专利名称：多路型薄膜磁头组件及制造方法
技术领域：
本发明涉及磁头组件；更具体地，涉及多路型薄膜磁头的改进组件及其制造方法，各该薄膜磁头具有形成在其间的屏蔽及各上电极的一个公共下电极。
众所周知，盒式录象机(VCR)装备有一个用于在盒式录象磁带上写入新信号的磁头组件。
图1与2中，分别提供了早先公开的一种多路型薄膜磁头1的组件的透视图，及沿图1中A-A线所取的各薄膜磁头1的剖视图。各薄膜磁头1包括一块非磁性基板2、一个下磁极3、一个第二绝缘件4、多个线圈5、一个第一绝缘件6、一个上磁极7及一对电极8。下磁极3有选择地形成在非磁性基板2的上方。第二绝缘件4位于下磁极3上方，并在其上方具有第一绝缘件6，而多个线圈5则介于它们之间。上磁极7位于第一绝缘件上方，其近端与远端分别连接在下磁极3及第二绝缘件4的上方。
这种多路型薄膜磁头1的组件利用从该对电极8将一个电信号作用在线圈5上而在磁隙周围生成的一个磁场，将一个磁信号录制在通过上下磁极7、3之间的磁隙中的一条磁带(未示出)上。
信号密度，即能够录制在单位长度磁带上的信号量，取决于磁隙的宽度，因而有可能通过使磁隙变窄而缩短录制相同磁信号量的磁带区域。
上述多路型薄膜磁关1的组件具有相关的低效性。例如，由于下磁极3是形成在各薄膜磁头1中的，为了制造该组件，必不可少地要构成多个下磁极3，这便使得制造工艺复杂化了。
此外，各薄膜磁头1的位置互相靠近这一事实可能导致互相干扰。
因此，本发明的主要目的为提供一种带各自分离的上磁极、但具有一个公共的下磁极的多路型薄膜磁头组件，借此简化组件的制造工艺。
本发明的另一目的为提供一种多路型薄膜磁头组件，各该薄膜磁头之间具有屏蔽，借此防止互相干扰。
本发明的又另一目的为提供一种制造多路型薄膜磁头组件的改进方法。
按照本发明的一个方面，提供了一种多路型薄膜磁头组件，该组件包括具有一个上表面的一块非磁性基板；构成在该非磁性基板的上表面上的一个下磁极，其中该下磁极作为薄膜磁头中的一个公共磁极工作；位于下磁极上方的绝缘部件，各该绝缘部件包含一个第一及一个第二绝缘件；完全被第一与第二绝缘件覆盖的多个线圈，各该线圈互相间隔一定距离位于绝缘部件上方的上磁极带有分别连接在下磁极及第二绝缘件上方的一个近端及一个远端；一对电极，各该电极用于提供一个电信号给线圈；以及屏蔽，各该屏蔽位于两个薄膜磁头之间用于防止薄膜磁头之间的互相干扰。
按照本发明的另一方面，提供了一种制造多路型薄膜磁头组件的方法，该方法包括下述步骤设置一块具有一个上表面的非磁性基板；在该非磁性基板的上表面上构成一个下磁极；在该下磁极的上面喷涂一个第二绝缘层；将该第二绝缘层制成对应数目的第二绝缘件的图案；在该第二绝缘件上面构成一个金属层；将该金属层制成多个线圈及一对电极的图案，其中各该线圈是以一定距离互相隔开的并且电连接在该对电极上；在其上喷涂一个第一绝缘层；将该第一绝缘层制成对应数目的第一绝缘件的图案，借此构成绝缘部件，各绝缘部件包含第一与第二绝缘件，其中的第一绝缘件完全覆盖构成在第二绝缘件上面的线圈在其上构成一个上磁极层；将该上磁极层制成对应数目的上磁极的图案，其中各该上磁极位于绝缘部件上方，其近端与远端分别连接在下磁极与第二绝缘件上面；在其上淀积一个屏蔽层；以及将该屏蔽层制成对应数目的屏蔽的图案，从而构成多频道型薄膜磁头组件，其中各该屏蔽是位于两个薄膜磁头之间的。
