专利名称：晶圆盒把手的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种握持装置，尤其涉及一种可稳固抓牢晶圆盒，而不会从手中滑落，避免晶圆盒内的晶圆破损的晶圆盒把手。
背景技术：
在晶圆的制作处理流程中，通常都是由多部的制程机台来完成整个晶圆的制作流程，而每一部制程机台负责晶圆在每一阶段所需的不同制程处理。但当前后制程的制程机台与制程机台之间的距离相距甚远时，晶圆盒会经由一套仓储系统及运输系统来完成晶圆在制程机台与制程机台之间的传送。
当一批晶圆自某一制程机台完成制程时，该批晶圆会置入晶圆盒中，并通过工作人员用手抓持住该晶圆盒把手的承接部，然后将该晶圆盒从制程机台搬移至仓储系统，接着再借由该仓储系统以及运输系统互相的搭配，以完成该晶圆盒从一制程机台到另一制程机台之间的传送。
其中，该晶圆盒把手的承接部为一种符合SEMI规格的平板设计，主要设计为符合做为仓储系统及运输系统的机械手臂的定位及感应界面来抓取的承载处。但是当工作人员用手去抓持该晶圆盒把手的承接部，并做搬移动作时，经常会因为外力的因素，很容易使得工作人员手上所抓持的晶圆盒无法稳固抓牢，便从手上滑落，进而造成晶圆盒内的晶圆破损。
实用新型内容为了克服现有晶圆盒在做搬移动作时，由于工作人员无法稳固抓牢晶圆盒，易从手上滑落，进而造成晶圆破损的缺点，本实用新型提供一种晶圆盒把手，其可让工作人员的手指伸入弧口并稳固地抓持住晶圆盒，同时又能符合仓储系统及运输系统的机械手臂的定位及感应界面来抓取晶圆盒，从而可稳固抓牢晶圆盒，而不会从手中滑落，避免晶圆盒内的晶圆破损。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种晶圆盒把手，包括本体、衔接部、承接部；其特征在于，所述本体的中央段向一侧边方向设有一由内向外凸出形成弧口的抓持部。
本实用新型的有益效果是，其可让工作人员的手指伸入弧口并稳固地抓持住晶圆盒，同时又能符合仓储系统及运输系统的机械手臂的定位及感应界面来抓取晶圆盒。从而可稳固抓牢晶圆盒，而不会从手中滑落，避免晶圆盒内的晶圆破损。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的第一实施例立体示意图图2是本实用新型的第二实施例立体示意图图3是本实用新型与晶圆盒的组合立体示意图图4是本实用新型与晶圆盒的组合透视立体示意图图5是本实用新型实施状态示意图图中标号说明10晶圆盒把手 12衔接部11本体14抓持部13承接部 141弧口20晶圆盒体30手具体实施方式
请参阅图1、图2所示，本实用新型晶圆盒把手10包括本体11、衔接部12、承接部13及抓持部14；上述本体11为一种长形物，其两端的适当段配合晶圆盒外形为稍弯折状，并且皆设有螺孔为衔接部12，该本体10一侧底边向外延伸一适当的平板为承接部13，该本体10的一侧边方向设为一由内向外凸出形成弧口141的抓持部14；请参阅图3至图5所示，将该晶圆盒把手10装设于该晶圆盒体20的一侧面，该侧面的相对应面也同样的装设一晶圆盒把手10，当工作人员要搬运该晶圆盒体20时，只要将手30的手指从该抓持部14的弧口141处伸入，并抓持住即可做搬运晶圆盒体20的动作。
权利要求1.一种晶圆盒把手，包括本体、衔接部、承接部；其特征在于，所述本体的中央段向一侧边方向设有一由内向外凸出形成弧口的抓持部。
专利摘要一种晶圆盒把手，包括本体、衔接部、承接部；本体的中央段向一侧边方向设有一由内向外凸出形成弧口的抓持部。本实用新型可让工作人员的手指伸入弧口并稳固地抓持住晶圆盒，同时又能符合仓储系统及运输系统的机械手臂的定位及感应界面来抓取晶圆盒，从而可稳固抓牢晶圆盒，而不会从手中滑落，避免晶圆盒内的晶圆破损。
文档编号H01L21/67GK2743969SQ20042009303
公开日2005年11月30日 申请日期2004年9月3日 优先权日2004年9月3日
发明者李古量 申请人:宜锝企业有限公司