用于测量固态器件中的薄层的方法

专利名称：用于测量固态器件中的薄层的方法
技术领域：
本发明涉及使用声波或者脉冲来非破坏性地测量压焊层的厚度的方法，所述压焊层夹在中间而且与该压焊层不同的上层和下层材料压焊在一起。我们使用术语“波”作为在现有技术中所使用的物理定义，特别是，我们将脉冲包括在我们的波的定义中作为具有有限持续时间的波。
更具体地说，本发明提出了非破坏性地准确测量在固体中所包含的压焊层的厚度的方法，该方法当压焊层的厚度很小以至来自第一界面的主回波和来自次界面的次回波不可区分时也可以试用。也就是说，用信号检测器或者诸如示波器之类的其他设备不能够独立地观测到回波的特征(最大值、最小值、时间位置)。
因此本发明的方法将使得能够与中间压焊层的厚度无关地确定这种压焊层的精确厚度量度。
本发明的优选实施方式通过下面步骤来实现这种目将波或者脉冲从声学显微镜施加到层化的物体上地，该层化的物体将导致主回波从压焊材料和顶部或者上层材料之间的界面反射，而且导致次回波从压焊材料和下层材料的解码反射；检测和数字化该回波意产生包括两个回波的数字时间序列，处理该数字时间序列以从其中去除任何噪声；针对主回波数字地滤波该时间序列；将经滤波的主时间序列的最大值的时间位置和幅度进行定位；使用从所述定位化中获得的时间位置和幅度对主回波进行时间平移和定标；从所述时间序列中减去所述主回波的所述转换的模型，以获得没有主回波的经净化时间序列；使用用于次回波的滤波器数字化地对所述经净化时间序列进行滤波；从两个经滤波的时间序列的最大值的位置中，从主回波和次回波的定位之间的差中，确定穿越时间(flight time)，即，声波在压焊层中来回传播所使用的时间；和确定所述物体的压焊层的厚度，其等于所测量的穿越时间的一半乘以声波在压焊层中的速度。
从结合附图的下面描述中，本发明的这些和其他目地、特点和优点将变得更加明显。



图1示意地示出耦合到计算机和示波器的声学显微镜，将声波施加到物体的表面，该物体包括由中间压焊层固定到第二材料上的第一材料； 图2示出了从物体反射的声学信号的示波器显示，该物体包含足以产生较大地分离的主和次回波的厚度的压焊层； 图3示出了在已经将图2中所示的主和次回波数字化为相应时间序列之后的这些回波； 图4示出了从图3中所示的时间序列中提取的主和次回波数字模型； 图5示出了当物体包含其厚度薄到以至于主和次回波彼此重叠的压焊层时，从图1的物体返回的主和次回波； 图6示出了作为示波器所接收到的、示波器实际显示的图5的主和次回波； 图7示出了图6的信号，该信号被数字化为时间序列； 图8示出了图7中所示的时间序列是如何通过图4中所示的主回波的数字模型被匹配滤波的； 图9是示出本发明的优选过程的流程图，该过程用于确定产生不可区分的主和次回波的压焊层的厚度；和 图10是概括的过程的流程图，该过程用于确定产生不可区分的主和次回波的压焊层的厚度。

