专利名称：修复辅助装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种修复辅助装置，该修复辅助装置在显示装置上显示在对工件进行加工的机构、搬送机构等具有种种的驱动机构的装置中发生的异常或故障等错误，并辅助该被显示出的错误的修复的顺序。
背景技术：
公知有如下的显示装置在对工件进行加工或搬送的具有各种驱动装置的装置、将它们组合起来的工序中，向操作者示出在各种驱动机构中发生的异常或故障等错误。例如，具有如下的显示器在集成电路的搬送装置中，在集成电路经过从装载机到卸载机之间的各处理机构被搬送的过程中发生搬送错误的情况下，可以容易地确定其发生场所。
该显示器显示从装载机到卸载机之间的主要工序，并且在发生错误的情况下，该工序部分闪烁。此外，在显示区域的下方个别地显示错误信息(参照日本特开平6-148251号公报的图1)。
但是，在以往的显示装置中存在如下问题。
即，以往的显示装置在确定发生错误的工序上是有效的。但是，作为了解该工序的驱动机构在什么状态下成为错误的手段，仅是显示于显示装置上的文字信息。因而，存在如下问题为了根据该文字信息在短时间内确定驱动机构的哪个部位处发生错误，不是熟练的操作者就无法做到。
特别是，近年来装置的自动化进步，操作者不需要经常管理，故熟练的操作者减少，往往是不熟练的操作者从事错误的修复处理。
因此，不得不参照操作手册等书籍来了解对应于错误内容的修复顺序，其结果，存在在错误的修复处理上花费较多时间这样的问题。
发明内容
本发明是着眼于这样的实际情况而提出的，主要目的在于提供一种修复辅助装置，该修复辅助装置可以高效率地确定在工件的加工或搬送工序中发生的包括在其工序中的驱动机构的错误发生部位、以及可高效率地对已发生的错误进行修复处理。
为了实现这种目的，本发明采用如下的结构。
一种修复辅助装置，其用于修复包括在驱动机构中发生的异常、故障等错误，上述装置包括以下的构成要素显示单元，其显示包括多个上述驱动机构的工作状况等的各种信息；检测单元，检测在上述各种驱动机构的至少任何一个中发生的错误，作为检测信号发送该检测结果；存储单元，其使在上述驱动机构可能产生的多种错误内容与由上述检测单元检测出的错误内容及错误发生部位的驱动机构的图像数据相关联，并将它们作为错误信息予以存储；错误选择单元，其从上述存储单元中选择并读出与从上述检测单元发送来的检测信号相对应的错误信息，使基于该错误信息中所含有的错误内容和图像数据的图像显示在上述显示单元上；工作状态确认单元，其使由上述错误选择单元显示的错误的发生部位是否正常地工作的状态显示在上述显示单元上；第1图像切换单元，其在可由上述工作状态确认单元确认出错误发生部位的工作正常后，结束在上述显示单元上所显示的表示错误内容的图像。
采用本发明的修复辅助装置，则由检测单元检测各种驱动机构中发生的错误，由错误信息选择机构从存储单元中读出基于其检测信号的错误内容与发生部位的图像数据。然后，作为已读出的错误信息的错误内容和驱动机构的图像被显示在显示单元上。因而，根据显示单元上所显示的内容可以容易地确定错误发生部位。即，由于不限于熟练的操作者可以容易地确定错误发生部位，所以可以在短时间内进行修复处理。
此外，在实施了错误发生部位的修复处理后，当操作工作状态确认单元时，利用显示单元的画面可以容易地确认其错误发生部位是否处于正常的工作状态。进而，当可以确认错误发生部位的工作状态是正常时，显示单元上所显示的表示错误内容的图像结束。即，基于显示单元上所显示的内容，实施了错误发生部位的修复处理之后，可以从显示单元的画面上容易地确认错误的修复状况。
