专利名称：容器及其锁固机构的金属致动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种容器的改良，特别涉及容器的锁固装置，可承受 多次机台操作而不产生结构上的损伤。
背景技术：
现代的先进晶片代工厂(foundry)或半导体制造厂(Fab.)，在晶片 (wafer)制造技术上不断地突破，现已达到90纳米以下的制造工艺，随着 制造工艺线宽(fine line)的的縮小与元件积集度(integration)的提高，单位晶
片内可制造的元件数目增加。但是这些高积集度的半导体元件对于污染物 的容忍度下降，即便是极微量的污染物(微粒、粉尘或有机物等)都会导致 元件的缺陷以及电性失效，造成损失。
在一般的半导体制造工艺中，都提供无尘室(cleanroom)的环境以避免 空气中的微粒污染^半导体元件运送的过程也必须避免污染，因此需要 一个提供保护的容器(container)，避免污染半导体元件的承载装置。
为了有效降低半导体元件在运送或储存时可能会造成的伤害，目前有 许多技术针对容器中的结构以及锁固装置进行改良，希望可以提高对承载 物件的保护。
在标准机械界面(Standard Mechanical Interface)的作业系统中，机台的 插梢会插入锁固装置中的致动件，用以进行容器开阖的操作。第 US4995430号美国专利所示的致动件，是以塑胶(plastic)为材质，由于塑 胶的刚性不足，当致动件被多次使用后，非常容易在插梢插入时破裂，造 成锁固装置失效，从而危及内容物的安全。在考虑到锁固装置需要有较佳的刚性，必须足以承受多次开阖不致破 裂，本实用新型提供一种具有足够刚性的锁固装置，可承受多次开阖的操作。
实用新型内容
基于前述公知容器的锁固装置无法克服长期使用造成的破裂，本案也 提出一种实用新型的容器锁固装置。
本实用新型的目的在于提供一种可供物件保存或传送的容器，其中的 锁固机构可避免污染物质进入容器内。
本实用新型的另一目的在于提供一种可供物件保存或传送的容器，其 中的锁固装置可承受多次使用而不致破裂或产生结构损伤。
本实用新型的又一目的在于提供一种可供标准机械界面使用的容器， 可配合既有的标准机械界面规格。
本实用新型提供的是一种容器，包含:盒体，具有内部区域；门体，与 盒体接合，门体可隔绝内部区域与外在环境；以及至少一个锁固装置，设 置于门体内，其中锁固装置包括:至少一个金属致动件，具有隆起压板及第 一导引构造，其中第一导引构造为一对凸起柱状中空结构；以及至少一个 锁固件，具有第一端、第二端及第二导引构造，其中第二导引构造位于第 一端且第二端与金属致动件连接；借此，当金属致动件旋转时，第一导引 构造牵动位于锁固件的第一端边缘的第二导引构造，使得锁固件向外滑 动，则固定片插入门体的第一开口。当致动件继续旋转，隆起压板系压迫 锁固件的第一端，使位于第二端的固定片抵靠容器的盒体，使其接合。
本实用新型提供的是一个具有门体与盒体的容器，可以应用在标准机 械界面系统上，(例如晶片盒或光罩盒)，其特征在于:盒体具有内部区域与 至少两个接合面；门体，与盒体接合，门体边缘设置多个第一开口，门体 可隔绝内部区域与外在环境；至少两个锁固装置设置在门体内，分别具有 第一端及第二端，其中第一端设有第二导引构造及第二端设有固定片；及 至少一个金属致动件，具有第一导引构造及隆起压板，其中第一导引构造系为一对凸起柱状中空结构。本实用新型的容器，其门体与盒体的接触面设有弹性装置，可提供门 体与盒体接合时保持密封。其中容器的门体有多个开口，门体内设置有金属致动件与锁固件；金属致动件的材质，例如铝合金或镁合金；金属致动 件设有多个隆起压板及第一导引构造；第一导引构造可为中空柱状体结 构，可接受配合机台插梢的插入，带动金属致动件进行转动，并控制其转 动方向。锁固件的第一端设有弓形第二导引构造，第二端设有多个固定片。 当该金属致动件旋转时，第二导引构造沿第一导引构造相对滑移，促使固 定片先行滑移插入门体的第一开口，该锁固旋钮继续旋转使隆起压板下压 锁固件第一端，牵动锁固件第二端，并使固定片抵靠容器的门体与盒体。另外也可在门体内增设制动装置，包括突起阻挡物与金属弹性片，将 阻挡物设于门体上，当锁固件滑动至突起物边缘时则无法继续滑移，可以 限制锁固件滑动范围；金属弹性片则连接锁固件与门体，利用金属片的弹 性提供滑动方向改变时的助力。
