专利名称：曝光设备的传送式基板台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种利用紫外线在带式基板上形成图形的曝光设备，特别涉及传送作为曝光作业对象物的带式基板、在曝光作业前要使各种大小的对象物配置到正确的位置的曝光设备的传送式基板台。
图1是表示一般曝光设备的正视图。
一般地说，如图1所示，曝光设备由光学系统10和传送式基板台构成，光学系统10包括放射紫外线的水银灯12和使水银灯12放射的紫外线单向行进的聚光镜14，利用上述水银灯12放射的紫外线通过光掩模照射到带式基板40上形成图形；而传送式基板台用来传送带式基板，使上述带式基板40曝露于上述光学系统10所照射的紫外线下，将该带式基板40配置在正确位置的状态下在紫外线下曝光形成高精度的图形。
这里，上述传送式基板台包括底座1；传送装置20，设置在所述底座1上，使上述带式基板40沿上述底座的上面移动；以及定位装置30，借助于上述传送装置20移动的带式基板40，把带式基板40配置到正确的位置，使其在上述光学系统10放射的紫外线下曝光形成高精度图形。
上述传送装置20的构成包括一对导辊24，设于上述底座的入口侧和出口侧，以便在水平方向往上述底座1的上面供给由卷起上述带式基板40的第1卷筒22供给的带式基板；两对支持辊26，设于带式基板40的上面和下面，以便设于一对上述导辊24之间，在曝露于紫外线的部位，平行配置所述带式基板40；以及所驱动的第2卷筒28，使其卷起通过上述导辊24和上述支持辊26的带式基板40。
上述定位装置30的构成包括定位针部分32，设于两对支持辊26之间，并设置成能够上升或下降，使之与上述带式基板40的下面接触，从而在曝光作业前把上述带式基板40配置到正确位置而形成高精度图形；和空压汽缸36，使设于汽缸臂34上端的上述定位针部分32能够在垂直方向移动。
这里，上述空压汽缸36把压缩空气供给汽缸头的上侧和下侧，由此连结使上述汽缸臂34上升或下降的油压发生器36a。
图2是表示在常规曝光设备中形成图形的带式基板的平面图，图3a是表示现有技术曝光设备的定位装置侧视图，图3b是表示现有技术曝光设备的定位装置动作图，图4a是表示现有技术曝光设备的固定针平面图，图4b是表示现有技术曝光设备的固定针正视图。
如图2到图4b所示，上述带式基板40的两侧端部形成多个连续的孔42，借助于传送装置20使带式基板40位于上述支持辊26之间，上述定位针部分32上升并插入上述孔42，由此将带式基板40配置在正确的位置。
这里，上述定位针部分32的构成包括固定在上述空压汽缸36的汽缸臂34上端的本体32a，从上述本体32a上面向上侧突出的多个针32b，为了上述带式基板40的配置一旦完成就吸附其带式基板40，在上述本体32a的一侧形成与真空发生器38连结的多个真空孔32c。
按照这样的构成，上述定位针部分32借助于汽缸36上升，插入带式基板的孔42进行定位动作，驱动上述真空发生器38，吸附上述带式基板40。
并且，上述定位针部分32借助于汽缸36下降时，解除带式基板40由上述针32b来的约束，成为可用上述传送装置20进行传送。
可是，对现有技术曝光设备的传送式基板台来说，因为通过其形状不可变的上述定位针部分32进行带式基板40的定位，换成新产品模块的时候，必须更换上述定位针部分32、上述导辊24、和支持辊26等，对新产品模块的更换作业要花很长时间，结果存在生产能力低下的问题。
为了达到上述目的，本发明曝光设备的传送式基板台包括底座；传送装置，与所述底座上面所投入的带式基板大小相对应，可沿所述带式基板宽度方向移动，一边在上下方向约束所述带式基板的两侧端部一边使其移动；定位装置，与所述传送装置连动，在宽度方向约束所述带式基板的两侧面，使带式基板移动到正确的位置；以及真空板，设置在所述底座的上面，吸附所述带式基板，以便固定借助于所述传送装置和定位装置传送到作业位置的带式基板。
图1是表示通常曝光设备的主要部分的正视图。
图2是表示用通常曝光设备制作的基板的平面图。
图3a是表示现有技术曝光设备的定位装置的侧视图。
图3b是表示现有技术曝光设备的定位装置的动作图。
图4a是表示现有技术曝光设备的固定针部分的平面图。
图4b是表示现有技术曝光设备的固定针部分的正视图。
图5a是表示本发明曝光设备的传送式基板台的正视图。
图5b是表示本发明曝光设备的传送式基板台的平面图。
图6是表示本发明曝光设备的传送装置的正视图。
图7是表示本发明曝光设备的定位装置的平面图。
图5a是表示本发明曝光设备的传送式基板台的正视图，图5b是表示本发明曝光设备的传送式基板台的平面图。
本发明曝光设备的传送式基板台，如图5a和图5b所示，由以下部分构成底座50；传送装置60，使得投入的带式基板90沿上述底座50的上面移动，特别是，在大小不同的带式基板90移动的场合，对其传感并可在带式基板90的宽度方向移动，如此使各种大小的带式基板90移动；以及定位装置70，设置成使其与所述传送装置60连动，约束所述带式基板90的两侧面，使其带式基板90移动到正确的位置。