此外，优选是上述修复辅助装置具有以下构成。
具有显示控制单元，其进行如下控制在规定的驱动机构或多个驱动机构同时在多个部位发生错误的情况下，对基于从各检测单元发送来的检测信号的错误内容进行比较后，考虑修复处理的顺序，以在表示优先度低的错误内容的图像上叠加优先度高的图像的状态，将多个图像显示在上述显示单元上；在可确认出错误发生部位正常工作时，上述第1图像切换单元使在上述显示单元上所显示的该错误信息的显示结束，再次依次向处于下层的其他错误信息的图像切换。
采用该结构，在发生了多个错误的情况，显示控制单元应该使优先进行修复处理的错误部位的信息显示在显示单元的画面上。然后，当按照所显示的错误内容实施修复处理，结束修复处理而操作第1图像切换单元时，将必须优先在未处理的错误发生部位实施修复处理的部位的错误内容显示在显示单元上。因而，操作者仅靠按照显示单元上所显示的画面的内容进行错误发生部位的修复处理，就不会因弄错处理顺序而给驱动机构或处理的工件等带来损伤。此外，还消除了将在多个部位发生的错误的修复处理顺序组合起来的必要。
而且，优选是上述本发明装置是如下的结构。
上述存储单元所存储的图像数据存储有第1图像数据和第2图像数据；该第1图像数据在表示上述驱动机构的结构的图像上示出上述检测单元的位置；该第2图像数据用于强调显示，该强调显示用于以包含已检测出错误的上述检测单元与由该检测单元所确定的错误发生部位的文字信息的状态，对错误发生予以警告；该修复辅助装置还包括图像数据生成单元和第2图像切换单元；上述图像数据生成单元利用由上述错误选择单元所选择的错误信息，生成一对图像数据，使得基于第2图像数据所输出显示的第2图像叠加在基于上述第1图像数据所输出显示的第1图像上；上述第2图像切换单元在将基于由上述图像数据生成单元所生成的图像数据的图像显示于上述显示单元上时，将显示单元上所显示的图像从上层的第2图像切换到下层的第1图像；上述修复辅助装置构成为当在由上述第2图像切换单元将上述显示单元上所显示的图像切换到第1图像的状态下，上述工作状态确认单元被操作时，错误发生部位的检测单元工作而进行工作确认，当上述驱动机构处于正常的工作状态时、和在驱动机构为错误发生状态不变时的任何一种情况下，强调显示第1图像上所示的上述检测单元的位置。
采用该结构，当在某个驱动机构中发生错误时，作为示出错误的发生内容的文字信息的第2图像被强调显示在显示单元上。然后，当操作者操作第2切换单元而将显示单元的画面从第2图像切换显示到第1图像时，检测到错误发生的检测单元的位置被显示在表示驱动机构的结构的图像上。因而，错误发生部位的确定变得更加容易。
此外，在显示了第2图像的状态下，如果操作工作状态确认单元，则由检测单元确认错误发生部位是否正常工作。然后，在正常状态或错误发生状态的某个情况，显示单元上所显示的正在发生错误的驱动机构上的检测单元的位置显示被强调显示。因而，操作者没有必要一边使驱动机构工作一边目视确认错误发生部位的工作，而仅靠看着显示单元就可以容易地确认工作状况。即，操作者不用参照操作手册等，通过按照显示单元上所显示的内容来对错误实施修复处理，就可以不弄错操作顺序地在短时间内结束修复处理。
另外，本发明中的显示单元是通过对与被显示的图像对应的部分进行接触，来进行图像指定的触摸板式显示单元。
上述第1和第2图像切换单元，作为图像用户接口设在图像上的规定部分上，优选上述工作状态确认单元被构成为作为图像用户接口设在该第1图像上的规定部分上，并且每次接触该第1图像上的规定部分的图像用户接口，就交替地切换强调显示与非强调显示。
