专利名称:连续性处理的板式水冷电极组等离子体表面处理装置制造方法
【专利摘要】本实用新型揭示了一种连续性处理的板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其结构特征为它具有平行相隔一段距离而设的两块立板和垂直设于两块立板之间且相互平行成组的若干块电极板，该立板固接有夹具板和对应电极板数量的若干组绝缘板，电极板两侧边缘插接定位于绝缘板，该立板在相对电极板纵向的上、下两侧设有导辊且相对电极板组垂向的两侧分别安装放料辊和收料辊，放料辊、导辊、收料辊构成卷材脉冲形通过电极板组的支撑路径，该夹具板设有对应电极板之间供板材定位的嵌槽。应用该表面处理装置，可实现处理卷材与板材的自由转换、应用范围广，而且拓宽了装置的应用灵活性，使用效率高，节约了资源，降低了生产成本。
【专利说明】连续性处理的板式水冷电极组等离子体表面处理装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种等离子体表面处理设备，尤其涉及一种适用对多种不同类型材料进行表面处理的等离子体装置。
【背景技术】
[0002]等离子体表面处理技术是指利用等离子体中包含大量的电子，离子及自由基等活性粒子，这些活性粒子碰撞到被处理物体的表面，会发生相应的物理或化学反应，使材料表面的性质发生变化或是赋予新的功能，以达到其处理目的，满足实际应用的需要，是制备新材料的重要方法。等离子体表面处理技术具有节能环保的特点，在新材料领域有着广泛的用途和市场。等离子体表面处理装置是实现等离子体表面处理技术的基本条件和必备基础。
[0003]然后，现有市售的等离子体处理设备的发展相对较为落后，且均是针对某种形状的样品而制造的单一产品。在对不同类型样品进行表面等离子体处理的过程中，往往需要厂家备齐面向各种样品的各种等离子体处理设备，成本长期难以得到控制。
【发明内容】
[0004]考虑上述现有等离子体表面处理装置技术上的不足与需求，本实用新型旨在提出一种连续性处理的板式水冷电极组等离子体表面处理装置，解决此类设备通用型的问题。
[0005]本实用新型实现上述第一个目的的技术解决方案为:连续性处理的板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其特征在于:所述装置具有平行相隔一段距离而设的两块立板和垂直设于两块立板之间且相互平行成组的若干块电极板，所述立板固接有夹具板和对应电极板数量的若干组绝缘板，所述电极板两侧边缘插接定位于绝缘板，所述立板在相对电极板纵向的上、下两侧设有导辊且相对电极板组垂向的两侧分别安装放料辊和收料辊，放料辊、导辊、收料辊构成卷材脉冲形通过电极板组的支撑路径，所述夹具板设有对应电极板之间供板材定位的嵌槽。
[0006]进一步地，所述电极板表面平铺设有水冷管，水冷管两端安装绝缘套且穿出立板外联水冷器。
[0007]进一步地，所述电极板为三块成组，相对电极板纵向的上侧设有四根导辊、下侧设有两根导辊。
[0008]进一步地，所述电机板为四块成组，相对电极板纵向的上侧设有四根导辊、下侧设有三根导辊。
[0009]进一步地，所述导棍与嵌槽在电极板纵向上相错位。
[0010]进一步地，所述导辊与嵌槽在电极板纵向上对齐，且嵌槽一侧设有用于板材滑入的导向坡面。
[0011]进一步地，所述电极板具有若干种幅宽规格，任一幅宽规格的电极板替换式插接定位于绝缘板。
[0012]本实用新型等离子体表面处理装置的研制与应用，较之于现有技术具有以下多方面突出的优点:一者处理结构功能集成程度高，可实现处理卷材与板材的自由转换；应用范围广，而且使用效率高，节约了资源，降低了生产成本；二者该装置采用水冷附件，工作环境温度较低，避免了一些材质不耐高温不宜处理的难题；再者该装置升级空间较大，基于该装置的基本结构，在真空腔增设一进气口，即可对材料进行活化或接枝处理；又或是增大电极板的幅宽便可处理不同宽度的卷材和板材，拓宽了装置的应用灵活性。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型等离子体表面处理装置实施例一的立体结构示意图。