从下面结合附图所取的较佳实施例的描述中，本发明的上述及其它目的与特征将是显而易见的，附图中图1提供以前公开的多路型薄膜磁头组件的透视图；图2提供沿图1中A-A线所取的各薄膜磁头的剖视图；图3示出按照本发明的多路型薄膜磁头组件的透视图；图4A到4F表示沿图3中B-B线所取的陈述制造多路型薄膜磁头组件的一种方法的示意性剖视图；以及图5A至5E表示沿图3中C-C线所取的展示制造多路型薄膜磁头组件的一种方法的示意性剖视图。
图3、4A至4F及5A至5E分别提供按照本发明的较佳实施例的多路型薄膜磁头10的组件的透视图及陈述制造该组件的一种方法的示意性剖视图。应当指出，出现在图3、4A至4F及5A至5E中的相同部件是用相同的参照数字表示的。图5A至5E中所示的制造工艺对应于图4A至4F中所示的制造工艺。
图3中提供了一种多路型薄膜磁头10的组件的透视图，备薄膜磁头10包括一块具有一个上表面的非磁性基板9、一个下方及一个上方磁极11、14、一个绝缘部件(未示出)、多个线圈13、一个屏蔽15及一对电极16。
下磁极11位于非磁性基板9的上表面上，起到各薄膜磁头10的各自的上磁极14的一个公共磁极的作用。绝缘部件位于下磁极11的上面，并包含一个第一及一个第二绝缘件(未示出)。第二绝缘件构成在下磁极11上面，并在其上面具有第一绝缘件，而多个线圈13则介于它们之间。上磁极14构成在绝缘部件上面，分别以其近端与远端连接在下磁极11及第二绝缘件的上面，从而在上下磁极14、11之间提供一个磁隙。屏蔽15位于薄膜磁头10之间，借此防止薄膜磁头10之间的互相干扰。该对电极16用于提供一个电信号给线圈13。
在录制操作期间，将一个电信号从该对电极16作用在多个线圈13上，而在上下磁极14、11之间的磁隙周围生成一个磁场，该磁场用于将一个磁信号录制在一条磁带(未示出)上。
图4A至4F及图5A至5E中分别示出沿图3中线B-B与C-C所取的陈述制造多路型薄膜磁头10的组件的一种方法的示意性剖视图。
多路型薄膜磁头10的组件的制造工艺从制备一块非磁性基板9开始，然后用蒸发，Sol-Grel(溶胶-凝胶)或化学汽相淀积(CVD)法在其上表面上构成一个下磁极11，如图4A与5A中所示。
在随后的步骤中，用CVD法在下磁极11的上面淀积一个第二绝缘层(未示出)，然后用蚀刻法将其制成对应数目的第二绝缘件12a的图案，如图4B与5B中所示。
随后，用喷镀或真空蒸发法在第二绝缘件12a的上面形成一个金属层(未示出)，然后又用蚀刻法将其制成多个线圈13及一对电极(未示出)的图案，其中各个线圈13互相隔开一定的距离，并且电连接在该对电极上，如图4C与5C中所示。
接着用CVD法在其上面淀积一个第一绝缘层，然后用蚀刻法将其制成对应数目的第一绝缘件12b的图案，从而构成绝缘部件12，如图4D与5D中所示。各绝缘部件12包含第一与第二绝缘件12b、12a其中的第一绝缘件12b完全覆盖形成在第二绝缘件12a上面的多个线圈13。
此后，用蒸发、Sol-Gel或CVD法在上述结构上面构成一个上磁极层(未示出)，然后以下述方式用蚀刻法将其制成对应数目的上磁极14，即各该上磁极14构成在绝缘部件12的上面并分别以其近端与远端连接在下磁极11及第二绝缘件12a的上面，如图4E与5E中所示。
上述步骤之后，用CVD法在其上淀积一个屏蔽层(未示出)，然后用光刻或激光修整法将其制成对应数目的屏蔽15，从而形成多路型薄膜磁头10的组件，其中各屏蔽15位于两个相邻的薄膜磁头10之间，如图4F与5E中所示。