具体实施例方式 通过参照附图可以更好地获得对本发明的特点和优点的全面理解，具体地说，在附图中图1示意地示出声学显微镜，将声波施加到物体的表面，该物体包括由中间压焊层固定到第二材料上的第一材料；图2示出了当将来自图1的显微镜的波施加到具有足以产生充分分离的主和次回波的厚度的压焊层的器件时所产生的主和次回波；图3示出了在已经将图2中所示的主和次回波数字化为相应时间序列之后的这些回波；图4示出了从图3中所示的时间序列中提取的主和次回波数字模型；图5示出了当物体包含其厚度薄到以至于主和次回波彼此重叠的压焊层时，从图1的物体返回的主和次回波；图6示出了作为示波器所接收到的、示波器实际显示的图5的主和次回波；图7示出了图6的信号，该信号被数字化为时间序列；图8示出了图7中所示的时间序列是如何通过图4中所示的主回波的数字模型被匹配滤波的；图9是示出本发明的优选过程的流程图，该过程用于确定产生不可区分的主和次回波的压焊层的厚度；和图10是概括的过程的流程图，该过程用于确定产生不可区分的主和次回波的压焊层的厚度。
图1示意地示出耦合到提供有示波器显示器22的计算机21的通过商业方法可获得的声学显微镜10。将显微镜10设计为发射声波11到层化的物体12，并且接收和处理从其反射的回波。层化的物体12例如包括诸如SiSiC之类的第一材料所形成的上层14，其通过由例如诸如热贴(thermal paste)之类的压焊材料所形成的中间压焊层15被固定到例如硅形成的下层16。更具体地说，压焊层15以上层14的下表面19形成反射或者回波界面17，以下层16的上表面20形成随后的反射或者回波界面18。当将声波施加到物体12时，声波从两个界面17和18的每一个反射，如图2所示。下面将这种反射波称为回波。因此，第一或者主回波25从第一或者上界面17反射，而次回波26从第二或者下界面18反射。当由足够厚的压焊层分离界面17和18时，回波25和26被较大地分离，而且形成如图2中所示的信号28的区别部分。因为回波25和26较大地分离，所以它们彼此可以清楚地区分。应该理解，在该图2中，极性是示例性的，而且信号25和26的幅度和时间位置没有进行定标。
更普通地，可以通过将任何时变驱动力施加在层化物体12上来产生回波25和26，即不必是声波11。
现在使用计算机20以将模拟声学信号28转换或者数字化为如图3所示的数字时间序列，其中信号31和32分别是数字化形式的信号25和26。该时间序列30具有在时间上与每个点相关联的幅度或者电压。可以使用现有技术中已知的许多技术中的任何一种来执行这种信号的数字化。
现在可以通过从如图4中所示的经数字化的信号中截取数据，而将数字化时间序列30的独立部分31和32容易地分离为相应的数字信号模型31a和32a。
在图3中以r[n]表示的数字化时间信号30标识由整数n所索引的时间序列，从而数据r
在节点34与初始时间t0处的信号幅度对应，而对于数字化过程中的采样周期Δt，r[n0]在图3中的节点34a处与时间t0+n0Δt处的信号幅度对应。因此，在图3、4、7和8中，将关于它们的整数时间索引绘制数字化的时间序列。如上面所定义的那样，下面将使用方括号来标识由整数所索引的时间序列。假设r[n]包含L个数据点的全部。因此，将图2的较好分离的回波25和26转换为r[n]的两个不同的数字化的、独立的子序列或者子时间序列31和32，它们分别对应于图2的主和次回波25和26。
数字化的信号模型31与主回波25对应，而数字化的信号模型32与次回波26对应。现在可以从图3的数字化的时间序列30中截取这些信号。应该记住，已经从压焊层中获得了这些数字化的模型，该压焊层足够大以至能够完全将主和次回波彼此区分(如图2中所示)，即，这些回波在时间上不重叠。因此，将图4中的截取的数字化的主回波31a以n＝0、1、2、...、N-1和某个固定的a表示为p[n]＝r[a+n]，这与图9中的步骤92对应，同时在图4中，将数字化的次回波32a以n＝0、1、2、...、M-1和某个固定的b表示为s[n]＝r[b+n]，这与图9中的步骤93对应。N和M分别是主和次回波的长度。应该再次明确，p[n](图4的31a)和s[n](图4的32a)是图3的30 r[n]的子序列，其自身是图2中的信号28的数字表示。
应该理解，替代于带有较大压焊层15的物体12，在知道诸如组件12的各个层的密度和声阻之类的关键材料特性的情况下，也可以计算回波25和26的数字信号模型。进一步，可以用标准的去噪声(de-noising)技术选择性地处理数字化的回波31a和32a。例如，可以对数字化的回波31a和32a进行滤波以减少在各种频带中的噪声效应。而且还可以将从对相同部分的度量中或者从对多个不同部分的度量中所获取的一些与信号28类似的信号一起平均，以减少噪声效应和其他这种干扰。
当图1中所示的物体具有薄压焊层15时，从相应界面17和18通过示波器实际接收到的反射主回波36和反射次回波37将不能彼此区分，这是因为它们彼此重叠，如图5所示。
因为这些信号非常重叠，即，在时间中重叠，所以示波器22不能在它们之间进行区分并且不能将它们显示为独立的信号，而是将它们显示为一个单个的组合信号40，如图6中所示。因此，上述现有技术的分离技术不能被用于确定这样薄的压焊层的厚度。
根据本发明，显将描述方法和技术，用于在这种重叠的信号之间进行区分，从而可以确定产生这种不可区分的显示的薄压焊层的厚度。
