磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法及专用供电装置的制作方法

文档序号:6934583阅读:178来源:国知局
专利名称:磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法及专用供电装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种供电方法,更具体地说,本发明涉及一种磁控溅射生产线中移动式回 架车的供电方法,同时,本发明还涉及一种该方法中用的专用供电装置。
背景技术
现有太阳能制造业内的磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置,包括借助相 互平行的两个导轨支撑回架车的台座,台座上有可将380v的工业用电降压至36v交流电 的降压器,降压器分别和两个导轨电导通联接,回架车上有承载玻璃基片的移动框架及移 动动力装置(至少包括四个可与两个导轨相适配的滚轮),回架车内有升压器、交流电机 及相应的控制电路,回架车通过滚轮设置在两个导轨上,每个导轨上至少有两个滚轮,导 轨和相应的滚轮电导通联接。这样,降压器、两导轨和相应的滚轮、控制电路、升压器、 交流电机之间构成电流的完整回路。另,为达到自动控制回架车移动速度和移动距离的目 的,台座上在导轨的两端分别设置减速和自停行程开关。当专用供电装置出现故障时,排 査难度大,维护修理耗费高;另外,降压器、升压器的价格昂贵,使得费用增高、生产成 本加大。
磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法为通过导轨、滚轮将36v交流电送到控 制电路,让升压器再将36v交流电转化为380v交流电,从而供予回架车内的交流电机使 用,以驱动回架车沿两个导轨作往复地直线移动,以及驱动移动框架作往复地直线移动。 该方法使得导轨和回架车始终处于带电状态,工人在操作时安全性差。

发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种供电安全的磁控溅射生产线中移动式回架车的 供电方法,同时,本发明要解决的另一技术问题是提供一种维护方便、成本低的磁控溅射 生产线中移动式回架车的专用供电装置。
为解决上述技术问题,本发明磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法,包括以下
工艺步骤
1) 在借助相互平行的两个导轨支撑回架车的台座上开有用来承载拖链的托槽,托槽
位于两个导轨之间处且其与导轨的走向相一致;
2) 将拖链活络地置于托槽内,在拖链中贯穿有电缆;3) 使拖链的一端与回架车连接、另一端与台座固接;
4) 使电缆的一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电 电源连接,从而将交流供电电源的电流直接供予回架车内的交流电机使用。
本发明方法中,在托槽靠近交流供电电源的一侧设有可遮盖拖链的非移动段的罩板。 所述磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法中用的专用供电装置,其结构为它
包括借助相互平行的两个导轨支撑回架车的台座,所述台座上在两个导轨之间处开有用来
承载拖链的托槽,托槽与导轨的走向相一致,拖链活络地置于托槽内,拖链中贯穿有电缆,
拖链的一端与回架车连接、另一端与台座固接,电缆的一端与回架车内的交流电机电连接、
另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。
所述托槽靠近交流供电电源的一侧设有可遮盖拖链的非移动段的罩板。 本发明方法通过贯穿于拖链中的电缆将交流供电电源的电流直接供予回架车内的交
流电机,避免了导轨及回架车外壳带电,使得供电回路的安全性能好,工人操作的安全性
大大提高,因此,本发明方法具有供电安全、安全性能高的优点。
本发明方法中用的专用供电装置采用活络置于托槽内的拖链式结构,由贯穿于拖链中
的电缆直接供电,省去了降压器、升压器及相应的控制电路,因此,本专用供电装置具有
维护方便、成本低的优点。


