专利名称：收纳容器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种收纳以半导体晶片、光掩模玻璃、铝盘为代表的基 板等的收纳容器。
背景技术：
由口径300mm的半导体晶片构成的精密基板收纳在前开口箱式收纳 容器中，这种收纳容器具有整齐收纳多张未图示的精密基板的前开口箱 式的容器主体、可密封地关闭该容器主体的开口的正面的拆装自如的盖 体、嵌合在容器主体的正面上的对盖体进行加锁/解锁的加锁机构，根据 SEMI规格的E47. 1而标准化地构成，并通过具有标准化的机械接口的加 工装置的盖体开闭装置而自动地开闭操作盖体。加锁机构具有支承在盖体上而借助加工装置的盖体开闭装置被旋 转操作的旋转板、随着该旋转板的旋转而在盖体的周壁方向上直线地进 退动作的一对进退动作板、和设置在各进退动作板的前端部且在盖体加 锁时从盖体的周壁突出而嵌合卡止在容器主体的正面内周的凹部中并在 盖体解锁时从容器主体的凹部回到盖体内的卡止体。在上述情况下，通过盖体关闭容器主体的开口的正面时，加工装置 的盖体开闭装置向容器主体的开口的正面强力推压嵌合盖体，之后盖体 开闭装置从外部旋转操作加锁机构的旋转板而使各进退动作板从盖体内 部向周壁方向前进，随着各进退动作板的前进，卡止体从盖体的周壁突 出而嵌合卡止在容器主体的凹部中，由此，容器主体的正面^L盖体封闭 为密封状态。但是，在加锁机构的进退动作板和其卡止体由一体的单一部件构成 时，若进退动作板只是直线运动，则进退动作板或卡止体会与容器主体 的凹部摩擦而有可能产生颗粒(particulate )。为了排除这样的问题， 以往，提出有在使进退动作板前进后使其前端部向盖体的厚度方向(宽 度方向)以急角度较大倾斜的方案(参照专利文献1)。此外，提出有由 多个部件构成进退动作板，并在进退动作板的前端部可旋转地支承金属 制的分体的卡止轴的方案。(参照专利文献2)。
专利文献l:日本特表平04 - 505234号公报 专利文献2:日本特开2000 - 58633号公报现有的收纳容器，通过上述技术解决了上述由于进退动作板的筒单 的直线运动而产生颗粒的问题，但各方法都存在问题。首先，在进退动 作板前进后使其前端部以急角度较大地倾斜的情况下，又出现了为了向 进退动作板的前端部传递足够的卡止力，必须设计成即便施加大的力也 不会损坏的问题。此外，又产生了为了使进退动作板的前端部以急角度较大地倾斜而 必须加大盖体的空间或厚度的问题。进而，加锁机构的旋转板上必须形 成多级特殊形状的凸轮面，导致结构复杂化。另一方面，在由多个部件构成进退动作板，并在各进退动作板的前 端部上支承分体的卡止轴时，由于金属制的卡止轴的接触而导致精密基 板的污染的可能也不小。发明内容本发明是鉴于上述情况而提出的，目的在于提供一种收纳容器，其 可抑制和防止由于进退动作体的运动而产生灰尘，可减小盖体的空间和 厚度并防止收纳物品的污染。本发明中，为了解决上述课题，提供一种收纳容器，具有收纳物品 的容器主体、开闭该容器主体的开口部的盖体、和对覆盖容器主体的开口部的盖体加锁的加锁机构，其特征在于，加锁机构包括旋转体，能够旋转；第1进退动作体，通过该旋转 体的旋转，在盖体加锁时从盖体的基准位置向盖体的周缘部方向突出， 在盖体解锁时回到盖体的基准位置；第二进退动作体，可旋转地支承在 该第1进退动作体上，在盖体加锁时从盖体突出而被插入到容器主体的 开口部内周的凹部中，在盖体解锁时从容器主体的凹部向盖体方向返回； 以及引导体，使突出的第二进退动作体向盖体的厚度方向倾斜。另外，可以设计成，盖体由嵌合在容器主体的开口部中的框体和覆 盖该框体的罩形成，在该框体和罩之间夹设有加锁机构的旋转体、第一 进退动作体、以及第二进退动作体，在框体和罩的对置面的至少某一方 上形成有加锁机构的f 1导体。另外，可以设计成，在加锁机构的第二进退动作体的两侧部上，分 别形成有与引导体接触的销突起，引导体形成为截面大致多边形，并且， 该引导体的与笫二进退动作体的销突起接触的接触面倾斜，而使突出的第二进退动作体相对于第一进退动作体在IO。