更具体地说，本发明使用唯一匹配滤波技术，将在下面结合图7、8、9和10来描述这种技术，其中，图7示出图6的、被数字化为时间序列的信号；图8示出如何通过图4中所示的主回波的数字模型，对图6中所示的时间序列进行匹配滤波；图9是示出本发明的优选过程的流程图，该过程用于确定产生不可区分的主和次回波的压焊层的厚度；和图10是用于确定产生不可区分的主和次回波的压焊层的厚度的概括过程的流程图。
首先转到图6和图7，如之前所描述的，现在将图6中所示的所显示的信号40数字化，并且将该信号在图7中示出作为经数字化的时间序列40a。
图8示出匹配滤波算法，其将在这种情况中将主回波模型31a匹配到数字化的信号40a。如图8中所示，当主回波模型p[n]31a的开始位置n＝0与数字序列d[n]40a的如31b所示的n＝c对准时，匹配滤波函数应该被最大化，因此将指示之前不可区分的主回波的位置。
现在，当图1的压焊层15非常薄以至图5中所示的作为36和37的主和次回波重叠并且不能有效区分时，创建图6中所示的声学信号40，该信号将被数字化为图7的40a所示的时间序列并且被称为d[n]，令d[n]的长度被称为Z，信号d[n]的获取与图9中的步骤90对应。
(1.)将加性偏移添加到d[n]中使得几乎是0的数据远离回波。
(2.)在图9的步骤94，使用p[n]滤波d[n]以产生序列q[n] n＝0，1，2，....，Z-N 其中 q[n]现在是分离的时间序列，其包含与时间的每个点n对应的求和结果。例如，在图8中，当以信号40a d[n]重复时，在n＝0的位置处的主回波模型31a将产生大约等于0的q
值，这只是针对这种情况的例子。
(3.)在图9的步骤94，将q[n]最大化的索引c与d[n]中的主回波的位置相关。例如，在图8中，当以信号40a d[n]重复时，在位置31b处的主回波模型将产生在n＝c处的q[n]的最大值，这只是针对这种情况的例子。类似地，最大值q[c]与要应用于p[n]的定标相关以在d[n]中最佳地拟合主回波。注意，不必在q[n]的整个范围上计算最大值，而是可以在与可能物理地存在回波的位置的范围对应的子部分上进行计算。对于符号， c＝argmax1 q[n] qmax＝maxI q[n]＝q[c] 其中I是与被搜索的位置的范围对应的0、1、...、Z-1的子集。
(4.)在图9的步骤95，通过从d[n]中减去定标和时间偏移的回波p[n]获得新的序列u[n]
对于n＝0、1、...、Z-1，下面将u[n]称为经净化的时间序列。
(5.)在图9的步骤96，通过以与步骤3大部分相同的方式用s[n]滤波u[n]来获得次回波的位置以产生 n＝0，1，2，...，Z-M 将t[n]最大化的索引k在u[n]中与次回波的位置相关。注意，不必在t[n]的整个范围上计算最大值，而是在与可能物理地存在次回波的位置的范围对应的子部分上进行计算，对于符号， K＝argmaxJ t[n] 其中J是与被搜索的位置的范围对应的0、1、...、Z-1的子集。
两个回波之间的时间差，即，穿越时间，是从索引c和k的值中计算的T＝(k-c)Δt。通过对时间Δt进行采样来定标索引中的差以获得带有物理单位的时间差。使用下面等式 D＝VT/2 将该时间差T和压焊层15材料的纵向声音速度V用于获得压焊层厚度D。
现在对于本领域的技术人员应该很明显，可以对上面的过程进行变形。具体地说，上述优选实施方式仅仅是本专利申请所覆盖的更加普遍的方法的特殊情况。
图10是用于确定产生图5中所示的不可区分的主和次回波的压焊层的厚度的概括过程的流程图。
如图10中所示，首先构造主和次回波的数字模型100。可以从上述数据(图331a，32a)，从基于样本的特性的理论计算，或者两者的混合方式中计算这些模型。
然后从声学显微镜中获取和数字化数据。可以使用标准技术来对数据进行预处理以减少它们包含的任何噪声，例如图10中的101。
然后在这些方法中的一些变型也是可以的。
图10的第一种变型即步骤102通过直接同时寻找两个回波模型对数据的最佳匹配或者“拟合”来寻找主和次回波的时间位置。通过使用作为从显微镜和回波的模型获取的时间序列的参数(下面称为固有参数)和作为主和次回波的时间位置的参数(下面称为外来参数)以及任何数量的其他参数(下面称为可选外来参数)构建数值函数，来完成这项工作。在通过由数值函数的外部参数进行参数化的操作变换它们之后，该函数返回与所述时间序列和所述回波的模型的拟合优度有关的单个数。换句话说，外来参数和可选外来参数控制如何将主和次回波模型进行变换，以构建尽可能与数据时间序列相像的新时间序列。上面的数值函数计算单个数，即拟合优度，其度量数据时间序列和从回波的所变换的模型中构建的该新时间序列之间的距离。将拟合回波模型到数据时间序列称为通过对于上述数值函数改变外来参数或者可选外来参数将该距离最小化。
由外来参数所参数化的变换是主和次回波的时间平移。回波模型的时间平移是以与回波模型的新时间位置对应的固定量其原点在时间中的变化。
可选外来参数的例子包括每个回波的幅度、用于一起或者分离地改变每个回波的宽度的时间伸展系数、和用于添加到每个回波的任意偏移。这些可选外来参数是分别控制回波模型的下面变换的参数在回波时间序列中的每个数据的乘以恒定数(下面称为回波模型的幅度定标)、在回波时间序列中在与每个数据对应的时间上的点乘以恒定数(下面称为回波模型的时间搜索)、恒定数字相加于回波时间序列中的每个数据(下面称为回波模型的偏移)。
这种函数的例子可以是 其中d[n]是数据时间序列40a，

