离本发明精神和范围的前提下对本发明做出形式和细节上的各种改变，这些改变都落入由所附权利要求限定的保护范围内。
权利要求
1.一种形成用于半导体装置的导电线的方法，该方法包括(a)使用表面预处理方法活化所述半导体装置的电极表面；(b)在该电极表面上形成一绝缘层，并在该绝缘层中形成一接触孔，使得该电极的部分活化表面暴露在外；以及(c)通过该接触孔向该电极的活化表面通入含碳元素的气体，以在该电极的活化表面生长形成所述导电线的碳纳米管。
2.如权利要求1所述的方法，其中在步骤(a)中，通过在300～700℃温度范围内向所述电极表面通入从由氮气(N2)、氩气(Ar)及氨气(NH3)组成的组中选取的至少一种预处理气体来将所述电极的表面活化成多孔状态。
3.如权利要求1所述的方法，其中在步骤(a)中，通过使电离化了的Ar气或N2气与所述电极表面相互碰撞来将该电极表面活化成多孔状态。
4.如权利要求3所述的方法，其中步骤(a)在室温下完成。
5.如权利要求1所述的方法，其中在步骤(a)中，所述电极的活化表面的厚度从几个nm至几十个nm。
6.如权利要求1所述的方法，其中在步骤(b)中，所述绝缘层由氧化物制成。
7.如权利要求1所述的方法，其中在步骤(b)中，使用图案化光致抗蚀剂作为刻蚀掩模以各向异性的方式刻蚀所述绝缘层以形成所述接触孔。
8.如权利要求1所述的方法，其中在步骤(b)中，所述接触孔所形成的直径大小从几个nm到几十个nm。
9.如权利要求1所述的方法，其中步骤(c)在500～900℃温度范围内进行。
10.如权利要求1所述的方法，其中在步骤(c)中，所述含碳气体是从由CH4、C2H2、C2H4、C2H6、CO及CO2组成的组中选取的至少一种气体。
11.如权利要求1所述的方法，其中在步骤(c)中，所述含碳气体和从由H2、N2及Ar气组成的组中选取的至少一种气体一起注入。
12.如权利要求1所述的方法，其中步骤(c)通过热化学气相沉积或等离子增强化学气相沉积法来进行。
13.一种形成用于半导体装置的导电线的方法，该方法包括(a)在该半导体装置的电极表面上形成一催化金属层；(b)在该催化金属层上形成一绝缘层，并在该绝缘层中形成一接触孔，使得部分所述催化金属层暴露在外；和(c)通过所述接触孔向所述催化金属层通入含碳元素的气体，以在该催化金属层生长形成所述导电线的碳纳米管。
14.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(a)中，该催化金属层通过采用射频(RF)磁控溅射或电子束蒸发法在所述电极表面上沉积预设厚度催化金属的方式来实现。
15.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(a)中，所述通过向所述电极表面喷涂预定厚度催化金属粉末的方式来形成所述催化金属层。
16.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(a)中，所述催化金属层被形成为厚度从几个nm到几十个nm。
17.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(a)中，所述催化金属层由至少一种从由W、Ni、Fe、Co、Y、Pd、Pt及Au组成的组中选取的过渡金属制成。
18.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(b)中，所述绝缘层由氧化物制成。
19.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(b)中，使用图案化光致抗蚀剂作为刻蚀掩模以各向异性的方式刻蚀所述绝缘层以形成所述接触孔。
20.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(b)中，形成的所述接触孔的直径大小从几个nm到几十个nm。
21.如权利要求13所述的方法，其中步骤(c)在500～900℃温度范围下进行。
22.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(c)中，所述含碳气体是至少一种从由CH4、C2H2、C2H4、C2H6、CO及CO2组成的组中选取的气体。
23.如权利要求13所述的方法，其中在步骤(c)中，所述含碳气体和从由H2、N2及Ar气组成的组中选取的至少一种气体一起注入。
24.如权利要求13所述的方法，其中步骤(c)通过热化学气相沉积或等离子增强化学气相沉积法来进行。
25.一种半导体装置，包括一衬底；形成于该衬底上的一电极；形成于该电极的表面上的一多孔活化层；形成于该活化层上的一绝缘层，其具有一使得部分所述活化层暴露的接触孔；生长于所述接触孔内的所述活化层之上的一碳纳米管，其形成作为电子迁移路径的导电线；以及一存储薄膜，其形成于所述绝缘层上且与所述碳纳米管电连接。
26.如权利要求25所述的半导体装置，其中通过在300～700℃温度范围内向所述电极表面通入至少一种从由N2、Ar及NH3组成的组中选取的预处理气体来形成所述活化层。
27.如权利要求25所述的半导体装置，其中通过使电离化了的Ar气或N2气与所述电极表面相互碰撞来形成所述活化层。
28.如权利要求25所述的半导体装置，其中所述衬底由硅或者氧化物制成。
29.如权利要求25所述的半导体装置，其中所述电极为MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)的源电极。
30.如权利要求25所述的半导体装置，其中所述存储薄膜由相变材料制成。
31.一种半导体装置，包括一衬底；形成于该衬底上的一电极；形成于该电极的表面上的一催化金属层；形成于该催化金属层上的一绝缘层，其具有一使得部分所述催化金属层暴露的接触孔；生长于所述接触孔内的所述催化金属层之上的一碳纳米管，其形成作为电子迁移路径的导电线；以及一存储薄膜，其形成于所述绝缘层上且与所述碳纳米管电连接。
32.如权利要求31所述的半导体装置，其中通过采用RF磁控溅射或电子束蒸发法在所述电极表面上沉积预设厚度的至少一种从由W、Ni、Fe、Co、Y、Pd、Pt及Au组成的组中选取的过渡金属来形成所述催化金属层。
33.如权利要求31所述的半导体装置，其中通过向所述电极表面涂覆至少一种从由W、Ni、Fe、Co、Y、Pd、Pt及Au组成的组中选取的过渡金属粉末来形成所述催化金属层。
34.如权利要求31所述的半导体装置，其中所述衬底由硅或者氧化物制成。
35.如权利要求31所述的半导体装置，其中所述电极为MOSFET的源电极。
36.如权利要求31所述的半导体装置，其中所述存储薄膜由相变材料制成。
全文摘要
公开一种使用碳纳米管来形成用于半导体装置的导电线的方法以及用该方法制造的半导体装置。该方法包括采用表面预处理法活化半导体装置的电极的表面；在电极表面上形成一绝缘层并在该绝缘层中形成一接触孔，以使得电极的部分活化表面暴露在外；通过接触孔向电极的活化表面通入含碳元素的气体，以在电极的活化表面上生长形成导电线的碳纳米管。电极表面的活化过程可被在电极表面上形成催化金属层的步骤所代替。按照该方法，具有高电流密度的碳纳米管可形成用于半导体装置的导电线，并因此可制造出超高集成化的半导体装置。
文档编号G11C13/02GK1542920SQ200410034828
公开日2004年11月3日 申请日期2004年4月15日 优先权日2003年5月1日
发明者崔原凤, 树, 裵恩珠, 堀井秀树 申请人:三星电子株式会社