[0014]图2是本实用新型等离子体表面处理装置实施例一的径向截面示意图。
[0015]图3是本实用新型等离子体表面处理装置实施例二的立体结构示意图。
[0016]图4是本实用新型等离子体表面处理装置实施例三的径向截面示意图。
【具体实施方式】
[0017]本实用新型为一种连续性处理的板式水冷电极组等离子体表面处理装置，旨在解决可分别处理卷材、板材的难题，实现处理卷材与板材的自由转换，提高设备的利用率，降低了企业生产成本；且该装置采用水冷结构，设备工作完成后无需空冷即可继续操作，大大提高了设备的工作效率；并且可以为因温度过高而不适宜处理的某些材质提供了可行性，拓宽了处理材质的多样性。
[0018]下面从本实用新型的核心结构特征来了解本创作的创新设计，如图1至图4所示，该板式水冷电极组等离子体表面处理装置具有平行相隔一段距离而设的两块立板I和若干块电极板，该些电极板垂直设于两块立板I之间且相互平行成组。该立板I固接有夹具板11和对应电极板数量的若干组绝缘板12，电极板两侧边缘插接定位于绝缘板之中(类似于内存装接结构)，该立板I在相对电极板纵向的上、下两侧设有导辊且相对电极板组垂向的两侧分别安装放料辊和收料辊，而且该放料辊4、导辊、收料辊5构成卷材脉冲形通过电极板组的支撑路径，而夹具板11设有对应电极板之间供板材定位的嵌槽111。以此赋予装置同时适用于卷材和板材可选处理的多用性。
[0019]本实用新型上述方案可进一步优化，其做法是在上述电极板表面平铺设有水冷管6，水冷管6两端安装绝缘套7且穿出立板I外联水冷器(未图示)。以此可实现对该等离子体表面处理装置作业时和作业切换过程中电极板快速降温。
[0020]以下通过两个具体的实施例作业演示，具象阐述本实用新型表面处理装置的结构特征和功能实现。
[0021]实施例一，如图1和图2所示此处的表面处理装置适用于对卷材(柔性的)进行等离子体表面处理。从图示可见:该装置处理对象为卷材81。并且该装置具有平行相隔一段距离而设的两块立板I和三块电极板21、22、23，该些电极板垂直设于两块立板I之间且相互平行成组。该立板I固接有夹具板11和对应电极板数量的三组绝缘板12，电极板两侧边缘分别插接定位于对应的绝缘板之中(类似于内存装接结构)，该立板I在相对电极板纵向的上侧设有四根导辊3a、3b、3c、3d，下侧设有两根导辊3e、3f且相对电极板组垂向的两侧分别安装放料辊4和收料辊5，而且该放料辊4、导辊3a?3f、收料辊5构成卷材81脉冲形通过电极板组的支撑路径，而夹具板11设有对应电极板之间供板材定位的嵌槽111 (本实施例中该夹具板闲置)。
[0022]这里，导辊3b与导辊3f上下对齐，导辊3c与导辊3e上下对齐，而所谓脉冲形通过电极板组指的是卷材81的一端从放料辊4上放出，经导辊3a、3b绕接后直下从电极板21、22之间穿过，而后经导辊3f、3e绕接后直上从电极板22、23之间穿过，再经导辊3c、3d绕接后再直下从电极板23右侧穿过绕接到收料辊5之上。由此使得卷材81能够在传送路径上多次通过两电极板之间，经外在电源激发出等离子完成对板材的表面处理过程。
[0023]当然，除图示的实施例外，上述电机板还可以是四块成组，相对电极板纵向的上侧设有四根导辊、下侧设有三根导辊。如此则卷材可多穿过一次电极板之间，进行更深度的等离子体表面处理作业。
[0024]实施例二，如图3和图4所示此处的表面处理装置适用于对板材(偏刚性的)进行等离子体表面处理。从图示可见:该装置处理对象为板材82，其一体装设有板材支架821。并且该装置具有平行相隔一段距离而设的两块立板I和三块电极板21、22、23，该些电极板垂直设于两块立板I之间且相互平行成组。该立板I固接有夹具板11和对应电极板数量的三组绝缘板12，电极板两侧边缘分别插接定位于对应的绝缘板之中(类似于内存装接结构)，该立板I在相对电极板纵向的上侧设有四根导棍3a、3b、3c、3d，下侧设有两根导棍3e、3f且相对电极板组垂向的两侧分别安装放料辊4和收料辊5，而且该放料辊4、导辊3a?3f、收料辊5构成卷材81脉冲形通过电极板组的支撑路径(本实施例中，上述导辊和收、放料辊闲置)。而夹具板11设有对应电极板之间供板材定位的嵌槽111，经外在电源激发出等离子完成对板材的表面处理过程。