图1是本发明方法具体实施方式
的结构原理图及本发明方法中用的专用供电装置的 结构示意图2是图1的俯视图。
具体实施例方式
以下结合附图并通过下面给出的实施方式可以进一步清楚地了解本发明。但它不是对 本发明的限定。
参见图l、图2,本发明磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法,包括以下工艺
步骤
1) 在借助相互平行的两个导轨1支撑回架车2的台座8上开有用来承载拖链6的托 槽7,托槽7位于两个导轨1之间处且其与导轨1的走向相一致;
2) 将拖链6活络地置于托槽7内,在拖链6中贯穿有电缆3;
3) 使拖链6的一端与回架车2连接、另一端与台座8固接;4)使电缆3的一端与回架车2内的交流电机21电连接、另一端与设置在台座8上的 交流供电电源5连接,从而将交流供电电源5的电流直接供予回架车2内的交流电机21 使用,且在托槽7靠近交流供电电源5的一侧设有可遮盖拖链6的非移动段61的罩板4。
本发明方法的工作原理为通过贯穿于拖链6中的电缆3,将设置在台座8上的交流 供电电源5的电流直接供予回架车2内的交流电机21使用,这样,可驱动回架车2沿两 个导轨l作往复地左右直线移动。具体讲就是
当驱动回架车2沿导轨1向右移动时,拖链6与回架车2连接的左端、电缆3与回架 车2内交流电机21电连接的左端被回架车2带动也向右移动,使得拖链6和贯穿于拖链6 中的电缆3的左侧得以弯曲并从托槽7内被拉出,以致拖链6、电缆3的左侧大体呈开口 深度逐渐变大的横置U形,在回架车2向右移动且到位自停的过程中(附图中省略用于回 架车2的减速和自停行程开关),拖链6靠近交流供电电源5的右侧有一始终保持静止状 态的非移动段61 (即拖链6的非移动段61始终处于托槽7内,而不会从托槽7内被拉 出,故在托槽7靠近交流供电电源5的一侧设有可遮盖拖链6的非移动段61的罩板4);
当驱动回架车2沿导轨1向左移动时,拖链6与回架车2连接的左端、电缆3与回架 车2内交流电机21电连接的左端被回架车2带动也向左移动,使得拖链6和贯穿于拖链6 中的电缆3的左侧被重新放回到托槽7中,以致拖链6、电缆3的左侧大体呈开口深度逐 渐变小的横置U形,在回架车2向左移动且到位自停的过程中,拖链6靠近交流供电电源 5的右侧同样有一始终保持静止状态的非移动段61。
综上所述,在本发明方法中,采用拖链6,可对贯穿在其内的电缆3发挥保护作用, 避免电缆3损伤;采用托槽7,又可对拖链6及贯穿其内的电缆3进一步发挥保护、限位 的作用;采用罩板4,可对拖链6的非移动段61发挥保护、限位的作用。
参见图l、图2,本发明方法中用的专用供电装置,其结构为它包括借助相互平行 的两个导轨1支撑回架车2的台座8,所述台座8上在两个导轨1之间处开有用来承载拖 链6的托槽7,托槽7与导轨1的走向相一致,拖链6活络地置于托槽7内,拖链6中贯 穿有电缆3,拖链6的一端与回架车2连接、另一端与台座8固接,电缆3的一端与回架 车2内的交流电机21电连接、另一端与设置在台座8上的交流供电电源5连接,且托槽7 靠近交流供电电源5的一侧设有可遮盖拖链6的非移动段61的罩板4。罩板4的截面形状 大体为倒置的U形。罩板4可对拖链6的非移动段61加以保护、限位。
权利要求
1、磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法,包括以下工艺步骤1)在借助相互平行的两个导轨支撑回架车的台座上开有用来承载拖链的托槽,托槽位于两个导轨之间处且其与导轨的走向相一致;2)将拖链活络地置于托槽内,在拖链中贯穿有电缆;3)使拖链的一端与回架车连接、另一端与台座固接;4)使电缆的一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接,从而将交流供电电源的电流直接供予回架车内的交流电机使用。
2、 根据权利要求1所述的磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法,其特征在于-在托槽靠近交流供电电源的一侧设有可遮盖拖链的非移动段的罩板。
3、 权利要求1方法中用的专用供电装置,包括借助相互平行的两个导轨支撑回架车 的台座,其特征在于所述台座上在两个导轨之间处开有用来承载拖链的托槽,托槽与导 轨的走向相一致,拖链活络地置于托槽内,拖链中贯穿有电缆,拖链的一端与回架车连接、 另一端与台座固接,电缆的一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的 交流供电电源连接。
4、 根据权利要求3所述的专用供电装置,其特征在于所述托槽靠近交流供电电源 的一侧设有可遮盖拖链的非移动段的罩板。
全文摘要
磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法,为在借助两个导轨支撑回架车的台座上开有托槽,托槽位于两个导轨之间处且其与导轨的走向相一致;将贯穿有电缆的拖链置于托槽内;使拖链一端与回架车连接、另一端与台座固接;使电缆一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。该方法中用的专用供电装置的结构为它包括借助两个导轨支撑回架车的台座,台座上在两个导轨之间处开有与导轨走向相一致的托槽,贯穿有电缆的拖链置于托槽内,拖链一端与回架车连接、另一端与台座固接,电缆一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。该方法供电安全。该专用供电装置维护方便、成本低。
文档编号H01L31/18GK101645472SQ200910144599
公开日2010年2月10日 申请日期2009年8月18日 优先权日2009年8月18日
发明者海 刘, 张泽军, 彭为报 申请人:普乐新能源(蚌埠)有限公司
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