在本创造性多路型薄膜磁头10的组件及其制造方法中，由于起薄膜磁头10中的各自的上磁极14的一个公共磁极作用的下磁极11是形成在非磁性基板9的整个上表面上的，该组件的制造工艺便能被极大地简化与方便。
此外，形成在相邻的薄膜磁头10之间的各屏蔽15防止了薄膜磁头10之间的互相干扰。
虽然只相对于一定的较佳实施例描述了本发明，但可在不脱离下述权利要求书中所提出的本发明的范围而作出其它修正与改型。
权利要求
1.一种多路型薄膜磁头组件，该组件包括一块具有一个上表面的非磁性基板；构成在该非磁性基板的上表面上的一个下磁极，其中该下磁极起到该薄膜磁头中的一个公共磁极的作用；位于下磁极上面的绝缘部件，备该绝缘部件包含一个第一及一个第二绝缘件；完全被第一与第二绝缘件覆盖的多个线圈，各线圈互相隔开一定距离；位于绝缘部件上面的上磁极带有分别连接在下磁极及第二绝缘件上面的一个近端及一个远端；以及一对电极，各该电极用于提供一个电信号给线圈。
2.权利要求1的组件，还包括屏蔽，各该屏蔽位于两个相邻的薄膜磁头之间用于防止薄膜磁头之间的互相干扰。
3.一种制造多路型薄膜磁头组件的方法，该方法包括下述步骤设置具有一个上表面的一块非磁性基板；在该非磁性基板的上表面上构成一个下磁极；在该下磁极的上面淀积一个第二绝缘层；将该第二绝缘层制成对应数目的第二绝缘件的图案；在该第二绝缘件的上面形成一个金属层；将该金属层制成多个线圈及一对电极的图案，其中各该线圈互相分隔一定距离并且电连接在该对电极上在其上淀积一个第一绝缘层；将该第一绝缘层制成对应数目的第一绝缘件，借此构成绝缘部件，各该绝缘部件包含第一与第二绝缘件，其中第一绝缘件完全覆盖形成在第二绝缘件上面的线圈；在其上形成一个上磁极层；以及将该上磁极层制成对应数目的上磁极的图案，其中各该上磁极位于绝缘部件的上面，其近端与远端分别连接在下磁极及第二绝缘件的上面，从而构成多路型薄膜磁头组件。
4.权利要求3的方法，其中该下磁极是用蒸发、Sol-Gel或CVD法构成的。
5.权利要求3的方法，其中该第一与第二绝缘层是用CVD法淀积的。
6.权利要求5的方法，其中该第一与第二绝缘层是用蚀刻法制成图案的。
7.权利要求3的方法，其中该金属层是用喷镀或真空蒸发法构成的。
8.权利要求7的方法，其中该金属层是用蚀刻法制成图案的。
9.权利要求3的方法，其中该上磁极层是用蒸发、Sol-Gel或CVD法构成的。
10.权利要求9的方法，其中该上磁极层是用蚀刻法制成图案的。
11.权利要求3的方法，还包括在将上磁极层制成图案后，形成位于两个相邻的薄膜磁头之间的屏蔽。
12.权利要求11的方法，其中各该屏蔽是用CVD法随后用光刻或激光修整法形成的。
全文摘要
一种多路型薄膜磁头组件，包括一块非磁性基板、一下磁极、绝缘部件、线圈、上磁极、屏蔽及电极。制造方法为设置一块非磁性基板；在其上构成一下磁极；淀积第二绝缘层，并制成对应数目的第二绝缘件的图案；喷镀一金属层，并制成多个线圈及一对电极的图案；淀积第一绝缘层，并制成对应数目的第一绝缘件的图案，以构成绝缘部件；淀积一上磁极，并制成对应数目的上磁极的图案；淀积一屏蔽层，并制成对应数目的屏蔽的图案，构成多路型薄膜磁头组件。
文档编号G11B5/31GK1139795SQ9610241
公开日1997年1月8日 申请日期1996年2月15日 优先权日1995年6月30日
发明者李丙圭 申请人:大宇电子株式会社