~45°的范围内倾斜。进而，可以设计成，加锁机构的笫二进退动作体形成为大致板状， 该第二进退动作体的前端部形成为减小与容器主体的凹部接触的面积的 形状。在此，在技术方案的物品中，至少包括以半导体晶片(200、 300、 450mm型等)、光掩模玻璃、液晶玻璃、铝盘为代表的单个或多个的基板、 机械用品、电气电子用品、建筑用品、家庭用品等。容器主体或收纳容 器可为前开口箱式，也可为上开口箱式，可以为透明、不透明、半透明、 导电性、绝缘性、FOUP型、FOSB型等。容器主体的顶板或壁的一部分上 可选择性地形成用于把握物品情况的透视窗。此外，加锁机构可为单个 或多个。加锁机构的第一进退动作体可为向上下方向移动的类型，也可为向 前后方向或左右方向移动的类型。此外，第二进退动作体可旋转地支承 在第一进退动作体上，这里所说的旋转包括转动或摆动。该第二进退动 作体的前端部形成为减小与容器主体的凹部接触的面积的形状，具体而 言可形成为截面大致三角形、楔形、箭头形等。进而，销突起可以是与 亏1导体直接接触的类型也可是经由圆筒型的辊而间接地接触的类型。根据本发明，若在容器主体的开口部上嵌合盖体并旋转操作加锁机 构的旋转体，则随着旋转体的旋转，第一进退动作体向盖体的周缘部方 向突出，随着该第一进退动作体的突出，分体的第二进退动作体一边净皮 引导体引导一边从盖体倾斜着突出，并且与容器主体的凹部倾斜地接触， 通过该接触而借助盖体关闭容器主体。才艮据本发明，具有下述效果可抑制和防止由于进退动作体的运动 而产生尘埃的情况，可减小盖体的空间或厚度。此外，由于可减少或省 略金属部件，所以具有可防止所收纳的物品污染的效果。此外，若在盖体的框体和罩之间夹设加锁机构的旋转体、第一进退 动作体、以及第二进退动作体，则可借助罩的保护作用而防止向加锁枳i 构施加外力时造成损伤或变形。此外，若使引导体的第二进退动作体的与销突起接触的接触面倾斜 而使第二进退动作体相对于笫二进退动作体在10° ~45°的范围内倾 斜，则可抑制第二进退动作体的前端部相对于容器主体的凹部滑动而妨 碍第二进退动作体的动作的情况。进而，若将加锁机构的第二进退动作体形成为大致板形，并将该第 二进退动作体的前端部形成为减小与容器主体的凹部接触的面积的形 状，则可防止第二进退动作体与容器主体的凹部摩擦而产生颗粒或尘埃 等的情况。
图l是表示本发明的收纳容器的实施方式的整体立体图。图2是表示本发明的收纳容器的实施方式的盖体和解锁状态的加锁 机构的主视说明图。图3是表示本发明的收纳容器的实施方式的盖体和加锁状态的加锁 机构的主视说明图。图4是表示本发明的收纳容器的实施方式的解锁状态的加锁机构的 剖视说明图。图5是表示本发明的收纳容器的实施方式的加锁状态的加锁机构的 剖视说明图。图6是表示本发明的收纳容器的实施方式的加锁机构的主视说明图。图7是表示本发明的收纳容器的实施方式的加锁机构的分解侧视说 明图。图8是示意性地表示本发明的收纳容器的实施方式的加锁状态的加 锁机构的剖视说明图。图9是表示本发明的收纳容器的实施方式的加锁机构的第一进退动 作板的立体说明图。图IO是从反面侧表示图9的笫一进退动作板的立体说明图。图11是表示本发明的收纳容器的实施方式的加锁机构的第二进退 动作板的立体说明图。图12是从反面侧表示图11的第二进退动作板的立体说明图。附图标记i兌明 1容器主体 <formula>formula see original document page 7</formula>