优选显示单元是通过接触被显示的图像的规定部分来进行图像确定的触摸板式显示单元。此外，优选第1和第2切换单元作为图像用户接口设在图像上的规定部分上。而且，优选工作状态确认单元设在第1图像上的规定部分上，并且构成为每次接触该第1图像上的图像用户接口的显示形态就交替地切换强调显示与非强调显示。
采用该结构，仅在显示单元的图像的显示区域内就可以进行所有的确认操作。因而，可以消除不需要的动作而谋求处理作业效率的提高。此外，由于当操作切换机构时强调显示显示形态，所以可以确认显示单元正常地动作的情况，并且也可以容易地确认错误发生部位是否正常。
另外，作为错误发生部位的文字信息，例如，或者至少构成为表示驱动机构的名称与驱动机构的错误内容的警告文字，或者构成为包括登记于操作手册或修复手册的错误内容和与错误内容相关联的错误编号中的至少错误编号。
此外，第1图像上所显示的检测单元的位置和第2图像的警告的强调显示例如是使该部分的光强度变化。
图1是表示本发明的一个实施例的整个保护带粘贴装置的立体图。
图2是表示粘贴单元的概略结构的侧视图。
图3是表示本实施例的保护带粘贴装置的电气构成的框图。
图4是表示错误显示处理顺序的流程图。
图5是表示对准台的概略结构的侧视图。
图6是表示第1错误内容的第1图像的图。
图7是表示第1错误内容的第2图像的图。
图8是表示第2错误内容的第1图像的图。
图9是表示第2错误内容的第2图像的图。
具体实施例方式
为了说明本发明，虽然图示了当前认为较佳的几个方式，但是希望理解为本发明不限定于图示的结构和方案。
以下参照
本发明的实施例。
另外，在本实施例中，以将保护带粘贴于半导体晶圆上的保护带粘贴装置中具有修复辅助装置的情况为例进行说明。
图1是表示保护带粘贴装置的总体结构的立体图。
该保护带粘贴装置具有晶圆供给·回收部1、晶圆搬送机构3、对准台4、卡盘台5、带供给部6、分离片回收部7、粘贴单元8、带切断机构9、剥离单元10、带回收部11以及操作部13等；上述晶圆供给·回收部1装填有用于收容作为粘贴对象物的半导体晶圆W(以下，简称为“晶圆W”)的盒C1和用于收容粘贴保护带后的晶圆W′的盒C2；上述晶圆搬送机构3具有机械手2；上述卡盘台5用于放置并吸附保持晶圆W；上述带供给部6向晶圆W供给保护带T；上述分离片回收部7从带有分离片的保护带T剥离回收分离片s1，该保护带T是从带供给部6供给来的；上述粘贴单元8将保护带T粘贴于放置于卡盘台5而被吸附保持的晶圆W；上述带切断机构9沿着晶圆W的外形切断粘贴于晶圆W上的保护带T；上述剥离单元10将粘贴于晶圆W上的切断处理后不需要的带T′剥离；上述带回收部11缠绕回收被剥离单元10剥离下的不需要的带T′；上述操作部13进行对带供给速度等各种的保护带粘贴条件等的设定输入等。以下说明关于各结构部和机构的具体结构。
在晶圆供给·回收部1可并列装入盒C1及盒C2这两个盒。在盒C1中以水平姿势呈多层地插入收容有使布线图案面朝上的多片晶圆W。此外，在盒C2中以水平姿势呈多层地插入收容有粘贴保护带后的晶圆W′。此外，在晶圆供给·回收部1具有检测各盒C1及盒C2的位置的传感器。该传感器在不能检测出各盒C1、C2的位置的情况下，向后述的控制部25发送信号。
晶圆搬送机构3所具有的机械手2被构成为能够沿水平进退移动，并且其整体能够进行驱动旋转及升降。而且，在机械手2的前端具有未图示的、做成马蹄形的真空吸附式的保持部，将保持部插入到呈多层地收容于各盒C1、C2中的晶圆W彼此间的间隙中后，抽出晶圆并将其搬送到各机构，或将保持部插入到粘贴了保护带后的晶圆W′彼此间的间隙中而进行收容。
在本实施例的情况下，机械手2从盒C1中取出了晶圆W时，按对准台4、卡盘台5、及盒C2的顺序搬送晶圆W。另外，机械手2在驱动部、吸附机构等处具有检测其工作状况的传感器。来自该传感器的检测信号被发送到后述的控制部25。
