专利名称：大型基板保持架的制作方法
技术领域：
本发明涉及大型基板保持架，该保持架例如用于保持液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)、有机EL(场致发光)显示器等平板显示器(FPD)的玻璃基板。
背景技术：
例如，随着近年来液晶显示器技术的进步，用于液晶显示器的玻璃基板的尺寸已大型化，例如达到了1m×1m以上。
这样的玻璃基板，在液晶显示器的制造工序中，被置于基板保持架上进行缺陷检查。用于缺陷检查的基板保持架，例如被记载在日本专利特开平9-189641号公报中。特开平9-189641号公报中的结构，是在基板保持架框内设置了多个棂条(桟)。缺陷检查，则进行照亮玻璃基板根据检查员的目视来检查缺陷部分的宏观检查、以及将通过该宏观检查查出的缺陷部分用显微镜放大进行检查的微观检查。
但是，玻璃基板虽然被置于基板保持架上，但因例如人的移动等外在原因产生的振动被传递到基板保持架上，使玻璃基板振动。此外，玻璃基板的振动不仅受人移动的影响，例如受到向清洁室流动的顺流风压而振动，或者受到移送玻璃基板的装卸动作时产生的振动的影响、来自衬地栅条(grating floor)等的振动而振动。并且，还因基板保持架本身的移动等内在原因产生振动，使得玻璃基板振动。
基板保持架为保持尺寸例如为1m×1m以上的大型玻璃基板而大型化，被设置在保持架框内的各棂条的长度也变长。因此，这些棂条以微小的振动共振，其振动变大，使玻璃基板振动。该振动中含有低频振动和高频振动。而且，由于玻璃基板被形成为板厚度较薄，因此易受到基板保持架的振动。
这样若玻璃基板振动，则在检查玻璃基板时，例如进行微观检查时通过显微镜观察到的缺陷部分的放大图像振动，放大图像的观察性能恶化。尤其是，随着显微镜倍率的放大，通过显微镜观察到的放大图像，即使受到微小的振动或微弱的顺流风压也会产生例如微小的振动。因此，放大图像的观察性能恶化，对于检查玻璃基板来说成为不合格图像。其结果，不能够以充分的精度来进行缺陷部分的微观检查和玻璃基板上的线宽度测定。
作为防止这样的玻璃基板的振动的方法，例如有在基板保持架上全面吸附玻璃基板的方法，以及如专利文献1中所记载地将构成基板保持架的多个棂条用金属构件来构成的方法等。
但是，在全面吸附玻璃基板的方法中，玻璃基板的背面侧被基板保持架挡住，不能从玻璃基板的背面侧照射透过照明光。因此，不能利用透过照明来进行玻璃基板的缺陷检查。
此外，在将专利文献1中所示的棂条由金属构件构成的方法中，因金属构件为刚体，所以容易振动。
发明内容
根据本发明的主要观点，本发明提供的大型基板保持架具有框状载物台(ステ一ジ)；多个棂条(桟)，其被设在该载物台框内、用于水平地载置大型基板，设有振动吸收装置，吸收各棂条之间因外在原因和内在原因产生的振动。
本发明的大型基板保持架，具有框状的载物台和多个棂条，所述棂条用于水平地载置被设在所述载物台框内的大型基板，其特征在于，在所述各棂条之间设置有振动吸收装置，该振动吸收装置吸收外在原因及内在原因的振动。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在所述载物台框和多个所述棂条的接合部。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在构成所述棂条的两片保持板之间的空间部。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在所述载物台框和多个所述棂条的接合部，并且设置在构成所述棂条的两片保持板之间的空间部。
所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述载物台框内并列设置有多个所述棂条。