围缘部(开口部) 卡止凹部(凹部)盖体 框体 罩引导件 贯通孔 加锁机构 旋转板(旋转体)第一进退动作板(第一进退动作体) 销突起第二进退动作板(第二进退动作体) 卡止突部(前端部)销突起引导肋(引导体)具体实施方式
以下，参照
本发明的优选实施方式，本实施方式的收纳容 器如图1至图2所示是输送用的精密基板收纳容器，包括收纳作为物品 的多张精密基板的容器主体1、开闭该容器主体1的开口的正面的盖体 10、对覆盖容器主体1的正面的盖体10进行加锁/解锁的左右一对的加 锁机构20，各加锁机构20包括旋转板21、 一对第一进退动作板26、 一 对第二进退动作板32、以及多个引导肋37。精密基板未图示，但由口径300mm的薄圆板形的半导体晶片构成， 正反两面中的至少正面被进行了镜面加工，借助专用的机器人相对于容 器主体1放入取出25或26张。容器主体1，如图1所示，使用既定的树脂而成形为正面开口的透 明的前开口箱，起到将多张精密M沿上下方向排列而整齐收纳的作用。 作为成形该容器主体1的既定的树脂，不特别限定，可举出例如聚碳酸 酯、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、环烯烃等。其中聚碳酸酯刚性和 透明性优异所以优选。可根据必要而赋予这些树脂导电性。
容器主体1，其正面的周缘部向外以截面大致L字形弯折而形成盖 体嵌合用的围缘部2，在该闺缘部2的内周面的上下两侧，分别凹陷形 成加锁机构20用的卡止凹部3 (参照图4、图5、图8)。此外，在容器 主体1的内部后方，经由保持槽而保持精密基板的后部周缘的左右一对 的后保持器4在上下方向上隔着间隔排列设置，在容器主体1的内部两 侧，分别形成相互对置而将精密基板的两侧部周缘保持为大致水平的齿 5，该左右一对的齿5在上下方向上隔着间隔排列设置。各齿5具有形成为俯视大致〈字形或者大致半圓弧形而沿着精密 基板的侧部周缘的平板、在该平板的前部内侧上部一体形成的平坦的前 部中等壁厚区域、在平板的前部外侧上部一体形成且位于前部中等壁厚 区域的外侧的平坦的前部厚壁区域、在平板的后部一体形成的后部中等 壁厚区域、在平板的后部形成且位于后部中等壁厚区域的前方并以很小 的面积位于靠容器主体l的侧壁处的后部厚壁区域。在齿5的前部中等壁厚区域和前部厚壁区域之间，很小地形成与精 密基板的侧部周缘接触的垂直的阶梯，前部厚壁区域起到下述作用在 取下盖体10时，限制精密基板从容器主体l向前方掉出。此外，在前部 中等壁厚区域和后部中等壁厚区域之间，形成稍微凹陷的薄壁区域，该 薄壁区域与精密基板的侧部周缘经微小的间隙对置。这样的齿5,在前 部中等壁厚区域和后部中等壁厚区域上维持高精度地水平支承精密基板 的侧部周缘，防止由于精密基板在上下方向上倾斜而导致专用机器人进 行的放入取出变得困难。在容器主体1的底面的前部两侧和后部中央，配设;故定位并搭载在 加工装置上的定位件，在容器主体1的底面后部，从后方拆装自如地安 装薄板且小型的底板，通过由加工装置识别从下方拆装自如地嵌入在该 底板中的识别体，而掌握收纳容器的类型和精密基板的张数。在容器主体1的顶板中央部，拆装自如地安装由被称为OHT的自动 搬送机保持的机器人凸缘6，在容器主体1的两侧壁外表面上，分别安 装有厚壁的圓形板或U字形的搬送手柄，通过把持该一对搬送手柄而搬 送收纳容器。另外，定位件、底板、机器人凸缘6、搬送手柄由聚碳酸酯、聚醚 酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、环状烯烃树脂等成形。这些材料中，可根 据必要而添加碳黑、乙炔黑、碳纤维、碳微管、金属纤维、防带电剂等。