对准台4对形成于晶圆W周缘上的V形槽口、定位平面等检测部位进行位置检测，基于其结果进行对位。即，如图3所示，具有检测晶圆W的位置的传感器26。该传感器26的检测信号被发送到后述的控制部25。
卡盘台5对从晶圆搬送机构3转移过来，并以规定的对位姿势放置的晶圆W进行真空吸附。此外，为了使后述的带切断机构9所具有的切刀12沿晶圆W的外形旋转移动来切断保护带T，在该卡盘台5的上表面上形成有切刀行进槽。另外，卡盘台5具有用于监视吸附机构的工作·停止状态的传感器。
如图2所示，带供给部6被构成为将从供给绕轴14放出的带有分离片s1的保护带T缠绕引导到导辊15组，将剥离了分离片s1的保护带T引导到粘贴单元8，对供给绕轴14施加适度的旋转阻力而使之不进行过度的带放出。另外，带供给部6具有进行保护带T的放出的驱动机构，该驱动机构本身具有用于监视工作·停止状态的传感器。
分离片回收部7驱动缠绕从保护带T剥离下的分离片s1的回收绕轴16，使其沿缠绕方向旋转。
粘贴单元8具有向前水平的粘贴辊17。该粘贴辊17借助气缸(或液压缸)的伸缩动作，在推压保护带将其粘贴于晶圆W的作用位置与上方的待机位置之间而进行升降驱动，并且被未图示的滑动引导机构及丝杠进给式的驱动机构沿图中左右水平方向被往复驱动。另外，如图2所示，在粘贴单元8具有对粘贴辊17是否在待机位置与作用位置之间而正常升降驱动进行检测的第1传感器27与第2传感器28的组。来自这些第1传感器27及第2传感器28的检测信号被发送到后述的控制部25。
位于作用位置的第1传感器27检测粘贴辊17在粘贴保护带T时是否正常地下降到规定高度。
位于待机位置的第2传感器28检测粘贴辊17在结束了保护带T的粘贴后，是否上升而返回到待机位置。
在剥离单元10具有向前水平的剥离辊19，该剥离辊19被未图示的滑动引导机构及丝杠进给式的驱动机构沿左右水平地往复驱动。
带回收部11的对不需要的带T′进行缠绕的回收绕轴20被沿缠绕方向驱动旋转。另外，在带回收部11逐次由缠绕传感器37检测该旋转驱动状态及不需要的带T′的缠绕是否缠满。另外，来自缠绕传感器37的检测信号被发送到后述的控制部25。
带切断机构9被构成为在可驱动升降的未图示的可动台的下部，并列安装有能够绕着位于卡盘台5中心上的纵轴心P驱动旋转的一对支承臂22，并在该支承臂的自由端侧所具有的切刀单元23上安装有刀刃朝下的切刀12，通过使支承臂22绕着纵轴心P旋转而使切刀12沿着晶圆W的外周行进来切断保护带T。
另外，带切断机构9具有检测切刀单元23是否在切断保护带T的作用位置、与上方的待机位置之间而正常地进行升降驱动的传感器、和监视旋转驱动状况的传感器。来自这些传感器的检测信号被发送到后述的控制部25。
操作部13由触摸板式的液晶显示装置构成，并由操作者通过在画面上显示的图形文字来进行操作的接口(以下简称为GUI(图像用户接口))来构成。
如图3所示，控制部25总括地控制晶圆供给·回收部1、搬送机构3、对准台4、卡盘台5、粘贴单元8、带切断机构9、及带回收部11的动作，并接收从该各部分上具有的各传感器发送来的信号，监视各部的工作状况。当从各传感器发送来表示异常的错误信号时，从存储部选择与该错误内容相应的各信息并显示于操作部13的液晶显示装置。另外，关于控制部25的具体处理，将在下文叙述。
在本实施例的情况下，上述各部分具有的传感器相当于本发明的检测单元。
接下来，基于图3所示的装置结构的框图、图4所示的流程图、和图5～9所示的显示画面的图，对在使用上述实施例装置将保护带T粘贴到晶圆W上的过程中的在驱动机构部分中发生异常、故障等错误直到修复为止的修复辅助装置的处理进行说明。
