晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法与流程

本发明涉及半导体集成电路领域，特别是涉及一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法。

背景技术：

在集成电路芯片测试领域，测试机上建立晶圆级芯片测试能力的方法是为一种芯片定制一块探针卡，测试机探针卡上面通过金属触点与测试机负载板相连接，其底面通过探针与芯片管脚相连接，使其成为测试机信号通道与被测芯片管脚之间连接的桥梁，进而应用于芯片封装前对芯片电学性能进行初步测量，筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程。所以当测试不同的芯片时，必须换上对应的探针卡进行测试，那么识别所更换探针卡的正确性就尤为重要。

晶圆级芯片测试中，为了确保所用探针卡与所测试项目完全匹配，所以需要一种简单可靠的方法对探针卡信息进行识别。

但是，现在晶圆级芯片测试中，识别探针卡的方式是通过扫描探针卡盒子上黏贴的条形码，从探针卡管理系统中获取录入的条形码信息，进而把探针卡信息输入到测试机中。当操作人员因操作失误更换错误的探针卡后，必然会影响之后芯片的测试甚至损坏探针卡，拖慢项目进度。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是提供一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，能最大限度地减少换错探针卡所带来的损失，测试机能够自动获取探针卡存储芯片里的正确信息。

为解决上述技术问题，本发明的晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，是采用如下技术方案实现的：

步骤1、设计制作一块探针卡，在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片；

步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成；

步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息判断是否为匹配的探针卡。

采用本发明的方法，在探针卡生产制造阶段，在探针卡上设计增加一块存储芯片用于存储探针卡信息，通过与测试算法的配合，使测试机自动获取识别探针卡信息，大幅减小因操作人员更换错误探针卡带来的风险，最大限度减小更换错误探针卡带来的探针卡损坏、机时浪费、延误项目进度等风险。

本发明的方法能够节省操作人员的操作时间，各产品测试项目之间不需要手动重新录入探针卡信息。

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：

图1是存储芯片设计原理示意图；

图2是测试流程示意图。

具体实施方式

所述晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，考虑到晶圆级测试中因操作人员失误放入错误的探针卡后，影响测试甚至损坏探针卡，拖慢项目进度，所以在探针卡设计阶段在探针卡内多增加一块存储芯片，该存储芯片的作用是存储探针卡的信息。

所述晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，在下面的实施例中具体实施的过程如下：

步骤1、设计制作一块探针卡，在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片。

步骤2、开发与探针卡匹配的探针卡信息读写算法(即测试算法)。

步骤3、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成。

步骤4、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息，判断是否为匹配的探针卡。

图1为所述存储芯片的设计原理示意图，存储芯片a0(器件地址信号)、vcc(电源输入)引脚接电源拉高，a1和a2(器件地址信号)、wp(写保护)、vss(电源地)引脚接地拉低，存储芯片scl(芯片时钟信号)引脚和测试机负载板cscl(测试机时钟通道)信号通道相连接，存储芯片sda(芯片数据传输信号)引脚和测试机负载板csda(测试机数据传输通道)信号通道相连接，通过测试机可以对存储芯片进行读写操作。图1的黑色圆点是芯片方向的识别点。

写入时测试机首先负责把输入的探针卡信息字符数据通过ascii(美国信息交换标准代码)码转换成二进制数据，随后测试机往存储芯片发送芯片地址和探针卡信息二进制数据，最终存储芯片在目的地址存储探针卡信息。读出时测试机往存储芯片发送芯片地址数据，存储芯片在目的地址读出二进制数据后返回测试机，测试机通过ascii(美国信息交换标准代码)码转换成字符数据。最后通过读出的字符数据与写入的探针卡信息相比较，判断是否为匹配的探针卡。

使用探针卡时，首先需要在验卡阶段通过写入算法往存储芯片中存入正确的探针卡信息，在以后的使用中操作人员只需要通过指定的读出算法自动读取和识别存储芯片中的探针卡信息来判断是否为匹配的探针卡，判断为正确时才会进行后续测试。测试流程示意图如图2所示，若探针卡被识别通过，则进行正常测试，若探针卡被识别不通过则为错误探针卡，需更换探针卡重新进行识别。因此，所述晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的设计方法，只需要在探针卡上增加一块存储芯片配合测试算法(即“写入算法”和“读出算法”)便可达到测试机自动获取识别探针卡信息的目的。

以上通过具体实施方式对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。

技术特征：

1.一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、设计制作一块探针卡，在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片；

步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成；

步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息，判断是否为匹配的探针卡。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：若探针卡被识别通过，则进行正常测试，若探针卡被识别不通过则为错误探针卡，需更换探针卡重新进行识别。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述存储芯片a0、vcc引脚接电源，a1、a2、wp和vss引脚接地，scl引脚和测试机负载板的cscl信号通道相连接，sda引脚和测试机负载板csda信号通道相连接，通过测试机对存储芯片进行读写操作。

4.如权利要求1或3所述的方法，其特征在于：写入时测试机首先将输入的探针卡信息字符数据通过ascii码转换成二进制数据，随后测试机往存储芯片发送芯片地址和探针卡信息二进制数据，最终存储芯片在目的地址存储探针卡信息。

5.如权利要求1或3所述的方法，其特征在于：读出时测试机往存储芯片发送芯片地址数据，存储芯片在目的地址读出二进制数据后返回测试机，测试机通过ascii码转换成字符数据，最后通过读出的字符数据与写入的探针卡信息相比较，判断是否为匹配的探针卡。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：使用探针卡时，首先需要在验卡阶段通过写入算法往存储芯片中存入正确的探针卡信息，在以后的使用中只需要通过指定的读出算法自动读取和识别存储芯片中的探针卡信息来判断是否为匹配的探针卡，判断为正确时才会进行后续测试。

技术总结
本发明公开了一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法，步骤1、设计制作一块探针卡，在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片；步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成；步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息判断是否为匹配的探针卡。本发明能最大限度地减少换错探针卡所带来的损失，测试机能够自动获取探针卡存储芯片里的正确信息。

技术研发人员：唐鹿俊;郑鹏飞
受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司
技术研发日：2019.08.26
技术公布日：2019.11.26