所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述载物台框内以同心圆状设置有多个所述棂条。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置分别被设置在所述各棂条的各个之间，并在所述载物台框内相互平行地被配置多列。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置分别被设置在所述各棂条的各个之间，并被配置成通过所述载物台框内的中央部的一条直线状。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置在所述各棂条的各个之间分别被分散配置。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置具有形成为比所述各棂条的间隔长的所述弹性体，并将所述弹性体压入所述各棂条之间。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体为橡胶。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体由高分子的橡胶所形成。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体由树脂、振动吸收涂料或凝胶状物质所形成。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体的长度、高度以及宽度，分别对应于由外在原因以及内在原因产生的所述基板保持架自身的振动大小而被形成。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体吸收并衰减在纵向、横向以及高度方向上产生的振动。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置，在所述弹性体上施加了罩体。
所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置，在所述弹性体上进行了涂敷。
所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述弹性体表面进行了聚乙烯的涂敷。
图1是示出本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式的结构图。
图2A是本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中保持台上安装基板吸引构件及支承销的结构图。
图2B是本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中保持台上安装基板吸引构件及支承销的结构图。
图3是本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中振动吸收构件的分解结构图。
图4是在本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中各棂条之间压入橡胶的状态的图。
图5A是表示本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中橡胶的上下罩体的图。
图5B是表示本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中橡胶的上下罩体的图。
图6是表示本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中在基板保持架本体的中央部安装了振动吸收构件的变形例的结构图。
图7是表示本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中分散安装振动吸收构件的变形例的结构图。
图8是表示本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中各棂条之间压入橡胶的嵌入变形例的结构图。
图9是表示本发明涉及的大型基板保持架的第1实施方式中各棂条之间压入橡胶的嵌入变形例的结构图。
图10是表示本发明涉及的大型基板保持架的第2实施方式的正面结构图。
图11是表示本发明涉及的大型基板保持架的第2实施方式的上面结构图。
具体实施例方式
下面，参照
本发明的第1实施方式。
图1是大型基板保持架的结构图。该大型基板保持架，例如适用于对平板显示器的大型玻璃基板1的表面进行检查的表面检查装置中。基板保持架本体2被形成为框状。在该基板保持架本体2的开口部3内，沿X方向架设了多个棂条(桟)4。这些棂条4，在基板保持架本体2的开口部3内，以预定间隔并列设置在相互对置的两边之间。这些棂条4由相互的板面相向配置的2片带状保持板4a、4b构成。在这些保持板4a、4b之间，形成有用于透过照明光通过的空间部4c。在这些保持板4a、4b之间，例如也可以夹入透明的防护材料。
