专利名称：功率金属氧化物硅场效应晶体管的制作方法
技术领域：
本发明涉及功率金属氧化物硅场效应晶体管(MOSFET)，更具体地，涉 及能使得单个源极向两个沟道提供电子并不同地改变源极和栅极之间接触面 积以最大化电流能力的功率MOSFET。
背景技术：
功率MOSFET是具有二氧化硅绝缘层作为氧化物绝缘层，通过氧化物绝 缘层与包括在半导体衬底中的发射源导电沟道隔离的栅极的场效应晶体管，并 需要用于充电或放电输入电荷的栅极输入脉冲电压。功率MOSFET比双极晶 体管消耗更少的功率。功率MOSFET进一步包括形成在半导体衬底中的源极、漏极、多个基区 (bodyregion)，以及形成在半导体衬底之上和/或上方的栅氧化物膜和栅极。 用于施加电信号的金属导线经由接触而电连接至源极、漏极和栅极的上侧。特别地，在功率MOSFET中，n+型层和iT型层形成在半导体衬底之上和/ 或上方，以及p型扩散区和n+型区域交替地形成在衬底的底表面和顶表面之上 和/或上方。栅极形成在衬底之上和/或上方一对n+型区域之间的p型扩散区与 插入在二者之间的绝缘层交叉的位置处，以及由玻璃涂覆的源极形成在衬底的 顶表面之上和/或上方使得p型扩散区和n+型区域相连接。由于漏极可以形成在衬底的底表面之上和/或上方，源区和漏区之间的沟 道可以纵向形成并可以通过栅极来控制。电极可以经由形成在衬底之上和/或 上方的栅焊盘和源焊盘引出使得栅极和源极与外部器件电连接。当电压施加在栅极上以及半导体衬底连接至地GND时，绝缘体和位于绝 缘体之上和/或上方和之下的电极构成电容器。当正(+)电压施加在栅极上时，
在栅极中形成正(+ )电荷以及在P型衬底中的绝缘体正下方形成负(-)电荷。 这时，在绝缘体两侧形成的正(+ )电荷和负(-)电荷的数量将相同。当施加 足够的电压时，通路诸如沟道可通过负电荷形成在两个N"型(源极和漏极) 区域之间。当电压施加在漏极的情形下，电流沿着沟道流动。然而，当栅电压 终止时，沟道消失，并由此，电流不流动。因此，即使当恒定电压连续施加在 漏极时，漏极中流动的电流可以通过调节施加在栅极上的电压来调节。如实施例图1A和图1B所示，功率MOSFET可包括由栅极2包围并绝缘 的单元或基极(body) 1。基极1可从半导体表面分离以防止其变化的电势。 基极1和总面积之间的比率是较大的。因此，基极1的面积使器件需要高电流 驱动能力显著增加。由于单个源极3向栅极2供应电子，栅极2和源极3之间 的接触部分可以较小，并由此，电流驱动效率降低。发明内容本发明实施方式涉及功率金属氧化物硅场效应晶体管(MOSFET)，其能 使得单个源极向两个沟道提供电子并不同地改变源极和栅极之间的接触面积 以最小化电流能力，增加栅极和源极之间的接触面积以增加沟道宽度，同时占 有单元区域(芯片)的较小面积，和防止源极和基区之间的正向偏置，以及通 过防止栅极处的突然变化来防止碰撞电离生成。根据本发明实施方式，功率金属氧化物硅场效应晶体管(MOSFET)包括 半导体衬底；设置在半导体衬底之上的多个栅极；在半导体衬底表面上方和邻 近多个栅极处组成阵列的多个基区；以及围绕并延伸在相邻的基区之间的多个 源极间连接图案，用于向多个栅极提供电流，其中源极间连接图案具有延伸至 多个栅极的接触区域的预定几何图案，所述源极间连接图案每个包括非线性图 案。在相邻的基区之间延伸的每个非线性图案的一部分包括从第一基区延伸 的第一延伸部分；沿朝多个栅极其中之一的接触区域的方向从所述第一延伸部 分基本垂直延伸的第二延伸部分；沿朝第二基区方向从所述第二延伸部分基本 垂直延伸的第三延伸部分；沿朝所述多个栅极其中之一的接触区域方向从所述 第三延伸部分基本垂直延伸的第四延伸部分；从所述第四延伸部分基本垂直延 伸并与所述第二基区部分接触的第五延伸部分。每个互连图案包括多个弯曲部 分。