图1A为显示本实用新型较佳实施例的晶片盒门体及盒体的立体图；图1B为显示图1A的晶片盒门体及盒体的结合立体图；图2为显示本实用新型较佳实施例的锁固机构设置示意图；图3为显示本实用新型较佳实施例的容器锁固装置示意图；图4A为显示本实用新型较佳实施例的金属致动件立体图；图4B为显示图4A的B-B截线剖面图；图5为显示本实用新型另一较佳实施例的锁固机构设置示意图。主要元件标记说明100晶片盒 102 门体104盒体 105 晶舟106门体 110a 第一开口106 门体110a第一开口
110b第二开口200锁固装置
210金属致动件212第一导引构造
214 隆起压板220锁固件
222第二导引构造2234山 第一辆
224固定片226孔洞
230制动装置232阻挡物
234金属弹性片
具体实施方式
本实用新型的实施方式是以半导体容器为例进行说明，但是任何 必须保持洁净或密封的应用，例如医学治疗用品、生化用品或光学仪 器，均属本实用新型的应用范围。
请参照图1A与图1B，图中所代表为晶片盒100的示意图，其包 含门体102与盒体104，门体102与盒体104接触面设置弹性装置(例 如O环，或是不易产生污染微粒的弹性物)，可保持门体102与盒体 104接合时的密封状态。门体102上可增设导电基板，也可增设金属 内衬于盒体104内部，金属内衬与导电板皆具备电荷导出的功能，可 以达到电荷屏蔽的效果，避免静电对内容物造成破坏。
如图2所示，设置锁固装置200于门体102内，可使门体102与 盒体104锁固接合，使盒体内稳定且安全放置多个晶片。
参照图2与图3，此锁固装置200主要包含有金属致动件210与 两个锁固件220。金属致动件210可以是铝合金或镁合金所组成，另 外也可在外层包覆低挥发性的高分子材料，例如聚醚醚酮或聚酰亚铵 类化合物，则可以使金属致动件210的刚性提高，并且通过高分子材 料的包覆，降低金属微粒的产生；锁固件220可以由高分子材料或刚 性较佳的金属所构成，或可在金属外层包覆高分子材料(例如聚醚醚酮或聚酰亚铵类化合物)。
金属致动件210较佳设计为凸轮状具有隆起压板214(示于图4A) 的结构，隆起压板为一坡道，并设有第一导引构造212，此第一导引 构造212是一对凸起柱状中空结构(参照剖面图图4B)，当与配合机台 连结时，该机台至少一个插梢(通常是两个)插入该第一导引构造212 的中空结构内，从而控制该金属致动件210的转动方向，并带动金属 锁固旋扭转动。当此金属致动件210旋转时，第一导引构造212会牵 动位于锁固件220第一端边缘的弓型第二导引构造222(示于图3)， 使锁固件220向外滑移，则固定片224插入门体102的第一开口 110a (示于图1A)。金属致动件210继续旋转，隆起压板214压迫锁固件 220的第一端223，致使位于第二端的固定片224抵靠容器100的盒 体104，使其气密。若反之而行，则松开门体102与盒体104的结合。
根据本实用新型另一较佳实施例，参照图5，另外可增设制动装 置230设置于门体106内部与锁固件220卡合，制动装置230包括阻 挡物232与金属弹性片234，阻挡物232设置于门体106上与锁固件 220的孔洞226卡合，当锁固件220被推动滑移时，阻挡物232会限 制锁固件220的移动范围；金属弹性片234 —端连接锁固件220与另 一端连接于门体106，当滑动方向改变时，其弹性可提供锁固件220 收回的助力。