在基板保持架本体2的开口部3内的预定位置，例如与中央部分对应的各棂条4上，设置有多个基板吸引构件5。此外，在各棂条4上设置有多个支承销6，用以水平地保持玻璃基板1。
图2A和图2B为示出在棂条4上安装基板吸引构件5和支撑销6的结构图。图2A为从上方看的结构图，图2B为侧面图。这些基板吸引构件5和支承销6，以预定间隔被夹持在2片保持板4a、4b之间。基板吸引构件5吸引保持分别被载置在基板保持架本体2上的玻璃基板1。支承销6水平地支承该玻璃基板1。如图1所示，这些基板吸引构件5和支承销6，以与基板保持架本体2的周缘载置部2a相同的高度而被设置。
在各基板吸引构件5上连接有吸引管7。该吸引管7配置在2片保持板4a、4b之间。该吸引管7例如由透光性材料形成。此外，在各棂条4上配置的各吸引管7，例如缠绕成1根，并如图1所示与设置在基板保持架本体2外部的吸引泵P相连接。
再者，图2A和图2B中示出安装了基板吸引构件5和支承销6的棂条4，在没有安装基板吸引构件时，多个支承销6每隔一定间隔被夹持在各保持板4a、4b之间。
在基板保持架本体2的开口部3内，沿着相对于多个棂条4的配置方向(X方向)垂直的方向安装有多个振动吸收构件8。这些振动吸收构件8，在开口部3内排列多列，例如图1中以预定间隔排列了中央部和其两侧的共3列。这些振动吸收构件8，对因外在原因以及内在原因产生的基板保持架自身的低频振动和高频振动，进行吸收衰减。
图3是将振动吸收构件8局部放大的分解结构图。在各棂条4之间，作为振动吸装置，例如分别压入了弹性体的橡胶9。该橡胶9例如由高分子橡胶形成为长方体。高分子橡胶9具有吸收所施加的振动的性质。例如，在物体冲撞到高分子橡胶9上时，高分子橡胶9具有吸收从物体受到的冲击且不向物体施加冲撞时的冲击的性质。此外，高分子橡胶9不产生尘埃。
该橡胶9的长度形成为比各棂条4的间隔稍微长。再者，橡胶9的长度、高度以及宽度，可根据因外在原因及内在原因产生的基板保持架自身振动的大小等来进行调整。
这样的橡胶9，例如如图4中强调压入状态地所示出的那样，通过分别向各棂条4按压的力，其长度方向两端被夹持到相邻的一个棂条的保持板4b和另一个棂条4的保持板4a之间。
这些各棂条4之间夹持的橡胶9被上下各罩体10、11所覆盖。上罩体10被形成凹状。该上罩体10，在各棂条4进入的地方设置有缺口部12。下罩体11被形成为凹状。该下罩体11的长度形成为比各棂条4的间隔即保持板4b和4a之间的间隔稍微短。这些上下罩体10、11，如图5A所示，将橡胶9从上下方向覆盖，例如用小螺钉13固定。再者，如图5A所示，橡胶9也可以支承成不与上下罩体10、11接触。此外，如图5B所示，橡胶9也可以用上罩体11夹入来进行保持。再有，橡胶9也可以与上下罩体10、11的双方接触而覆盖。
再者，各棂条4的各保持板4a、4b相对于板的厚度具有充分的长宽度尺寸，由刚性高的金属构成。这些保持板4a、4b以抑制振动为目的在其板面上涂敷有防振材料，或者用耐晶间腐蚀不锈钢等抑振金属制造。作为防振材料，例如使用高分子的橡胶或树脂、吸收振动涂料、凝胶状物质。作为凝胶状物质，例如使用有机凝胶、聚合物凝胶、硅胶、氟离子交换树脂等。
此外，最好改变各保持板4a、4b的板厚度，以使各棂条4不共振，或者改变防振材料的厚度或量等来改变各棂条4自身的共振频率，使得各棂条4之间不会产生共振。
此外，在基板保持架本体2的周缘载置部2a上，设置有用于吸附保持玻璃基板1的多个吸引构件(吸附垫板)14。这些吸引构件14被连接在吸引管7上，受到吸引泵P的吸引动作来执行吸引作用。此外，在基板保持架本体2上，设置有多个基准销15和多个按压销16。
下面，对如上所述结构的保持架的动作进行说明。
在基板保持本体2上，载置例如用于液晶显示器上的1m×1m以上尺寸的大型玻璃基板1。该玻璃基板1用多个按压销16按压到多个基准销15上，从而被安装到基准位置上。之后，玻璃基板1通过吸引泵P的动作被吸附保持在各基板吸引构件5和各吸引构件14上。
在该状态下，在玻璃基板1的表面上进行照明，通过检察员的目视观察进行宏观检查。接着，用显微镜放大经宏观检查检查出的缺陷部分，通过观察该放大的图像来进行微观检查。并且，用显微镜拍摄玻璃基板1表面的放大图像，对该图像数据进行图像处理来测定玻璃基板1表面上的线宽。