盖体10，如图2至图5所示，具有可密封地嵌合在容器主体1的围 缘部2上的拆装自如的框体11、和分别覆盖该框体11的正面两侧的左 右一对的罩12,该框体11和左右一对的罩12之间，分别夹设加锁机构 20。该盖体10由含有氟的聚碳酸酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚醚酰亚胺、 聚醚醚酮、环烯烃树脂等成形，为四角部进行了倒角的横长的正面呈大 致矩形的形状。根据必要可对该盖体10的材料赋予导电性。在框体11和一对罩12的对置面上，分别形成多个相互对置的直线 轨道形的引导件13 (参照图2以及图5)，加锁机构20的第一、第二进 退动作板26、 32在该多个引导件13的引导面的引导下运动。框体ll形 成为浅底的截面大致盘形，在反面的中央部，经由夹持槽而夹持精密基 板的前部周缘的弹性的前保持器在上下方向上排列安装。夹在容器主体1的围缘部2和盖体IO之间的环形的密封垫圏14可 压缩变形地嵌合在框体11的周壁上，在周壁的上下两侧，分别穿设有与 围缘部2的卡止凹部3对应的贯通孔15 (参照图4、图5、图8)。各加锁机构20如图6至图12所示，包括可转动地支承在盖体10 上的旋转板21、通过该旋转板21的旋转而在盖体10加锁时从盖体10 内的基准位置向盖体10的周壁方向直线地突出并在盖体10解锁时从突 出位置直线地回到盖体10内的基准位置的一对第一进退动作板26、可 转动地连结支承在各第一进退动作板26的前端部上并在盖体10加锁时 从盖体10的周壁突出而插入容器主体1的卡止凹部3中且在盖体10解 锁时从容器主体1的卡止凹部3退回到盖体10内的第二进退动作板32、 形成在盖体10上并在盖体IO加锁时使突出的第二进退动作板32在盖体 10的厚度方向上慢慢倾斜的一对引导肋37。各加锁机构20由聚碳酸酯、聚对苯二曱酸丁二醇酯、聚醚酰亚胺、 聚醚砜、聚醚醚酮、聚苯砜、聚缩醛树脂等成形。这些材料中，根据必 要而添加碳黑、乙炔黑、碳纤维、碳微管、金属纤维、防带电剂、滑石 粉等。旋转板21，在圆板22的中心部具有筒形的净皮操作肋23，可旋转地 轴支承在框体11的正面侧部中央，通过从外部在净皮操作肋23上插入贯 通罩12的盖体开闭装置的操作键而旋转。在该旋转板21的圆板22上， 沿周向穿设有半圆弧形的一对槽孔24，各槽孔24的一端部朝向旋转板21 的中心部较大地弯曲。
呈大致J字形的一对臂25分别从被操作肋23的外周面向宽度方向 外侧突出形成，各臂25与罩12的突部卡合而起到将旋转板21锁定在正 常位置的功能(参照图6)。各第一进退动作板26如图9或图10所示，基本上形成为长方形的 板，在正反面上分别并列地形成用以提高强度的凹凸27，经由多个引导 件13而可直线运动地夹在框体11和罩12之间，位于旋转板21的上下 方向上。该第一进退动作板26，其前端部形成为颈部28,在该颈部28 上朝向宽度方向安装用于与第二进退动作板32连结的连结销29，在正 面的末端部中心，立设着嵌入到旋转板21的槽孔24中的圆柱形的销30。第一进退动作板26的两侧部上，如图2或图3所示，分别突出地 形成可滑动地夹持在框体11和罩12的引导件13、 13之间的圆柱形的销 突起31。各第二进退动作板32,如图11或图12所示，形成为基板上为矩形 的凸凹的板，在正反面上分别并列形成用于提高强度的凹凸33，经由多 个引导件13和引导肋37而夹在框体11和罩12之间。该第二进退动作 板32，其前端部较细地形成为截面大致三角形的卡止突部34，该卡止突 部34贯通盖体10的贯通孔15而倾斜地插入容器主体l的卡止凹部3中。在第二进退动作板32的末端部，凹陷地形成拆装自如地嵌合并支 承第一进退动作板26的连结销29的U字形的槽部35,在第二进退动作 板32的两侧部，分别突出形成可滑动地夹持在框体11和罩12的引导件 13之间的圆柱形的销突起36。