进而，在所述底座50的上面，设置真空板80，通过其表面上形成的吸附孔81吸入空气，以便用所述传送装置60和定位装置70将带式基板90送到正确的位置时固定该带式基板90。
图6是表示本发明曝光设备的传送装置的侧视图。
如图6所示，传送装置60包括驱动部61，相对于上述底座50的后方侧配置，一边约束沿上面移动的带式基板90两侧端、一边传送；以及被动部67，相对于上述底座50的前方侧配置，并与上述带式基板90的两侧端啮合，随着由上述驱动部61传送的带式基板90而转动。
上述驱动部61设有与上述带式基板90的上、下面分别啮合上、下驱动辊62a、62b，这些驱动辊可沿上述带式基板90移动方向转动，上述驱动部61的构成包括从动皮带轮63，设置在上述驱动辊62b的转动轴上；驱动皮带轮65，通过同步皮带64将其与上述从动皮带轮63连动连结；以及电机66，在上述驱动皮带轮65的中心部插设转动轴66a，产生转动力。
这里，在上述上驱动辊62a和下驱动辊62b的外周面形成相互对应的齿轮齿，因此驱动上述下驱动辊62b时，边啮合边转动上述上驱动辊62a。
并且，由于以与上述电机66的转动轴相对向的方式形成上述驱动皮带轮65，所以，可在上述底座50的宽度方向分别形成很长驱动皮带轮65，即使在上述底座50的前后方向移动上述从动皮带轮63和驱动辊62，上述同步皮带64也能一边沿驱动皮带轮65外周面滑动，一边把驱动皮带轮65的驱动力传递给从动皮带轮63。
而且，上述被动部67，在上述带式基板90的上、下面成对配置各自啮合的上、下被动辊68a、68b，随着通过上述驱动部61传送的带式基板90而转动。
即，上述带式基板90，与位于上述底座50后方侧的驱动部61啮合，从前方往后方移动，位于上述驱动部61前方侧的被动部67，同上述带式基板90啮合，在上述带式基板90移动的同时被驱动，因而上述驱动部61转动时，在上述驱动部61与被动部67之间常常受张力作用，可使上述带式基板90不会下垂地前进。
图7是表示本发明曝光设备的定位装置的侧视图。
上述定位装置70由以下部分构成一对移动台75，设置上述驱动辊62和从动皮带轮63，使得用上述驱动部61传送的带式基板90在曝露于紫外线以前配置在正确的位置，而且相互间的距离可变且与上述底座50的上侧相对置的方式配置；驱动装置，设于上述移动台75的一侧，根据所供给的上述带式基板90宽度，调节上述移动台75之间间隔；以及控制部(图中未示出)，将上述带式基板90供给底座50时传感带式基板90的宽度，把驱动信号输送给上述驱动装置。定位装置70根据传感的带式基板90宽度，调整上述移动台75的间隔。
上述驱动装置的构成包括定位用电机77，设于上述底座50一侧；驱动轴78，与上述定位用电机77连结，以中央为中心，两侧形成反方向行进的螺旋线；以及一对滚珠轴承79，分别与上述驱动轴78的两侧结合，固定在上述移动台75一侧。如果向某一方向驱动上述定位用电机77的话，上述移动台75彼此之间的间隔就缩小，向另一方向驱动上述定位用电机77的话，上述移动台75彼此之间的间隔就远离。
上述定位装置70包括多个导杆71，设置为可在上述底座50宽度方向移动，在宽度方向约束上述带式基板90两侧面；以及导板72，设置在上述导杆71顶端，并与上述带式基板90的上面和下面离开规定间隔91配置，遮断约束在上述导杆71上的带式基板90的上下振动。
另一方面，上述底座50的下面，在上述底座50的宽度方向设置多列导轨52，并在上述移动台75的下端，形成与上述导轨52对应的多个导向体76，使其沿上述导轨52滑移，上述定位用电机77动作时，要使上述移动台75成为可在上述底座50上侧容易移动。
而且，上述定位装置70还包括导辊73，设置在上述底座50的入口侧和出口侧，支承上述带式基板90的下侧而防止下垂，以便水平供给上述带式基板90。
如下说明这样构成的本发明曝光设备的传送式基板台动作。
首先，一施加电源，就驱动上述电机66，上述驱动皮带轮65、从动皮带轮63和驱动部61连动，将带式基板90送到一对上述驱动部61之间，通过上述控制部(图中未示出)传感所供带式基板90的宽度，把控制信号输送给上述定位用电机77。
然后，按照输入的信号驱动上述定位用电机77，通过一边转动形成不同方向螺旋线的驱动轴78一边移动上述滚珠轴承79，调节移动台75彼此间的距离。
这样，调节移动台75彼此间的距离，从而借助于上述移动台75上设置的导杆71将上述带式基板90移动到正确的位置，上述带式基板90前进到正确的曝光位置以后，通过真空板80的吸附孔81，一边吸入空气一边把上述带式基板90固定在作业位置。
以上的详细说明中，虽然参照
了本发明曝光设备的传送式基板台，但不限定于本说明书中公开的实施例和附图，不言而喻，在本技术构思范围内，本领域的普通技术人员可以进行包括材质在内的各种变形。
以上这样构成的本发明曝光设备的传送式基板台，采用将设置一对使传送带式基板的驱动辊和把带式基板送到正确位置的导杆的移动台，设置在底座的前方侧和后方侧使其能够调节其间隔的办法，可按照从底座一侧供给的带式基板宽度调节移动台的间隔，能移动各种大小的带式基板，同时使其配置到正确的位置，结果，即使在产品模块改变的场合，也不用更换传送装置和定位装置，能够实现高生产率的曝光作业。