在对这样的玻璃基板1进行检查测定时，当因外在原因及内在原因而发生的振动被传递到基板保持架本体2上时，通过被压入各棂条4之间的多个橡胶9，振动被吸收并衰减。此时，基板保持架本体2，随着玻璃基板1的尺寸的大型化，设置在保持架框内的各棂条4的长度变长，因此，在基板保持架本体2内的中央部，因外在原因或内在原因产生的振动的大小成为最大。
在本实施方式中，在基板保持架本体2内的中央部所对应的位置，压入多个橡胶9作为振动吸收构件8，因此，在基板保持架本体2内的中央部产生的振动被各橡胶9吸收并衰减。并且，将各棂条4之间用作为振动吸收构件8的多个橡胶9连结，所以即使在纵向(X方向)、横向(Y方向)以及高度方向(Z方向)上产生振动，这些方向的振动也被橡胶9吸收并衰减。
其结果，在对玻璃基板进行微观检查时，通过显微镜观察到的玻璃基板1表面上的缺陷部分的放大图像，能够不振动地良好地进行观察。尤其是，即使显微镜的倍率变高，也不会发生所放大的图像振动地观察的情况。此外，还能够以充分的精度测定出玻璃基板1上的线宽。
如上所述的上述第1实施方式中，在基板保持架本体2内的多个棂条4之间压入橡胶9作为振动吸收构件8，因此，可利用橡胶9来吸收并衰减因外在原因以及内在原因而在横向以及纵向所产生的振动，能够将载置在基板保持架本体2上的大型玻璃基板1的振动抑制在最小限度。
此外，通过将多个棂条4之间用振动吸收构件8来连结，使传递到各棂条4上的共振频率衰减，可使各棂条4之间的共振消失。
此外，通过在基板保持架本体2的中央部所对应的位置上设置振动吸收构件8和基板吸引构件5，可使振动变成最大的基板保持架本体2中央部分的振动被吸收并衰减。由此，在对玻璃基板1进行微观检查时，即使通过显微镜以高倍率观察，也可以在不产生其放大图像的振动地良好地进行观察，在玻璃基板1上的线宽测定(線幅測定)中也能够得到良好地观察图像。
此外，由于该结构中仅在各棂条4之间压入各橡胶9，因此，可通过简单地安装到现有的基板保持架上，来消除振动的影响。
此外，各橡胶9，用上下罩体10、11来覆盖，因此，即使橡胶9从各棂条4之间掉出，也不会从基板保持架本体2脱离。
再者，上述第1实施方式也可以如下变形。
在上述第1实施方式中，沿着相对多个棂条4的配置方向垂直的方向安装了多个振动吸收构件8，但例如如图6所示，也可以在基板保持架本体2的开口部3内的中央部，一条直线状地安装振动吸收构件8。即，在基板保持架2上的玻璃基板1，在中央部其振动大小成为最大。因此，若使玻璃基板1的中央部中的振动被吸收并衰减，则可使玻璃基板1的振动变得极小。随之，即使仅仅通过将基板保持架本体2的各棂条4的中央部用振动吸收构件8来连结，也起到吸收并衰减玻璃基板1的振动的效果。
此外，如图7所示，例如，也可以将振动吸收构件8交错状地分散安装到各棂条4之间。再者，振动吸收构件8的安装位置可以任意取决，若直说的话，最好安装在振动变大的、基板保持架本体2的开口部3的中央部。此外，也可以对吸附保持在基板保持架本体2上的玻璃基板1的振动进行分析，并将振动吸收构件8安装到玻璃基板1的振动波腹或者振动最大地产生的部分。
压入各棂条4之间的作为振动吸收构件8的橡胶9，例如如图8所示，也可以在棂条4的对置位置分别设置各销20、21，在这些销20、21之间嵌入橡胶9。在各棂条4上的设置有各销20、21的各部分形成嵌入用凹部22。在该凹部22，也可以嵌入被形成为圆柱状的橡胶9的端部。橡胶9，例如被形成为圆柱状，并在两端部分别形成用于分别插入各销20、21的各孔23a、23b。
因此，在各孔23a、23b中插入各销20、21，并在各保持板4a、4b的各嵌入用凹部22中嵌入橡胶9。在该情况下，如果橡胶9被夹持在各棂条4之间而没有掉下的可能性的话，则将各销20、21去除，在凹部22中直接嵌入橡胶9也可以。
在各棂条4之间压入的橡胶9，例如，也可以如图9所示，在棂条4的相向位置分别形成圆锥状凹部24、25，并在这些凹部24、25内压入将板状或柱状的前端形成为圆锥状的橡胶9。该情况下，橡胶9被形成为板状，两端部形成为三角形的棱角部。各凹部24、25形成为与各橡胶9的棱角部相嵌合的三角孔。
橡胶9的形状不仅仅限于圆柱状或板状，例如也可以形成为角形。
图3、图8以及图9所示的各橡胶9，其表面可例如用聚乙烯等涂敷。通过涂敷可提高橡胶9的耐久性，并能防止产生静电。而且，也不会与棂条4之间摩擦而产生灰尘或脱落微粒。此外，橡胶9即使放入由特氟隆(teflon)形成的筒内，也能防止产生静电。