和

是分别表示主和次回波的模型的规范化的时间序列[假设

和

在定义它们的时间索引的范围之外为0]，ap和as分别是主和次回波的拟合幅度，而tp和ts分别是主和次回波模型的时间位置索引。Z是d[n]的长度。在本例中，d，

和

是对于函数的固有参数，而ap、as、tp和ts是外来参数。
然后使用计算机上的数值算法，关于所述外来参数将数值函数最小化。在该最小化期间可以允许外来参数仅仅在物理上允许的值的范围中变化。在上面例子中，该算法可以是Nelder-Mead算法。然后将所产生的时间位置索引之间的差用于在使用上述相同符号的情况下估计层厚度。
其中

和

现在分别表示最小化算法所返回的次和主回波的时间位置。
在上述例子中，如步骤102中所示，将主和次回波同时进行拟合。替代地，在步骤103，可以使用最小化函数以将单个回波模型拟合到不可区分的声学数字信号中。该回波最好是主回波，但是其也可以是次回波。使用与前面相同的定义，最小化函数的固有参数在这种情况下可以是从声学显微镜中获取的时间序列和用于回声模型的时间序列。外来参数需要包括回声的时间位置和幅度，以及任何数量的诸如加性偏移之类的其他参数。然后使用计算机上的数值算法关于所述外来参数将所述数值函数最小化。将拟合参数用于定位和定标回波模型，然后将其从数字化数据步骤104中减去。相减的结果是可以针对次回波的时间位置进行搜索的新的时间序列。使用峰值寻找方法(图10步骤105)或者使用其他最小化函数来执行该搜索以拟合和定位剩余的回波(图10步骤106)。最小化函数将针对固有参数具有所述新的时间序列和剩余回波的模型，而且将针对外来参数具有时间位置和剩余回波的幅度，以及任何数量的其他参数。如上所述，然后从两个回波的时间位置的差中估计压焊层厚度。
优选实施方式是该后一种方法的例子。使用匹配到主回波的滤波器p[]对d[]进行滤波来执行对主回波的第一最小化，产生时间序列q[]。然后从数据中减去定标和时间偏移的主回波以产生新的时间序列u[]。使用匹配于次回波的滤波器s[]对u[]进行滤波以执行最后的最小化。从作为第一最小化(c)所估计的主回波的时间位置中和从作为第二最小化(k)所估计的次回波的时间位置中，使用公式D＝V(k-c)Δt/2来估计压焊层厚度。
虽然优选实施方式包括物体12，其包括第一固态材料14(具有上表面19和下表面20)，该第一固态材料14通过与层14形成第一界面17和与层16形成第二界面18的压焊层固定到具有上表面18的第二材料16，但是可以有其他变型。例如，本发明还可以测量压焊到物体12的任何薄表面层，其中被压焊的材料是自由的，也就是，材料14是液态或者气态状态(例如，用于被浸泡的物体的水)。
现在完成了本发明的优选实施方式的描述。由于在不偏离这里所描述的本发明的范围的情况下，可以在上述过程中进行变型，所以在上面描述中包含的或者在附图中示出的所有内容都应该被理解为示例性的，而不是限制性的。因此，在不偏离所附权利要求中所陈述的本发明的精神和范围的情况下，其他的替代和变型对于本领域的技术人员来说是明显的。
权利要求
1.一种用于确定多层物体中的层的厚度的方法，包括步骤
选择物体，该物体包括具有下表面的第一层和具有上表面的第二层，该第二层的上表面经由第三层与所述第一层的下表面接触，该第三层与所述第一层的所述下表面形成第一界面并且与所述第二层的所述上表面形成第二界面；
施加波到物体，该波将使得主回波从所述第一界面反射而且次回波从所述第二界面反射；
检测和数字化所述主回波和所述次回波以产生包含所述回波两者的数字时间序列，
用作为所述数字时间序列的固有参数、主和次回波模型、和作为主回波和次回波的时间位置和幅度的外来参数，以及其他可选外来参数，来构建数值函数以产生用于量化所述回波模型的拟合优度的函数，