所述多个弯曲部分其中之一每个是削角。每个削角成约45度角度倾斜。 其中，围绕所述基区的所述源极间连接图案的一部分具有基本三角形形状、基 本矩形形状、基本正弦形状。在相邻基区之间延伸的所述源极间连接图案包括 在相邻基区之间线性延伸的第一延伸部分和朝所述多个栅极方向从所述第一 延伸部分基本垂直延伸的第二延伸部分。其中所述第二延伸部分的每个末端具 有基本矩形形状、基本三角形形状；所述第二延伸部分的每个末端是截锥形从 而它们不形成直角。在相邻基区之间延伸的所述源极间连接图案包括在相邻基 区之间线性延伸的第一线性延伸部分和朝所述多个栅极方向从所述第一延伸 部分基本垂直延伸的至少两个平行延伸部分。所述至少两个平行延伸部分的每 个末端具有基本矩形形状、基本三角形形状。所述至少两个平行延伸部分的每 个末端是截锥形从而它们不形成直角。所述多个源极间连接图案由n+型掺杂剂 形成。根据本发明实施方式，功率金属氧化物硅场效应晶体管(MOSFET)包括 半导体衬底；设置在所述半导体衬底之上的多个栅极；在所述半导体衬底之上 和相邻所述多个栅极处组成阵列的多个基区；以及围绕并延伸在相邻基区之间 的多个源极间连接图案，用于向所述多个栅极提供电流，其中在相邻基区之间 延伸的所述源极间连接图案的一部分包括相邻基区之间线性延伸的第一线性 延伸部分和朝所述多个栅极方向从所述第一延伸部分基本垂直延伸的至少两 个平行延伸部分。据本发明实施方式，功率金属氧化物硅场效应晶体管(MOSFET)包括半 导体衬底；设置在所述半导体衬底之上的多个栅极；在所述半导体衬底之上和 相邻所述多个栅极处组成阵列的多个基区；以及围绕并延伸在相邻基区之间的 多个源极间连接图案，用于向所述多个栅极提供电流，其中在相邻基区之间延 伸的所述源极间连接图案一部分具有基本正弦形状。
实施例图1A和图1B示出了功率M0SFET;实施例图2A-2B到图8A-8B示出了根据本发明实施方式的功率MOSFET。
具体实施方式
如实施例图2A所示，功率MOSFET包括由n+型掺杂剂形成的源极间连
接图案15，用于在单个方向上电连接第一基区13和第二基区14，以致每个基 极不通过栅极隔离。如实施例图2B所示，在沿着图实施例图2A的线B-B'提取的部分中，在 n+型半导体衬底中，p型基区16可以隧道的形式形成在n+型区域和漂移区域 之间。由于一对栅极ll、 12的接触区域，其电接触源极间接触图案15的侧面 和与第一基区13和第二基区14连接的n+型区域，可显著增加源极间连接图案 15两侧的电流。因此，每功率MOSFET单位面积的电流能力可进一步增强。如实施例图3所示，根据实施方式功率MOSFET可包括用于电连接第一 基区23和第二基区24的源极间连接图案25，从而大电流可以在具有小面积 的沟道中流动。具有基本矩形图案的源极间连接图案25向第一栅极21和第二 栅极22提供电子从而利于功率MOSFET的高电流能力。源极间连接图案25 可延伸至由第一栅极21和第二栅极22占有的区域。特别地，第一基区23和 第二基区24之间的电连接可包括线圈或迂回或非线性图案，而不是线性图案， 从而减少总占有面积。第一栅极21和第二栅极22的接触面积可增加，并由此 可有效地增加沟道宽度。源极间连接图案25可包括具有在其弯曲部分之间的单个外部拐角的矩形 形状，具有在其弯曲部分之间的两个外部拐角的矩形图案，以及没有拐角的正 弦形状的至少其中之一。非线性图案的数量，即，已改变的通路的数量，可以 是一个或至少两个。所述源极间连接图案25的形状可以根据MOSFET的至少 一个特征、衬底的面积和形成在晶片上的MOSFET的总量而选择性应用。如实施例图4所示，根据实施方式功率MOSFET可包括增加源极间连接 图案25的长度的整体结构。