[0025]特别地，该实施例中，部分导辊与嵌槽在电极板纵向上对齐，如导辊3b对应一个嵌槽111，导辊3c对应另一个嵌槽111，且嵌槽的一侧设有用于板材滑入的导向坡面112。因为通常导辊是设于两块电极板之间的等距中心面内的，故将嵌槽对齐导辊设置可提高等离子体表面处理效果，而采用该导向坡面，可使得板材82装接时有效避开导辊而自上而下顺利放入，定位于嵌槽之中。
[0026]当然，除图示的实施例外，上述导辊与嵌槽在电极板纵向上也可以稍微相错位，只需满足不干涉板材插入并定位于嵌槽之中且在两块电极板之间的距离差在合理范围内即可。
[0027]需要进一步指出的是，除上述两个实施例及其扩展实施例外，上述电极板还可以具有若干种幅宽规格，任一幅宽规格的电极板替换式插接定位于绝缘板。由此，上述两块立板为间距可调型的定位支撑结构，以满足不同宽幅要求的板材或卷材的表面处理需求。
[0028]综上可见，本实用新型的特点在于:A、处理结构功能集成程度高，可实现处理卷材与板材的自由转换；应用范围广，而且使用效率高，节约了资源，降低了生产成本。B、该装置采用水冷设计，工作环境温度较低，避免了一些材质不耐高温、不宜处理的难题。C、该装置升级空间较大，基于该装置的基本结构，在真空腔增设一进气口，即可对材料进行活化或接枝处理；又或是增大电极板的幅宽便可处理不同宽度的卷材和板材，拓宽了装置的应用领域。D、该装置利用等离子体对材料进行表面处理，节能又环保。
[0029]以上结合附图的实施例描述，旨在便于理解本实用新型的创新实质，但并非以此来限制本实用新型多样性的实施方式及要求的权利要求保护范围。但凡理解本实用新型，并根据上述实施例进行的等效结构变化或构件替换，能够实现相同目的和效果的设计，均应视为对本专利申请保护内容的侵犯。
【权利要求】
1.板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其特征在于:所述装置具有平行相隔一段距离而设的两块立板和垂直设于两块立板之间且相互平行成组的若干块电极板，所述立板固接有夹具板和对应电极板数量的若干组绝缘板，所述电极板两侧边缘插接定位于绝缘板，所述立板在相对电极板纵向的上、下两侧设有导辊且相对电极板组垂向的两侧分别安装放料辊和收料辊，放料辊、导辊、收料辊构成卷材脉冲形通过电极板组的支撑路径，所述夹具板设有对应电极板之间供板材定位的嵌槽。2.根据权利要求1所述板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其特征在于:所述电极板表面平铺设有水冷管，水冷管两端安装绝缘套且穿出立板外联水冷器。3.根据权利要求1所述板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其特征在于:所述电极板为三块成组，相对电极板纵向的上侧设有四根导辊、下侧设有两根导辊。4.根据权利要求1所述板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其特征在于:所述电极板为四块成组，相对电极板纵向的上侧设有四根导辊、下侧设有三根导辊。5.根据权利要求1所述板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其特征在于:所述导辊与嵌槽在电极板纵向上相错位。6.根据权利要求1所述板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其特征在于:所述导辊与嵌槽在电极板纵向上对齐，且嵌槽一侧设有用于板材滑入的导向坡面。7.根据权利要求1所述板式水冷电极组等离子体表面处理装置，其特征在于:所述电极板具有若干种幅宽规格，任一幅宽规格的电极板替换式插接定位于绝缘板。
【文档编号】H01J37-32GK204271037SQ201420434987
【发明者】温贻芳, 蔡高远, 薛迎春, 丁琳, 王红卫, 周红英, 徐黎 [申请人]苏州工业职业技术学院