专利名称：掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种巨磁阻器件，特别涉及一种具有p-n结结构的掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件。
本实用新型的目的在于克服上述巨磁阻器件的缺陷，为了提供一种具有巨磁阻p-n结的器件；和为了提供一种可广泛应用于磁探测、磁测量、磁控制或磁电子学方面的具有p-n结的掺杂钛酸钡和掺杂镧锰氧巨磁阻器件，或由它组成的串联式和多元列阵的巨磁阻p-n结器件。
本实用新型提供的掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件，包括衬底、电极和引线；其特征在于在衬底上至少有一个或一个以上p-n结结构，该p-n结结构有一p型掺杂镧锰氧层或n型掺杂钛酸锶层与n型掺杂钛酸锶和p型掺杂镧锰氧层交替叠层外延生长在衬底上；电极设置在最上面的外延层和衬底上，或设置在最上面的外延层和在衬底上的第一层外延层上，电极上连接引线。
所述的巨磁阻器件可以为一个单元，还包括在一块衬底上有2个以上巨磁阻器件单元，并且巨磁阻器件单元之间通过电极和引线串联或并联组成阵列式巨磁阻器件。
所述的衬底包括导电的衬底材料和不导电的衬底材料；其中导电的衬底材料包括掺杂钛酸锶、掺杂镧锰氧单晶衬底、Si、Ge或GaAs等单晶衬底；不导电的衬底材料包括SrTiO3、BaTiO3、LaAlO3、ZrO2或LAST(拉萨特)等单晶衬底。
所述的p型掺杂镧锰氧层选具有磁特性的La1-xAxMnO3，其中A包括Sr、Ca、Ba、Pb、Sn、Te、Nb、Sb或Ta；其x值为0.01～0.4；
所述的n型掺杂钛酸锶层选SrDyTi1-yO3或Sr1-yLayTiO3，其中D包括Nb、Sb或Ta，其y值为0.005～0.4。
所述的n型掺杂钛酸锶层和p型掺杂镧锰氧层的厚度与层数可以是相同的，也可以是不同的；其中层厚度为8-1μ；其中n型掺杂钛酸锶层至少为一层以上和p型掺杂镧锰氧层的层数至少也为一层以上。
本实用新型的优点在于本实用新型选用具有p型和巨磁阻特性的掺杂镧锰氧与具有n型特性的掺杂钛酸锶，利用制膜技术和方法，把p型掺杂的镧锰氧材料和n型掺杂的钛酸锶交替叠层外延在一起，利用半导体工艺，制备出多种单元、串联式或多元列阵巨磁阻p-n结器件。我们的实验结果已表明，本实用新型提供的单元、串联式与多元列阵掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻p-n结器件，充分利用了该p-n结具有巨磁阻特性和正反向电流具有相同磁调制特性的特点，把多个p-n结串联，是一种多p-n结结构的高灵敏度磁功能器件，即使在室温和低强度磁场下，也仍然具有很高的灵敏度，可广泛应用于磁探测、磁测量和磁控制。尤其是它外延生长在单晶衬底上，甚至可以外延生长在Ge、Si、GaAs等单晶衬底上，便于与电子学器件集成，因而在磁电子学方面也有广泛的应用。
图11是100K条件下，该器件p-n结电流随磁场变化的I-V曲线；说明串联式p-n结巨磁阻器件，对于磁场具有极高的灵敏度。
图面说明如下
1-导电衬底；2-掺杂镧锰氧(或掺杂钛酸锶)；3-掺杂钛酸锶(或掺杂镧锰氧)；4-电极；5-引线；6-不导电衬底。
用超导量子干涉器测量其磁特性，图8是本实施例的巨磁阻p-n结器件在300K条件下，p-n结正向电流随磁场变化的I-V曲线；图9是100K条件下，p-n结正向电流随磁场变化的I-V曲线。图中插图是p-n结反向电流随磁场变化的I-V曲线。从图8和图9可看出，p-n结电流被磁场调制，具有巨磁阻效应，而且正反向的磁特性是一致的。即使是室温，对于磁场仍具有很高的灵敏度。
实施例2.