多个引导肋37在框体11的正面侧部隔着间隔一对对地设置，位于 第二进退动作板32的两側部而与销突起36接触，并且在盖体10的上下 方向上进行引导。各引导肋37，例如形成为随着从盖体10的外方朝向 内方而慢慢变细的直角三角形，与第二进退动作板32的销突起36接触 的倾斜面起到下述作用使突出的第二进退动作板32相对于第一进退动 作板26或其移动方向以10° ~45° ，优选15° ~25°的角度(6 )倾 斜(参照图5)。第二进退动作板32的倾斜角度在10。 ~45°的范围内是由于，在 倾斜角度不满10°时，第二进退动作板32的卡止突部34会相对于容器 主体1的卡止凹部3滑动，有产生颗粒的可能。相反，若倾斜角度超过 45° ，则第二进退动作板32的动作所要求的负荷变大，会妨碍第二进退
动作板32的动作。在上述方案中，在借助盖体10关闭容器主体1的开口的正面时， 加工装置的盖体开闭装置将盖体10按压嵌合在容器主体1的围缘部2 上，之后，盖体开闭装置从外部对各加锁机构20的旋转板21向顺时针 方向旋转操作。若旋转板21向顺时针方向旋转，则各第一进退动作板26被引导件 13引导并且在盖体10的上下方向上直线地突出，随着该第一进退动作 板26的突出，各第二进退动作板32被引导件13或引导肋37引导并从 盖体10的贯通孔15向前方倾斜着突出，并且各第二进退动作板32的卡 止突部34与容器主体1的卡止凹部3前表面倾斜地接触，通过该倾斜的 接触而通过盖体10在牢固的密封状态下关闭容器主体1的正面(参照图 3、图5、图8)。此时，由于第二进退动作板32的前端部形成为面积小的截面大致 三角形的卡止突部34而不是简单的板形，所以能减小与卡止凹部3前表 面的接触区域，可非常有效地减小颗粒产生的可能。与上述动作相反，在从容器主体1的正面取下盖体10时，盖体开 闭装置从外部对各加锁机构20的旋转板21向逆时针方向旋转操作。若旋转板21向逆时针方向旋转，则各第一进退动作板26被引导件 13引导且从突出位置直线地后退回原来的位置，并且随着该第一进退动 作板26的后退，倾斜的第二进退动作板32从容器主体1的卡止凹部3 退回到盖体10的贯通孔15内，通过该后退而变为可从容器主体1的正 面取下盖体10的状态(参照图2、图4)。之后，通过盖体开闭装置从容 器主体1的正面吸附而取下盖体10。根据上述方案，即便第一进退动作板26直线运动，与其分体的第 二进退动作板32也是倾斜着嵌合并卡止在容器主体1的卡止凹部3中， 所以容器主体1的卡止凹部3与第二进退动作板32不会摩擦而产生颗 粒。此外，由于将进退动作板分割为第一、第二进退动作板26、 32，所 以即便使第二进退动作板32以急角度向罩方向倾斜，也不会与盖体10 的框体11及罩12发生任何干涉。此外，由于将进退动作板分割为第一、笫二进退动作板26、 32而 缩短第一、第二进退动作板26、 32的长度方向上的长度，所以可提高长 度方向的挠曲强度。特别是，对于作用有卡止力的第二进退动作板32， 可将长度方向的尺寸设定为宽度方向的尺寸的1~ 3倍，所以可显著提高 长度方向的挠曲强度。因此，即便是例如较小的力(例如，40N以下的力)，卡止力也可充 分地传递到第二进退动作板32而实现可靠的密封，无需通过牢固的支承 构造支承第一、第二进退动作板26、 32，而且可缩小盖体10的空间并 减小厚度。此外，由于进退动作板为分割成第一、第二进退动作板26、 32的简单的组装构造，所以可容易地只更换由于连续使用或冲击等而磨 损的部件、损伤严重的部件。此外，由于进退动作板由多个部件组装而成，所以来自盖体10的 反力不会直接传递到旋转板21上，可非常有效地防止旋转板21自由旋 转或损伤，还可追求可靠的自动返回。此外，由于无需在加锁机构20的 旋转板21上形成多级特殊形状的凸轮面，所以可实现结构的简化。