根据本实用新型又一较佳实施例，另外可于门体内增设制动装 置，包括突起阻挡物与金属弹性片，将阻挡物设于门体上，当锁固件 滑动至突起物边缘时则无法继续滑移，可以限制锁固件滑动范围；金 属弹性片则连接锁固件与门体，利用其弹性提供滑动方向改变时的助力。
增设制动装置230设置于门体106内部与锁固件220卡合，制动 装置230包括阻挡物232与金属弹性片234，阻挡物232设置于门体 102上与锁固件220的孔洞226卡合，当锁固件220被推动滑移时， 阻挡物232会限制锁固件220的移动范围；金属弹性片234 —端连接锁固件220与另一端连接于门体106，当滑动方向改变时，其弹性可 提供锁固件220收回的助力。
综上所述，本实用新型的容器锁固装置除了能够让容器可靠的被 锁固，还能够免除前述存在于公知技术中的问题，而具有下列优点， 本实用新型的容器锁固装置使用了金属致动件，金属致动件具有良好 的刚性，可以承受配合机台插梢多次插入旋转而不致断裂损伤，避免 产生粉尘，更进一步延长使用寿命。
以上，本实用新型已通过实施例及其相关附图而清楚载明。然而， 所属技术领域的技术人员当了解的是，本实用新型的各个实施例在此 仅为例示性而非为限制性，也就是，在不脱离本实用新型实质精神及 范围之内，上述所述及其各元件的变化例及修正例均为本实用新型所 涵盖。因此，本实用新型应以权利要求所加以界定。
权利要求1. 一种容器，其特征在于，包含 盒体，具有内部区域；门体，与盒体接合，该门体可隔绝该内部区域与外在环境； 至少一个锁固装置，设置于门体内，其中该锁固装置包括至少一个金属致动件，具有隆起压板及第一导引构造，其中该第一导 引构造为一对凸起柱状中空结构；以及至少一个锁固件，具有第一端、第二端及第二导引构造，其中该第二 导引构造位于该第一端且该第二端与该金属致动件连接；借此，当金属致动件旋转时，第一导引构造牵动位于锁固件的第一端 边缘的第二导引构造，使锁固件向外滑动，则该固定片插入该门体的第一 开口。该金属致动件继续旋转，该隆起压板压迫该锁固件的第一端，使位 于第二端的固定片抵靠容器的盒体，使其接合。
2. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于该金属致动件外层包覆高 分子材料。
3. 根据权利要求2所述的容器，其特征在于该高分子材料为聚醚醚酮 类化合物或聚酰亚铵类化合物。
4. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于该锁固件的材质为高分子 材料。
5. 根据权利要求4所述的容器，其特征在于该高分子材料为聚醚醚酮 类化合物或聚酰亚铵类化合物。
6. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于该锁固件的材质为金属外 层包覆高分子材料。
7. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于该金属致动件为凸轮。
8. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于该金属致动件的材质为铝合金或镁合金。
9. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于该容器为晶片盒或光罩
10. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于该门体与该盒体接触面 还设置弹性结构。
11. 一种容器，其特征在于，包含 盒体，包含内部区域以及至少两个接合面；门体，与盒体接合，门体边缘设置多个第一开口，该门体可隔绝该内 部区域与外在环境；至少一个金属致动件，具有第一导引构造及隆起压板，其中该第一导 引构造系为一对凸起柱状中空结构；及至少两个锁固件位于门体内，分别具有第一端及第二端，其中该第一 端设有第二导引构造，及该第二端设有固定片；借此，当金属致动件旋转时，第一导引构造牵动位于锁固件的第一端 边缘的第二导引构造，使锁固件向外滑动，则该固定片插入该门体的第一 开口。该金属致动件继续旋转，该隆起压板系压迫该锁固件的第一端，使 位于第二端的固定片抵靠容器之盒体，使其接合。