权利要求
1.一种曝光设备的传送式基板台，其特征是包括底座；传送装置，与所述底座上面所投入的带式基板大小相对应，可沿所述带式基板宽度方向移动，一边在上下方向约束所述带式基板的两侧端部一边使其移动；定位装置，与所述传送装置连动，在宽度方向约束所述带式基板的两侧面，使带式基板移动到正确的位置；以及真空板，设置在所述底座的上面，吸附所述带式基板，以便固定借助于所述传送装置和定位装置传送到作业位置的带式基板。
2.按照权利要求1所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述传送装置如此设置，以致根据所述带式基板的大小，可在所述带式基板宽度方向移动。
3.按照权利要求2所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述传送装置的构成包括驱动部，在相对于所述底座的后方侧配置，一边约束所述带式基板的两侧端一边移动；以及被动部，在相对于所述底座的前方侧配置并与所述带式基板的两侧端啮合，随着由所述驱动部传送的带式基板而转动。
4.按照权利要求3所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述驱动部的构成包括上、下驱动辊，设置为与所述带式基板的上、下面分别啮合，可沿所述带式基板的移动方向转动；从动皮带轮，设置在所述上、下驱动辊的一个驱动辊的转动轴上；驱动皮带轮，通过同步皮带将其与所述从动皮带轮连动连结；以及电机，在所述驱动皮带轮中心部插设转动轴，产生转动力。
5.按照权利要求4所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述曝光设备的传送式基板台，在所述电机的转动轴上设置成对形成的驱动皮带轮，在所述底座宽度方向形成得很长，以便沿所述驱动皮带轮的外周面可滑动地设置所述同步皮带。
6.按照权利要求3所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述被动部由上、下被动辊构成，所述被动辊设置为与所述带式基板的上、下面分别啮合，使其随所述带式基板的传送而转动。
7.按照权利要求1所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述定位装置的构成包括移动台，相对于所述底座的前方侧和后方侧设置，以便使设置的所述驱动辊与从动皮带轮的相互距离可变；驱动装置，设置在所述移动台的一侧，按照供给的所述带式基板宽度，调节所述移动台之间的间隔；以及控制部，将所述带式基板供给底座，传感其带式基板的宽度，并且把驱动信号发送给所述驱动装置。
8.按照权利要求7所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述驱动装置构成包括驱动电机，设置在所述底座的一侧；驱动轴，与所述电机连结，以中央为中心，两侧形成反方向行进的螺旋线；以及一对轴承，分别与所述驱动轴的两侧结合，并且与所述移动台的一侧固定；在一个方向驱动所述电机，使所述移动台之间的间隔缩小，而在另一个方向驱动，则使所述移动台之间的间隔远离。
9.按照权利要求7所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述底座的下面在所述底座宽度方向设置多个导轨，所述移动台的下端形成与所述导轨对应的多个导向体，以便沿所述导轨滑移。
10.按照权利要求7所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述定位装置的构成包括多个导杆，设置成使其在所述底座宽度方向能够移动，在宽度方向约束所述带式基板两侧面；以及导板，设置在所述导杆顶端，在所述带式基板的上面和下面离开规定间隔进行配置，遮断被所述导杆约束的带式基板的上下振动。
11.按照权利要求7所述的曝光设备的传送式基板台，其特征是所述定位装置还包括导辊，设置在所述底座的入口侧和出口侧，支撑所述带式基板的下侧，以便在所述底座的上面水平地供给所述带式基板。
全文摘要
本发明提供一种曝光设备的传送式基板台，用于传送作为曝光作业对象物的带式基板，在曝光作业前使各式各样大小的对象物配置到正确位置。这种曝光设备的传送式基板台包括底座；传送装置，设置为根据上述底座上面所投入的带式基板大小可在上述带式基板宽度方向移动，一边上下方向约束上述带式基板两侧端部一边移动；定位装置，设置成与上述传送装置连动，在宽度方向约束上述带式基板的两侧面，使带式基板移到正确位置；以及真空板，设置在上述底座上面而吸附上述带式基板，以便固定用上述传送装置和定位装置传送到作业位置的带式基板。
文档编号H01L21/02GK1477450SQ0314747
公开日2004年2月25日 申请日期2003年7月14日 优先权日2002年8月14日
发明者朴明周, 车相换 申请人:Lg电子株式会社