振动吸收构件8的设置位置不限于各棂条4之间，也可以设置在被传递振动的部分，例如图1中所示的基板保持架本体2和基板保持架本体2框内的振动吸收构件8之间的各结合部分26。此外，振动吸收构件8，也可以插入到构成棂条4的各保持板4a和4b之间的空间部4c内。此外，振动吸收构件8也可以设置在各结合部分26以及各保持板4a和4b之间的空间部4c的双方。这些振动吸收构件8例如可以使用树脂、振动吸收涂料或凝胶状物质。通过插入这些防振材料，吸收因外在原因以及内在原因而产生的振动，可以提高防振效果。
下面，参照
本发明第2实施方式。
图10及图11是适用于基板检查装置的保持架的结构图。图10是正视图，图11是俯视图。
在检查装置本体30内，在基座32上设置有基板保持架本体31。在基板保持架本体31上，如图11所示，同心圆状地设置有被配置成同心圆状的多个环状棂条33。这些环状棂条33，由在半径方向上且以每预定角度例如每60度设置的多个直线状棂条34连结。在这些各环状棂条33和直线状棂条34之间，分别形成有透过照明用的开口部36。但是，在从外侧起的第一和第二的各环状棂条33之间，每120度配置有直线状支承棂条34，以使后述的升降销44、45可在120度的范围内移动。由此，在基板保持架本体31的外周部侧形成引导用开口部35-3～35-4。此外，在基板保持架本体31的外侧，形成有引导用开口部35-1、35-2，用于后述的升降销44、45移动。
在多个环状棂条33的各个之间，在半径方向上安装有和如图3所示相同结构的多个振动吸收构件8-1～8-6。由此，在各环状棂条33的各个之间压入橡胶9作为振动吸收部件。各环状棂条33由橡胶9所连结。
再有，这些振动吸收构件8-1～8-6不限于在半径方向上被安装成一列，例如也可以只安装在振动变大的一部分环状棂条33之间。此外，也可以分散地在各环状棂条33之间的每一间隔安装一个振动吸收构件8在任意位置。此外，环状棂条33的形状并不限定于如上述第一实施方式的2片保持板4a、4b，也可以是截面细长的长方形板材、截面为矩形状的方棒材、截面为矩形的具有中空部的方形材、或者是截面为コ字形的方棒材。
在基板保持架本体31的下方，如图10所示设有旋转机构37。该旋转机构37由驱动部38及升降销机构39构成，将玻璃基板1通过各开口部35-1～35-4举到基板保持架本体31的上方，在该举起的状态下例如旋转大约90度。驱动部38驱动进行升降销机构39的上下移动和转动。
如图11所示，升降销机构39由各升降销支承杆40、41、和分别立起设置在这些升降销支承杆40、41的两个前端部的各升降销42～45构成。
因此，在升降销机构39在上升的状态下旋转时，各升降销42、43沿着各引导用开口部35-1、35-2内圆弧状地移动，各升降销44、45也沿着各引导用开口部35-4、35-3圆弧状地移动。
此外，在基板保持架本体31两端侧的底座32上，Y方向的导轨46、47相互平行地设置。在这些导轨46、47之间，跨过基板保持架本体31的上方地设置有门柱臂48。门柱臂48被设置成可相对于导轨46、47沿Y方向移动，并且，显微镜49被设置成可相对于该门柱臂48沿X方向移动。
在基板保持架本体31的上方，虽未图示，但设置有宏观照明装置。在基板保持架本体31的下方，设置有线性透过照明装置50。
接着，对使用如上结构的保持架的检查动作进行说明。
在处于水平状态的基板保持架本体31上，载置大型尺寸玻璃基板1。基板保持架本体31以预定角度抬起、摆动。在该状态下，照明光从宏观照明装置照射到玻璃基板1的表面上。由此，来检查例如玻璃基板1表面上的伤痕、缺口、脏污、灰尘的附着等缺陷部分。
另一方面，在进行微观检查的情况下，基板保持架本体31被设置成水平状态。门柱臂49相对于导轨47、48沿Y方向移动。与此同时，显微镜49相对于门柱臂49沿X方向移动，由此，利用显微镜49进行缺陷部分的微观检查。
在这样的检查中，当因外在原因或内在原因产生的振动被传递到基板保持架本体31上时，在配制成同心圆状的多个环状棂条33的中央部其振动变成最大。
在本实施方式中，在被配置成同心圆状的各环状棂条33之间压入橡胶9，因此，可由各橡胶9吸收并衰减传递到各环状棂条33上的振动。而且，即使在纵向(X方向)、横向(Y方向)以及高度方向(Z方向)上产生振动，这些方向的振动也被各橡胶9吸收并衰减。