12. 根据权利要求11所述的容器，其特征在于该锁固件的材质为铝合 金或镁合金。
13. —种容器，其特征在于，包含-盒体，具有内部区域；门体，与盒体接合，该门体边缘设置多个第一开口，该门体可隔绝 该内部区域与外在环境；以及至少一个锁固装置，设置于门体内，其中包括至少一个金属致动件，设置于门体内部，设有多个隆起压板及第一导 引构造；以及多个滑动片，具有第一端及第二端，该第一端设有第二导引构造，及第二端设有多个固定片；借此，该金属致动件旋转时，第二导引构造沿该第一导引构造相对滑移，促使该固定片先行滑移插入该第一开口，该金属致动件继续旋转使该隆起压板下压该滑动片的第一端，牵动该滑动片的第二端，并使该固定片 抵靠该容器的盒体，予以锁固。
14. 根据权利要求13所述的容器，其特征在于隆起压板为坡道。
15. 根据权利要求13所述的容器，其特征在于该第一导引构造为凸起 柱状中空结构，当此容器与配合机台连结时，该机台可以至少一个插梢插 入该第一导引构造的中空结构内，从而控制该第一导引构造的转动方向。
16. 根据权利要求13所述的容器，其特征在于该第二导引构造为滑动 片边缘的弓形结构。
17. 根据权利要求13所述的容器，其特征在于该盒体朝向该内部区域 的表面还设有金属内衬。
18. 根据权利要求13所述的容器，其特征在于该门体与该内部区域接 触面还设有导电基板。
19. 一种容器，其特征在于，包含 盒体，具有内部区域；门体，与盒体接合，该门体边缘设置多个第一开口，该门体可隔绝 该内部区域与外在环境；至少一个锁固装置，设置于门体内，其中包括至少一个金属致动件，设置于门体内部，设有多个隆起压板及第一导 引构造；以及多个滑动片，具有第一端和第二端，第一端设有第二导引构造及第二 端设有多个固定片；以及多个制动装置，设置于门体内部与滑动片卡合；借此，该金属致动件方定转时，第二导引构造沿该第一导引构造相对滑 移，促使该固定片先行滑移插入第一开口，该金属致动件继续旋转使该隆 起压板下压该滑动片的第一端，牵动该滑动片第二端，并使该固定片抵靠 该容器的盒体，予以锁固。
20. 根据权利要求19所述的容器，其特征在于该制动装置包括阻挡物 设于门体内，并与锁固件的孔洞卡合，且限制锁固件的移动范围。
21. 根据权利要求19所述的容器，其特征在于该制动装置包括金属弹 性片，连接滑动片与门体。
22. —种具有锁固件的金属致动装置，用以锁固容器，该容器包含盒 体以及门体，且该门体与盒体接合，该锁固机构设置于门体内，该致动装 置其特征在于，包含至少一个第一导引装置，为中空柱状结构；以及至少一个第二导引装置，当该金属致动装置被第一导引装置带动时， 该第二导引装置推动配合的锁固件进行锁固。
专利摘要本实用新型提供的是一种容器，包含盒体，具有内部区域；门体，与盒体接合，门体可隔绝内部区域与外在环境；以及至少一个锁固装置，设置于门体内，其中锁固装置包括至少一个致动件，具有隆起压板及第一导引构造，其中第一导引构造为一对凸起柱状中空结构；以及至少一个锁固件，具有第一端、第二端及第二导引构造，其中第二导引构造位于第一端且第二端与金属致动件连接；借此，当金属致动件旋转时，第一导引构造牵动位于锁固件的第一端边缘的第二导引构造，使得锁固件向外滑动，则固定片插入门体的第一开口。当金属致动件继续旋转，隆起压板系压迫锁固件的第一端，使位于第二端的固定片抵靠容器的盒体，使其接合。
文档编号H01L21/673GK201154782SQ200720150388
公开日2008年11月26日 申请日期2007年6月28日 优先权日2007年6月28日
发明者吕保仪 申请人:家登精密工业股份有限公司