当对保护带粘贴装置的初始设定完成，从控制部25发出工作指令时，自动重复进行如下的处理由晶圆搬送机构3取出收容于盒C1的晶圆W，在对其粘贴了保护带T后，直到再次将晶圆W回收到某个盒为止(步骤S1)。
具体地说，机械手2向放置装填于晶圆供给·回收部1的盒C1或盒C2移动，前端的保持部吸附保持收容于某个盒中的晶圆W并将其搬出。机械手2将取出的晶圆W移放到对准台4。
在对准台4对所放置的晶圆W进行对位。晶圆W的对位结束时，机械手2再次吸附保持着晶圆W对其进行搬送，然后将该晶圆W放置于卡盘台5上。
在卡盘台5上，粘贴单元的粘贴辊17下降，在保护带T上进行推压滚动，将该保护带T逐渐粘贴到晶圆W上。粘贴辊17到达粘贴结束端时就上升。然后，带切断机构9的切刀单元23下降到切断作用位置，由其前端具有的切刀12沿着晶圆W的外周切断保护带T。切刀单元23在切断结束时上升并返回到待机位置。
当切刀单元23返回到待机位置时，剥离单元10向图中右方移动而剥离切断后的不需要的带T′。当剥离单元10到达剥离结束端时，该剥离单元10与粘贴单元8返回到粘贴初始位置。此时，上升了的粘贴辊17返回到待机位置。
被粘贴了保护带T的晶圆W由机械手2吸附搬送，回收到盒C1或盒C2。在该保护带T被粘贴于晶圆W上的期间，作为下一个保护带粘贴对象的晶圆W被机械手2从盒中取出而放置到对准台4上。重复进行这一系列的处理。
在该处理过程中，例如，当假定以发生作为粘贴辊17的升降异常的第1错误(步骤S2)、发生作为对准台4上的晶圆W的位置检测异常的第2错误(步骤S3)的顺序，大致同时发生了错误时，从检测到错误的各传感器依次发送错误信号到控制部25的错误信息选择部29。即，经过以下的处理，错误内容显示在液晶显示装置13的画面上。另外，错误信息选择部29相当于本发明的错误信息选择单元。
首先，在步骤S1，粘贴辊17在进入保护带T的粘贴动作前从待机位置下降到作用位置。但是，在第1传感器27无法检测到从开始下降时刻起在规定时间内下降到作用位置这一情况的情况下，该第1传感器27将错误信号发送到控制部25的错误信息选择部29。
此外，在将被先行处理的晶圆W放置到卡盘台5后，机械手2从盒C1中取出新的晶圆W将其放置到对准台4的保持台。
当放置有晶圆W时，构成对准台4的保持台30以吸附保持着晶圆W的状态绕中心纵轴线P旋转。在该旋转过程中进行晶圆W的槽口的检测处理。即，传感器26是受光传感器，如图5所示，该传感器26与保持台绕着中心纵轴线P旋转驱动连动地工作，在隔着晶圆W与光源31相对配置的位置接受从上方的光源31向晶圆外周照射的光。因此，传感器26与从控制部25向保持台30发送旋转驱动信号同时进行工作，从传感器26将光强度的信号发送到控制部25。
控制部25根据该信号通过比较运算求出光强度变化的位置。在运算的结果无法求出光强度的变化的情况下，判断为保持台30的旋转驱动机构的工作错误，将错误信号发送到错误信息选择部29(步骤S2)。
错误信息选择部29从预先存储于存储部32的错误信息选择并读出与错误信号相应的信息。即，在存储部32中预先存储着表示基于来自装置具有的各传感器的错误信号确定的错误内容与错误发生部位的图像数据(步骤S3)。另外，存储部相当于本发明的存储单元。
由错误信息选择部29读出的两个错误信息被送到显示控制部33。相当于显示控制单元的显示控制部33判断应该优先修复哪个错误。在该情况下，例如，从驱动机构具有的各传感器取得驱动部的当前位置信息，判断按哪种顺序修复才不会有驱动部彼此间接触而遭受损伤等情况。在本实施例的情况下，判断为在粘贴辊17发生的错误的优先度比在对准台4发生的错误的优先度高(步骤S4)。