当在位于接近第一基区23和第二基区24之间的 中间发生碰撞电离时，空穴流向位于硅衬底表面中的基极的通路的长度增加。 碰撞电离可以发生在整个源极间连接漏区或邻近基极处。如果基极的电压增 加，则存在正向偏置施加在源极和基极之间的问题。因此，源极间连接图案 25的长度应当增加的范围为防止与所述非线性图案相关的回跳(snap back) 现象。如实施例图5所示，根据实施方式功率MOSFET可包括源极间连接图案 35，其具有横向延伸的锯齿状或交叉型图案，该横向延伸从朝第一栅极31和 第二栅极32连接至第一基区33和第二基区34的线性通路的相同位置处垂直
延伸。由于基极和碰撞电离发生的区域之间縮短的距离以及回跳和源极与基极 之间正向偏置减少的可能性，因此所述几何图案是有利的。延伸部分的数量可以是一个或至少两个。结构设计上的所述变化可以根据MOSFET的特征、衬 底的面积和形成在晶片上的MOSFET的数量而选择性应用。如实施例图7A和图7B所示，由于大电场C施加在漂移区，因此在源极 间连接图案35中可能易于发生碰撞电离。因此，如果区域存在于集中的电场 中，则需要其反措施。如实施例图8A所示，根据实施方式，功率MOSFET包括源极间连接4 图案5，其具有含截顶的拐角的延伸部分，从而直角不形成在第一栅极41和 第二栅极42和源极间连接图案45之间。如实施例图8B所示，具有锯齿型结构的源极间连接图案55的延伸部分 的端部是截锥形(truncated)从而直角拐角不形成在第一栅极41和第二栅极 42和源极间连接图案55之间。如实施例图8A和图8B所示，通过形成削角 (chamfer) 46和56来减小电场的密度是可能的从而防止第一栅极41和第二 栅极42的拐角的角度突然变化。根据实施方式，通过增加多个栅极和源极之间的接触面积甚至占有单位区 域(芯片)中的较小面积来增加沟道宽度而增加电流效率是可能的。还可防止 由于增加栅极和基极之间的接触面积而由此增加沟道宽度的结构导致源极和 基极之间正向偏置的产生。可通过增加栅极和源极之间的接触面积以增加沟道 宽度而防止栅极的结构突然改变来防止碰撞电离。虽然在此描述了本发明的实施方式，但应当理解本领域的技术人员在可以 设计将落入本公开的原理的精神和范围内的各种其它改进和实施方式。更具体 地，在所公开的本发明、附图和所附权利要求书范围内可以对主题的组合部件 和/或设备进行各种变型和改进。对于本领域的技术人员来说除部件和/或设置 的变型和改进外，显然还可使用替代实施例。9
权利要求
1.一种装置，包括半导体衬底；设置在所述半导体衬底之上的多个栅极；在所述半导体衬底之上和相邻所述多个栅极处组成阵列的多个基区；以及围绕并延伸在相邻基区之间的多个源极间连接图案，用于向所述多个栅极提供电流，其中所述源极间连接图案具有延伸至所述多个栅极的接触区域的预定几何图案。
2. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述源极间连接图案每个 包括非线性图案。
3. 根据权利要求2所述的装置，其特征在于，在相邻的基区之间延伸的 每个非线性图案的一部分包括从第一基区延伸的第一延伸部分；沿朝多个栅极其中之一的接触区域的方向从所述第一延伸部分基本垂直 延伸的第二延伸部分；沿朝第二基区方向从所述第二延伸部分基本垂直延伸的第三延伸部分；沿朝所述多个栅极其中之一的接触区域方向从所述第三延伸部分基本垂 直延伸的第四延伸部分；从所述第四延伸部分基本垂直延伸并与所述第二基区部分接触的第五延 伸部分。
4. 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，每个互连图案包括多个弯 曲部分。
5. 根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述多个弯曲部分其中之 一每个是削角。