此外，由于无需使用金属制的卡止轴，所以不会由于金属成分的析 出而导致容器主体1中收纳的精密基板的污染。进而，由于可通过比以 往小的力使加锁机构20动作，所以不会导致精密基板的取出错误或污 染。进而，由于多个第二进退动作板32的卡止突部34分别与容器主体 1的卡止凹部3前表面倾斜接触而牢固地密封容器主体1，所以不易发生 盖体10的变形或倾斜，而且可使密封垫圈14均匀地接触围缘部2而变 形，所以可大幅提高密封性。另外，在上述实施方式中，通过左右一对的罩12覆盖框体11的正 面两侧，但不限定于此。例如，可通过单一的罩12覆盖框体11的正面。 此外，引导件13、臂25、销突起31、 36、连结销29也可如图1至图12 所示那样进行适当的增减变更。此外，加锁机构20的旋转板21、 一对 第一进退动作板26、 一对第二进退动作板32以及多个引导肋37的材料 中可添加硅酮树脂或氟树脂而提高滑动性。此外，第一、第二进退动作板26、 32可分别形成为杆形等形状。 此外，第二进退动作板32的卡止突部34或引导肋37只要可得到相同的 作用效果即可，可形成为截面三角形、梯形
权利要求
1.一种收纳容器，具有收纳物品的容器主体、开闭该容器主体的开口部的盖体、和对覆盖容器主体的开口部的盖体加锁的加锁机构，其特征在于，加锁机构包括旋转体，能够旋转；第1进退动作体，通过该旋转体的旋转，在盖体加锁时从盖体的基准位置向盖体的周缘部方向突出，在盖体解锁时回到盖体的基准位置；第二进退动作体，可旋转地支承在该第1进退动作体上，在盖体加锁时从盖体突出而被插入到容器主体的开口部内周的凹部中，在盖体解锁时从容器主体的凹部向盖体方向返回；以及引导体，使突出的第二进退动作体向盖体的厚度方向倾斜。
2. 如权利要求1所述的收纳容器，其特征在于，盖体由嵌合在容 器主体的开口部中的框体和覆盖该框体的罩形成，在该框体和罩之间夹设有加锁机构的旋转体、第一进退动作体、以及第二进退动作体，在框 体和罩的对置面的至少某一方上形成有加锁机构的引导体。
3. 如权利要求1或2所述的收纳容器，其特征在于，在加锁机构 的第二进退动作体的两侧部上，分别形成有与引导体接触的销突起，引 导体形成为截面大致多边形，并且，该引导体的与第二进退动作体的销 突起接触的接触面倾斜，而使突出的第二进退动作体相对于第 一进退动 作体在IO。
~45°的范围内倾斜。
4. 如权利要求1、 2或3所述的收纳容器，其特征在于，加锁机构 的第二进退动作体形成为大致板状，该第二进退动作体的前端部形成为 减小与容器主体的凹部接触的面积的形状。
全文摘要
本发明提供一种收纳容器，可防止由于进退动作体的运动而产生灰尘，可减小盖体的空间和厚度并防止收纳物品的污染。具有收纳精密基板用的容器主体(1)、开闭该容器主体(1)的正面的盖体(10)、对覆盖容器主体(1)的盖体(10)进行加锁/解锁的加锁机构(20)。加锁机构(20)包括支承在盖体(10)上的旋转板(21)、通过旋转板(21)的旋转而在盖体(10)加锁时向盖体(10)的周壁方向突出且在盖体(10)解锁时回到盖体(10)的基准位置的第1进退动作板(26)、支承在第一进退动作板(26)的前端部并在盖体(10)加锁时从盖体(10)的周壁突出而插入到容器主体(1)的卡止凹部(3)中且在盖体(10)解锁时从容器主体(1)的卡止凹部(3)向盖体方向返回的第二进退动作板(32)、以及使突出的第二进退动作板(32)向盖体(10)的厚度方向倾斜的引导肋(37)。
文档编号H01L21/673GK101164154SQ20068001300
公开日2008年4月16日 申请日期2006年3月30日 优先权日2005年4月18日
发明者三村博, 长谷川晃裕 申请人:信越聚合物株式会社