按实施例1制作，只是用p型La0.85Te0.15MnO3代替p型La0.9Sr0.1MnO3，其p型La0.85Te0.15MnO3外延层的厚度为400nm，其它结构同实施例2，制备成在一块衬底上只有一单元巨磁阻p-n结器件。
图10是本实施例的巨磁阻p-n结器件在77K条件下，p-n结电流随磁场变化的I-V曲线。说明不同掺杂的p-n结同样具有巨磁阻效应。
实施例3.
按图2制作一具有多p-n结结构的单元巨磁阻p-n结器件。在SrNb0.01Ti0.99O3的单晶导电衬底1上叠层外延生长厚80nm的p型La0.8Sr0.2MnO3外延层2，厚50nm的n型SrNb0.05Ti0.95O3层3，厚80nm的p型La0.8Sr0.2MnO3层2，厚50nm的n型SrNb0.05Ti0.95O3层3交替叠加在衬底1上，其余结构同实施例1。
实施例4用粒子束刻蚀在实施例3制作的外延片上刻蚀出面积为1mm×1mm，两个巨磁阻p-n结器件单元间距0.5mm的巨磁阻p-n结器件单元管芯，把每两个单管芯件切割成一小块，用铟把0.2mm的铜导线焊接在两个单元管芯的最上面外延层作电极4和引线5，制备图3所示的两个单元器件串联的巨磁阻p-n结器件。
图11是100K条件下，该器件p-n结电流随磁场变化的I-V曲线；说明串联式p-n结巨磁阻器件，对于磁场具有极高的灵敏度。
实施例5.
在SrNb0.1Ti0.9O3的单晶衬底1上叠层外延生长20个周期20nm厚的p型La0.8Ca0.2MnO32和10nm厚的n型SrSb0.1Ti0.9O33。用粒子束刻蚀在外延片上刻蚀0.3mm×0.3mm，间距0.1mm的单元巨磁阻管芯，用光刻和化学腐蚀在每个管芯上制备0.2mm×0.2mm的电极4，把两个管芯切割成一块，从两个管芯上的电极连接引线5，制备出图3所示的串联式的巨磁阻p-n结器件。
实施例6.
按实施例5制作，把每排10个管芯切割成一块，从10管芯上的电极4电极连接引线5作单元引线，从衬底1的电极4连接引线5作公共电极，制备图4所示的线列式巨磁阻p-n结器件。
实施例7.
按实施例5制作，把10排每排10个管芯切割成一块，从这100个管芯上的电极4连接引线5作单元引线，从衬底1的电极4连接引线5作公共电极，制备图4所示的10×10多元列阵式巨磁阻p-n结器件。
实施例8.
在SrTiO3衬底6上首先外延300nm厚的n型SrNb0.4Ti0.6O32，再在n型SrNb0.4Ti0.6O3上交替外延10个周期100nm厚的p型La0.75Sr0.25MnO33和100nm厚的n型SrNb0.1Ti0.9O32。用粒子束刻蚀，在外延片上刻蚀直径0.5mm、间距1.5mm的单元巨磁阻器件，刻蚀到SrTiO3衬底6上300nm厚的n型SrNb0.4Ti0.6O33层为止。然后真空蒸镀约200nm厚金膜，用光刻和化学腐蚀方法，在直径0.5mm的管芯上和1.5mm间距处的第一外延层2上各制备直径0.3mm的电极4。把制备好的外延片沿管芯切割成单个管芯，用点焊机在直径0.3mm的金膜电极4上连接引线5，制备图5所示的单元巨磁阻p-n结器件。
实施例9.
在SrTiO3衬底6上首先外延500nm厚的n型SrNb0.4Ti0.6O32，再在n型SrNb0.4Ti0.6O3上交替外延10个周期100nm厚的p型La0.75Sr0.25MnO33和100nm厚的n型SrNb0.1Ti0.9O32。用粒子束刻蚀，在外延片上刻蚀1mm×1mm、间距1.5mm的单元巨磁阻器件，刻蚀到SrTiO3衬底6上500nm厚的n型SrNb0.4Ti0.6O33外延层为止。然后真空蒸镀约200nm金膜，用光刻和化学腐蚀方法，在1mm×1mm的管芯上和1.5mm间距处的第一外延层2上各制备直径0.5mm的电极4。把制备好的外延片切割成8单个管芯为一组，用点焊机在直径0.5mm的金膜电极4上连接引线5，制备图6所示的多元列阵式巨磁阻p-n结器件。
实施例10.
按实施例9制作，把制备好的外延片切割成8单个管芯为一组，制备图7所示的串联式巨磁阻p-n结器件。
实施例11.