当由显示控制部33确定错误显示的优先度时，该优先信息被发送到图像数据生成部34。图像数据生成部34基于存储于存储部32的错误信息和优先信息，对每个错误信号生成由第1图像和第2图像构成的一组图像，该第1图像是用文字显示错误警告，该第2图像表示错误发生部位的驱动机构的概略结构。即，如图6所示，在液晶显示装置13的画面上，第1图像35a是例如在用红色强调的面上显示“错误”的文字、错误编号(图中的1507)、错误发生部位与作为错误内容的“粘贴辊下降错误”的文字、以及检测出错误的传感器编号(L091)。另外，错误编号是被登记过的，使得在欲更详细地了解错误内容时，可以参照操作·修复手册等。
此外，在第1画面内设有多个GUIa～g，当接触这些部位时，画面切换而在画面上显示适当的信息。在这些GUI之中，当接触右上的记载为“信息区”的GUIa时，根据错误警告显示，显示第2图像36a，该第2图像36a是图7所示的、显示错误发生部位的驱动机构的概略结构、和设在各驱动部的传感器的位置。另外，记载为“信息区”的GUIa作为本发明的第2图像切换单元发挥作用。
具体地说，在中央显示粘贴单元8的结构，显示有设于粘贴辊17上的第1传感器27和第2传感器28、以及用于检测不需要的带T′的缠绕成为缠满状态的情况的传感器37。另外，由于粘贴单元8因发生错误而停止驱动，所以这些各传感器的显示为空白显示。在各机构正常动作着的情况下，传感器部分例如强调显示为红色。
此外，在画面的左右，显示有各驱动部分的名称与编码编号，编码编号成为GUI显示(步骤S5)。
操作者看着在第2图像36a所显示的错误发生部位的粘贴辊17的位置和第1传感器27的位置来确定错误发生部位，着手修复作业(步骤S6)。
当操作者判断为完成了修复作业时，从设在液晶显示装置13的画面下区域的具有文字显示的GUI的“错误”、“CORRECT(纠正)”、“主”及“前页”之中，选择接触“CORRECT”而进行接触。该部分在每次接触时被交替地切换成内部背景色为红色的强调显示与空白的非强调显示。即，当进行接触操作时，工作信号被从控制部25发送到粘贴单元8，粘贴单元8进行工作。同时，当各驱动部正常工作时，传感器被强调显示成红色。如果，即使操作“CORRECT”，检测出错误发生部位的第2传感器36也未被强调显示的情况下，意味着在第2传感器部分为非强调显示的状态下，修复尚未结束。因此，重复进行修复处理及修复确认的操作(步骤S7)。另外，该记载为“CORRECT”的GUI相当于本发明的工作状态确认单元。
当确认到粘贴辊17的下降错误的修复结束时，由控制部25所具有的判定部38，在经过规定时间后、例如几秒后完全消除关于粘贴单元7的错误内容的显示画面，在液晶显示装置13的画面上显示下一个错误内容。即，如图8所示，在强调显示成红色的面上显示记载有“错误”的文字、错误编号、错误发生部位与错误内容、以及检测出错误的传感器编号的第1图像35b(步骤S8)。
与上述步骤S5同样，当与记载为“信息区”的GUIa接触时，显示对对准台的结构与传感器位置予以表示的第2图像36b。操作者根据该第2图像36b确定错误发生部位，着手修复作业(步骤S9)。
当判断为修复作业完成了时，操作者操作设在液晶显示装置的画面下区域的“CORRECT”来确认是否已修复正常。在该时刻，若错误的修复完成，则由判定部38在数秒后完全消除液晶显示装置13的画面上所显示的错误内容。然后，返回到通常的自动运行的画面，开始粘贴保护带T的自动运行。然后，确认保护带T的粘贴对象的晶圆W是否达到规定数量(步骤S10)。若达到规定数量则结束粘贴处理；若未达到规定数，则继续自动运行的处理。通过以上步骤，结束了错误发生时的一系列的错误警告显示和修复处理。另外，判定部38作为本发明的第1图像切换单元而发挥作用。