6. 根据权利要求5所述的装置，其特征在于，每个削角成约45度角度倾斜。
7. 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，围绕所述基区的所述源极 间连接图案的一部分具有基本三角形形状。
8. 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，围绕所述基区的所述源极 间连接图案的一部分具有基本矩形形状。
9. 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，围绕所述基区的所述源极 间连接图案的一部分具有基本正弦形状。
10. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在相邻基区之间延伸的所 述源极间连接图案包括在相邻基区之间线性延伸的第一延伸部分和朝所述多 个栅极方向从所述第一延伸部分基本垂直延伸的第二延伸部分。
11. 根据权利要求io所述的装置，其特征在于，所述第二延伸部分的每 个末端具有基本矩形形状。
12. 根据权利要求IO所述的装置，其特征在于，所述第二延伸部分的每个末端具有基本三角形形状。
13. 根据权利要求IO所述的装置，其特征在于，所述第二延伸部分的每 个末端是截锥形从而它们不形成直角。
14. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在相邻基区之间延伸的所 述源极间连接图案包括在相邻基区之间线性延伸的第一线性延伸部分和朝所 述多个栅极方向从所述第一延伸部分基本垂直延伸的至少两个平行延伸部分。
15. 根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述至少两个平行延伸 部分的每个末端具有基本矩形形状。
16. 根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述至少两个平行延伸 部分的每个末端具有基本三角形形状。
17. 根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述至少两个平行延伸 部分的每个末端是截锥形从而它们不形成直角。
18. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个源极间连接图案 由n+型掺杂剂形成。
19. 一种装置包括 半导体衬底；设置在所述半导体衬底之上的多个栅极；在所述半导体衬底之上和相邻所述多个栅极处组成阵列的多个基区；以及 围绕并延伸在相邻基区之间的多个源极间连接图案，用于向所述多个栅极 提供电流，其中在相邻基区之间延伸的所述源极间连接屈案的一部分包括相邻 基区之间线性延伸的第一线性延伸部分和朝所述多个栅极方向从所述第一延 伸部分基本垂直延伸的至少两个平行延伸部分。 20. —种装置，包括 半导体衬底；设置在所述半导体衬底之上的多个栅极；在所述半导体衬底之上和相邻所述多个栅极处组成阵列的多个基区；以及围绕并延伸在相邻基区之间的多个源极间连接图案，用于向所述多个栅极 提供电流，其中在相邻基区之间延伸的所述源极间连接图案一部分具有基本正 弦形状。
全文摘要
本发明公开了一种功率金属氧化物硅场效应晶体管，其中源极彼此连接，单个源极向两个沟道提供电子，使所述源极和沟道之间的接触表面不同变化以最大化从而大电流在小面积中流动，以及电场不会朝栅极边缘集中。
文档编号H01L27/088GK101165899SQ200710162860
公开日2008年4月23日 申请日期2007年10月16日 优先权日2006年10月16日
发明者沈揆光, 秋庚兑, 金钟玟 申请人:东部高科股份有限公司