关于所述外来参数或所述可选外来参数将所述数值函数所量化的拟合优度进行最大化；
从主和次回波的时间位置之间的差中确定在层中的穿越时间，和
确定所述物体的层的厚度，其等于所测量的穿越时间的一半乘以在该层中的波速。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述回波模型通过以下步骤产生
选择与权利要求1的所述物体类似的第二物体；
所述第二物体具有所述第三层，该第三层具有足够的厚度使得当将波施加到该物体时，可在示波器上完全区分主和次回波；
将波施加到所述第二物体以使得主回波从所述第一界面反射而次回波从所述第二界面反射；
检测和数字化所述回波以产生包含两个回波的数字时间序列；
选择所述时间序列的两个子集，所述子集之一与对应于所述主回波的所述时间序列的部分对应而另一子集与对应于所述次回波的所述时间序列的部分对应；
使用所述子集以形成与主和次回波的表示对应的两个新的较短的子时间序列；
使用所述子时间序列作为主和次回波的模型。
3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括步骤
处理所述数字时间序列以从其中减少噪声。
4.根据权利要求2所述的方法，其进一步包括步骤
将任何数量的类似数字时间序列度量进行平均以减少噪声效应；
在所述回波模型产生之后，将两个所述子时间序列的第一和最后数据线性内插到0以减少边缘跃迁。
5.根据权利要求1、2、3或者4的方法，其中
在所述物体中的所述层之一是固态的。
6.根据权利要求1、2、3或者4的方法，其中
在所述物体中的所述层的两个是固态的。
7.根据权利要求1、2、3或者4的方法，其中
在所述物体中的所述层的三个是固态的。
8.根据权利要求1-7之一的方法，其中
所述所施加的波是声波。
9.一种用于确定多层物体中的层的厚度的方法，包括步骤
选择物体，该物体包括具有下表面的第一层和具有上表面的第二层，该第二层的上表面经由第三层与所述第一层的下表面接触，该第三层与所述第一层的所述下表面形成第一界面并且与所述第二层的所述上表面形成第二界面，以将第一层固定到第二层；
施加波到物体，该波将使得主回波从所述第一界面反射而且次回波从所述第二界面反射；
检测和数字化所述主回波和所述次回波以产生包含所述回波两者的数字时间序列，
用作为所述数字时间序列的第一固有参数、第一回波的第一模型、和作为所述第一回波的时间位置和幅度的第一外来参数，以及其他第一可选外来参数，来构建第一数值函数以产生用于量化所述回波模型的拟合优度的函数，
关于所述第一外来参数或所述第一可选外来参数将所述第一数值函数所量化的拟合优度进行最大化；
使用从所述最大化中获得的参数来变换所述第一模型；
从所述时间序列中减去所述经变换的第一模型以获得新的经净化的时间序列而不受所述第一回波的影响；
用作为所述经净化的时间序列的第二固有参数、第二回波的第二模型、和作为所述第二回波的时间位置和幅度的第二外来参数，以及其他第二可选外来参数，来产生用于量化所述第二模型的拟合优度的函数；
关于所述第二外来参数或者第二可选外来参数将所述第二数值函数所量化的拟合优度进行最大化；
从来自所述第一数值函数所量化的拟合优度的最大化和所述第二数值函数所量化的拟合优度的最大化分别获得的参数的、所述第一和第二时间位置之间的差的绝对值中，确定在层中的穿越时间；和
确定所述物体的层的厚度，其等于所测量的穿越时间的一半乘以该层中的波速。
10.根据权利要求9所述的方法，其中回波模型通过以下步骤产生
选择与权利要求1的所述物体类似的第二物体；
所述第二物体具有所述第三层，该第三层足够厚以至于当将波施加到物体时，在示波器上可完全区分主回波和次回波；