如上所述，当在任何一个驱动机构中发生由故障、异常引起的错误时，在液晶显示装置13的画面上，在第1图像中显示文字信息的错误内容及检测出错误发生的传感器。在用该第1图像确认了错误内容后，由于通过切换成处于第1图像下层的第2图像，发生了错误的部位在表示驱动机构的结构的图案之中示出，所以即使是不熟练的操作者也可以容易地确定错误的发生部位。
此外，对错误发生部位进行了修复作业后，若操作液晶显示装置13的画面上所显示的“CORRECT”的GUI，则驱动机构成为工作状态，错误发生部位的传感器对错误发生部位的动作进行确认。该动作确认的结果，修复成正常的情况下，由于传感器的部分被强调显示，所以操作者没有必要目视驱动装置本身而进行错误的修复是否已正常地完成的动作检查。即，操作者仅靠操作液晶显示装置13就能够容易地确认错误内容及修复完成。
此外，在多个错误同时或大致同时发生的情况，确定修复顺序的优先度，以便使驱动部彼此不会在进行错误修复的过程中相冲撞或相干涉，按优先度高的错误内容的顺序在液晶显示装置13的画面上予以显示。如果按照其内容进行修复处理，则可不给予驱动部等损伤地高效率地进行修复处理。此外，由于仅确认画面上的内容、并根据画面上进行各种操作即可，所以没有必要参照操作手册等。即，即使是不熟练的操作者也不会弄错处理顺序，从而可缩短处理时间而谋求作业效率的提高。
另外，本发明还可用如下的方式进行实施。
(1)在上述各实施例中，虽然是在同时在多个部位发生错误的情况下，考虑修复的优先度而确定错误的显示顺序，但是不限于该方式，例如，也可以是错误的发生顺序。
(2)在上述实施例中，虽然以在保护带粘贴装置中具有修复辅助装置的情况为例进行了说明，但也可以应用于具有驱动机构的其他装置。
(3)在上述实施例中，如果操作第2图像的记载为“纠正”的GUI，则在经过规定时间后，液晶显示装置13的画面基于判定部38的指令而恢复到了自动运行用的画面，但也可以设置可操作的GUI，使得可通过与判定部38的判定分开的、操作者的操作使其恢复到自动运行用的画面。
(4)在上述实施例中，虽然每当画面上所显示的错误的修复完成，就使其错误内容的显示结束，但也可以是如下的结构。
例如，构成为错误修复处理后，即使在液晶显示装置13的画面上显示下一个错误显示画面，如果进行接触画面右下方的记载为“前页”的GUI的操作，则可以依次追溯确认先前结束了的错误内容等。
在不脱离本发明的思想或本质的情况下，能以其他的具体的方式来实施本发明，因此，表示发明的范围的不是以上的说明，而应该参照本申请的权利要求书。
权利要求
1.一种修复辅助装置，其用于修复包括在驱动机构中发生的异常、故障等错误，其中，上述装置包括以下的构成要素显示单元，其显示包括多个上述驱动机构的工作状况等的各种信息；检测单元，检测在多个上述驱动机构的至少任何一个中发生的错误，作为检测信号发送该检测结果；存储单元，其使在上述驱动机构可能产生的多种错误内容与由上述检测单元检测出的错误内容及错误发生部位的驱动机构的图像数据相关联，并将它们作为错误信息予以存储；错误选择单元，其从上述存储单元中选择并读出与从上述检测单元发送来的检测信号相对应的错误信息，使基于该错误信息中所含有的错误内容和图像数据的图像显示在上述显示单元上；工作状态确认单元，其使由上述错误选择单元显示的错误的发生部位是否正常工作的状态显示在上述显示单元上；第1图像切换单元，其在可由上述工作状态确认单元确认出错误发生部位的工作正常后，结束在上述显示单元上所显示的表示错误内容的图像。