按实施例9制作，首先在SrTiO3衬底6上外延500nm厚的p型La0.6Sr0.4MnO3外延层。
实施例12.
选用2英寸掺杂单晶Si作衬底1，用SrO作缓冲层，外延50个周期5nm厚的n型SrNb0.15Ti0.85O3外延层2和10nm厚的p型La0.8Ba0.2MnO3外延层3，用粒子束刻蚀把外延片刻蚀成1mm×1mm，间距0.2的单元管芯，用溅射法和光刻技术，在管芯上制备直径0.5mm的电极4，切割成20排每排20个管芯小块，从400个管芯的电极4连接引线5作单元引线，从Si衬底的电极4连接引线5作公共电极。制备图4所示的20×20多元列阵式巨磁阻p-n结器件。
实施例13.
在SrNb0.05Ti0.95O3衬底1上，外延8个周期150nm厚的p型La0.7Pb0.3MnO3外延层2和30nm厚的n型SrSb0.3Ti0.7O3外延层3，用光刻和粒子束刻蚀，制备直径0.6mm，间距0.2mm的单元管芯。把每两个管芯切割成一小块，用光刻和化学腐蚀在每个管芯制备直径0.2mm的铝电极4，用压焊机从电极4连接引线5，制备图3所示的串联式巨磁阻p-n结器件。
权利要求1.一种掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件，包括衬底、电极和引线；其特征在于在衬底上至少有一个或一个以上p-n结结构，该p-n结结构有一p型掺杂镧锰氧层或n型掺杂钛酸锶层与n型掺杂钛酸锶和p型掺杂镧锰氧层交替叠层外延生长在衬底上；电极设置在最上面的外延层和衬底上，或设置在最上面的外延层和在衬底上的第一层外延层上，电极上连接引线。
2.按权利要求1所述的掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件，其特征在于所述的巨磁阻器件可以为一个单元，还包括在一块衬底上有2个以上巨磁阻器件单元，并且巨磁阻器件单元之间通过电极和引线串联或并联组成阵列式巨磁阻器件。
3.按权利要求1或2所述的掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件，其特征在于所述的衬底包括导电的衬底材料和不导电的衬底材料；其中导电的衬底材料包括掺杂钛酸锶、掺杂镧锰氧单晶衬底、Si、Ge或GaAs单晶衬底；不导电的衬底材料包括钛酸锶、钛酸钡、铝酸镧、氧化锆或拉萨特单晶衬底。
4.按权利要求1或2所述的掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件，其特征在于所述的p型掺杂镧锰氧层包括具有磁特性的La1-xAxMnO3，其中式中A包括Sr、Ca、Ba、Pb、Sn、Te、Nb或、Sb或Ta；其x值为0.01～0.4。
5.按权利要求1或2所述的掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件，其特征在于所述的n型掺杂钛酸锶层包括SrDyTi1-yO3或Sr1-yLayTiO3，其中式中D包括Nb、Sb或Ta，其y值为0.005～0.4。
6.按权利要求1或2所述的掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件，其特征在于所述的n型掺杂钛酸锶层和p型掺杂镧锰氧层的厚度与层数可以是相同的，也可以是不同的；其中层厚度为8-1μ。
专利摘要本实用新型涉及一种具有p－n结结构的掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件。它包括衬底、电极和引线；其特征在于在衬底上至少有一个或一个以上p－n结结构，该p－n结结构有一p型掺杂镧锰氧层或n型掺杂钛酸锶层与n型掺杂钛酸锶和p型掺杂镧锰氧层交替叠层外延生长在衬底上；电极设置在最上面的外延层和衬底上，或设置在最上面的外延层和在衬底上的第一层外延层上，电极上连接引线。本实用新型的巨磁阻器件是一种多p－n结结构的高灵敏度磁功能器件，即使在室温和低强度磁场下，也仍然具有很高的灵敏度，可广泛应用于磁探测、磁测量和磁控制。
文档编号H01L43/08GK2574226SQ0225754
公开日2003年9月17日 申请日期2002年9月27日 优先权日2002年9月27日
发明者吕惠宾, 陈正豪, 颜雷, 戴永愚, 刘立峰, 相文峰, 郭海中, 何萌, 周岳亮, 杨国桢 申请人:中国科学院物理研究所