将波施加到所述第二物体以使得主回波从所述第一界面反射而次回波从所述第二界面反射；
检测和数字化所述回波以产生包含两个回波的数字时间序列；
选择所述时间序列的两个子集，所述子集用与对应于所述主回波的所述时间序列的部分对应而另一子集与对应于所述次回波的所述时间序列的部分对应；
使用所述子集以形成与主和次回波的表示对应的两个新的较短的子时间序列；
使用所述子时间序列作为主和次回波的模型。
11.根据权利要求9所述的方法，其还包括步骤
处理所述数字时间序列以从其中减少噪声。
12.根据权利要求10所述的方法，其还包括步骤
将任何数量的类似数字时间序列度量进行平均以减少噪声效应；
在所述回波模型产生之后，将两个所述子时间序列的第一和最后数据线性内插到0以减少边缘跃迁。
13.根据权利要求9、10、11或者12的方法，其中
在所述物体中的所述层之一是固态的。
14.根据权利要求9、10、11或者12的方法，其中在所述物体中的所述层中的两个是固态的。
15.根据权利要求9到14的方法，其中
在所述物体中的所述层中的三个是固态的。
16.根据权利要求9所述的方法，其中
将所述第一数值函数q[n]定义为下面等式
n＝0，1，2，....，Z-N
其中
其中d[n]是所述数字时间序列而p[n]是回波的模型；
所述第一数值函数所量化的所述最大化拟合优度应该涉及定位在q[n]的最大值处的时间位置c和幅度qmax；
将通过使用所述时间位置c和所述幅度qmax以时间平移和定标所述回波的所述模型p[n]控制所述变换步骤来使得qmax＝q[c]；
所述相减将涉及从所述时间序列d[n]中减去所述回波p[n]的所述经变换的模型，以获得新的经净化的时间序列u[n]，而不受所述回波的影响，通过下面等式控制
其中n＝0、1、....，Z-1，
将所述第二数值函数t[n]定义为下面等式
n＝0，1，2，...，Z-M
其中u[n]是所述经净化的时间序列，而s[n]是所述第二回波模型；
所述第二数值函数所量化的拟合优度的所述最大化应该涉及定位最大化t[n]的时间位置k；
所述穿越时间应该等于由所述索引c和k所确定的之间的绝对差乘以所述时间序列的采样时间。
17.根据权利要求9所述的方法，其中通过以下来实现所述第二数值函数所量化的拟合优度的最大化
使用峰值寻找算法从所述经净化的时间序列的最大偏移中估计在所述经净化的时间序列中的所述回波的时间位置。
18.根据权利要求9到17的方法，其中
所述施加的波是声波。
19.根据权利要求9所述的方法，其中
所述第一回波的第一模型是主回波模型；
所述第二回波的第二模型是次回波模型。
20.根据权利要求9所述的方法，其中
所述第一回波的第一模型是次回波模型，
所述第二回波的第二模型是主回波模型。
全文摘要
使用声学信号来测量压焊层的厚度的方法。该方法通过以下来实现将声波施加到层化物体，该声波使得从不同界面反射主回波和次回波；检测和数字化回波以产生数字时间序列，处理该数字时间序列以去除噪声；使用与主回波匹配的滤波器滤波该时间序列；定位经滤波的时间序列的最大值的时间位置和幅度；使用所获得的时间位置和幅度时间平移和定标主回波；从所述时间序列中减去主回波变换模型以获得经净化的时间序列；使用与次回波匹配的滤波器滤波所述经净化的时间序列；定位所述次回波滤波的时间序列的最大值的时间位置；从主和次回波的时间定位之间的差中确定穿越时间；和确定压焊层厚度，其等于所测量的穿越时间的一半乘以在压焊层中声波或者脉冲的速度。
文档编号H01L21/66GK101109628SQ200710112010
公开日2008年1月23日 申请日期2007年6月19日 优先权日2006年7月20日
发明者亚历山大·布兰德, 卡尔·萨瓦德, 朱利恩·西尔维斯特 申请人:国际商业机器公司