2.根据权利要求1所述的修复辅助装置，其中，具有显示控制单元，其进行如下控制在规定的驱动机构或多个驱动机构同时在多个部位发生错误的情况下，对基于从各检测单元发送来的检测信号的错误内容进行比较后，考虑修复处理的顺序，以在表示优先度低的错误内容的图像上叠加优先度高的图像的状态，将多个图像显示在上述显示单元上；在可确认出错误发生部位正常工作时，上述第1图像切换单元使在上述显示单元上所显示的该错误信息的显示结束，再次依次向处于下层的其他错误信息的图像切换。
3.根据权利要求2所述的修复辅助装置，其中，上述存储单元所存储的图像数据存储有第1图像数据和第2图像数据；该第1图像数据在表示上述驱动机构的结构的图像上示出上述检测单元的位置；该第2图像数据用于强调显示，该强调显示以包含已检测出错误的上述检测单元与由该检测单元所确定的错误发生部位的文字信息的状态，对错误发生予以警告；该修复辅助装置还包括图像数据生成单元和第2图像切换单元；上述图像数据生成单元利用由上述错误选择单元选择的错误信息，生成一对图像数据，使得基于第2图像数据所输出显示的第2图像叠加在基于上述第1图像数据所输出显示的第1图像上；上述第2图像切换单元在将基于由上述图像数据生成单元生成的图像数据的图像显示于上述显示单元上时，将显示单元上所显示的图像从上层的第2图像切换到下层的第1图像；上述修复辅助装置构成为当在由上述第2图像切换单元将上述显示单元上所显示的图像切换到第1图像的状态下，上述工作状态确认单元被操作时，错误发生部位的检测单元工作而进行工作确认，当上述驱动机构处于正常的工作状态时、和在驱动机构为错误发生状态不变时的任何一种情况下，强调显示第1图像上所示出的上述检测单元的位置。
4.根据权利要求3所述的修复辅助装置，其中，上述显示单元是通过对与被显示的图像对应的部分进行接触，来进行图像指定的触摸板式显示单元；上述第1和第2图像切换单元，作为图像用户接口设在图像上的规定部分上；上述工作状态确认单元被构成为作为图像用户接口设在该第1图像上的规定部分上，并且每次接触该第1图像上的规定部分的图像用户接口，就交替地切换强调显示与非强调显示。
5.根据权利要求3所述的修复辅助装置，其中，上述错误发生部位的文字信息至少构成为表示驱动机构的名称与驱动机构的错误内容的警告文字。
6.根据权利要求3所述的修复辅助装置，其中，上述错误发生部位的文字信息构成为包括登记于操作手册或修复手册中的错误内容和与错误内容相关联的错误编号中的至少错误编号。
7.根据权利要求3所述的修复辅助装置，其中，上述第2图像的强调显示和第1图像上所显示的上述检测单元的位置的强调显示是表示检测单元的部分的颜色变化。
8.根据权利要求3中所述的修复辅助装置，其中，上述第1图像上所显示的上述检测单元的位置和第2图像的警告的强调显示是该部分的光强度变化。
全文摘要
一种修复辅助装置，当传感器检测到在驱动机构中发生的故障等错误时，将错误信号发送到控制部。控制部从存储单元中选择并读出表示对应于错误信号的错误内容的文字信息、和表示发生了错误的驱动机构与该驱动机构中具有的传感器的位置的图像。在液晶显示装置上显示使文字信息的第1图像与驱动机构的错误发生部位的图案的第2图像相叠合而构成一组的错误信息。然后，按照画面上所显示的最上层的错误内容依次进行修复处理。
文档编号H01L21/677GK1987497SQ20061016779
公开日2007年6月27日 申请日期2006年12月18日 优先权日2005年12月19日
发明者山本雅之, 长田典祥 申请人:日东电工株式会社