其结果，在玻璃基板的微观检查时，通过显微镜49观察到的玻璃基板1表面上的缺陷部分的放大图像，可不振动地被良好地观察。尤其是，即使显微镜的倍率变高，也不会发生放大图像振动地被观察的情况。
本发明例如在等离子显示面板(PDP)、有机EL(场致发光)显示器等的平板显示器(FPD)等玻璃基板的基板检查中，用于保持该玻璃基板。
权利要求
1.一种大型基板保持架，具有框状的载物台和多个棂条，所述棂条用于水平地载置被设在所述载物台框内的大型基板，其特征在于，在所述各棂条之间设置有振动吸收装置，该振动吸收装置吸收外在原因及内在原因的振动。
2.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在所述载物台框和多个所述棂条的接合部。
3.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在构成所述棂条的两片保持板之间的空间部。
4.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置设置在所述载物台框和多个所述棂条的接合部，并且设置在构成所述棂条的两片保持板之间的空间部。
5.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述载物台框内并列设置有多个所述棂条。
6.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述载物台框内以同心圆状设置有多个所述棂条。
7.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置分别被设置在所述各棂条的各个之间，并在所述载物台框内相互平行地被配置多列。
8.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置分别被设置在所述各棂条的各个之间，并被配置成通过所述载物台框内的中央部的一条直线状。
9.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置在所述各棂条的各个之间分别被分散配置。
10.根据权利要求1所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置具有形成为比所述各棂条的间隔长的所述弹性体，并将所述弹性体压入所述各棂条之间。
11.根据权利要求10所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体为橡胶。
12.根据权利要求10所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体由高分子的橡胶所形成。
13.根据权利要求10所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体由树脂、振动吸收涂料或凝胶状物质所形成。
14.根据权利要求10所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体的长度、高度以及宽度，分别对应于由外在原因以及内在原因产生的所述基板保持架自身的振动大小而被形成。
15.根据权利要求10所述的大型基板保持架，其特征在于，所述弹性体吸收并衰减在纵向、横向以及高度方向上产生的振动。
16.根据权利要求10所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置，在所述弹性体上施加了罩体。
17.根据权利要求10所述的大型基板保持架，其特征在于，所述振动吸收装置，在所述弹性体上进行了涂敷。
18.根据权利要求10所述的大型基板保持架，其特征在于，在所述弹性体表面进行了聚乙烯的涂敷。
全文摘要
本发明提供一种大型基板保持架。该大型基板保持架中安装有振动吸收构件(8)。其中，在设置于基板保持架本体(2)的开口部(3)内的多个棂条(4)之间，压入了吸收由外在原因及内在原因产生的振动的多个橡胶(9)。
文档编号H01L21/683GK1532532SQ200410030048
公开日2004年9月29日 申请日期2004年3月18日 优先权日2003年3月18日
发明者城崎修哉 申请人:奥林巴斯株式会社