专利名称：太阳能硅片计数仪的制作方法
技术领域：
本实用新型属于硅片计数检测技术领域。
背景技术：
一般机器视觉系统主要包括信息探测、采集系统、图像处理、显示及智能决策等 模块，涉及计算机图形学、数字图像处理、视频信息处理、模式识别、人工智能理论、智能信 息处理等技术，可广泛应用于工业产品自动检测、航天、航空、遥感、卫星侦察、天文观测、通 讯、交通、电子、金融、医疗等图像采集、处理和决策的诸多领域。目前，由于太阳能硅片/电池片的厚度普遍控制在180微米左右(即0. 18毫米)， 正负误差20微米。当前的检测手段主要为人工抽检，数片，由于硅片相当薄且易碎，人为的 破片率较高，且生产效率不高，有时不能做到100%全检。本实用新型所述的计数仪通过对 机器视觉系统的改良及革新，可以制作出高分辨率的视觉捕捉系统，通过计算机信息处理 可以很快的计算出每叠硅片的数量，物理缺陷甚至厚度。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种太阳能硅片计数仪，用于提供一种在太阳能硅片生 产过程中进行硅片的快速、准确计数及边缘物理缺陷的在线检测仪器。一种太阳能硅片计数仪，其特征在于，该计数仪包括有如下组成部分光源，它是用于在双摄像头采集图像信息时，能够提供单色光线的单色发光物 体；数据处理中心，它是用来处理来自于双摄像头所采集的硅片的图像信息，并协调 该计数仪各个模块之间正常运行的结构；双摄像头，它是分别设置在硅片两侧，能够拍摄硅片侧面图像的摄像头结构；数据传输模块，它是设置在双摄像头与数据处理中心之间，用来传输二者之间数 据信息的模块结构；数据输出模块，它是设置在数据处理中心，用来将计数数据从数据处理中心输出 给显示屏进行显示的模块结构；显示屏，它是用来显示硅片计数结果的显示结构。进一步，所述的该太阳能硅片计数仪还具有如下技术特征所述的光源，应该对应着双摄像头有两个，来配套进行采集硅片的图像信息。所述的数据处理中心，它还包括有用于图像识别和灰度处理的间隔灰度处理模 块。所述的数据处理中心，它还包括有用于把图像灰度光谱峰值信息转换为电信号的 光电器件。所述的数据处理中心，它还包括有用于把模拟电信号转换为数字电信号的模数转 换模块。[0017]所述的双摄像头，它是两个黑白摄像头，作为典型举例可选择MC15系列黑白(XD。本实用新型的优点在于本实用新型所述的一种太阳能硅片计数仪，将视觉捕捉系统更灵活地引进并应用 到太阳能硅片生产领域。只需要稍微修改相应的硬件，配合加入相对应的软件，即可完成目 前已有的一些机器视觉系统进行改造，以适应实际太阳能硅片/电池片生产需求，提高生 产率。本实用新型硬件结构简单，成本低廉，配合相应软件，使得开发制造非常方便。该计 数仪可以代替人工记数，和常规的 估计算法。可以帮助太阳能电池片生产单位更有效地统 计电池片的生产，出货数量以及质量控制，从而提高了生产的效率和可控性。
图1是太阳能硅片计数仪的结构示意图。图2是太阳能硅片计数仪的原理框图。
具体实施方式
如前所述该太阳能硅片计数仪100，其特征在于，该装置包括有如下组成部分光源110，它是用于在双摄像头140采集图像信息时，能够提供单色光线的单色发 光物体；数据处理中心120，它是用来处理来自于双摄像头140所采集的硅片150的图像信 息，并协调该计数仪100各个模块之间正常运行的结构；双摄像头140，它是分别设置在硅片150两侧，能够拍摄硅片150侧面图像的摄像 头结构；数据传输模块200，它是设置在双摄像头140与数据处理中心120之间，用来传输 二者之间数据信息的模块结构；数据输出模块300，它是设置在数据处理中心120，用来将计数数据从数据处理中 心120输出给显示屏130进行显示的模块结构；显示屏130，它是用来显示硅片150计数结果的显示结构。进一步，所述的该太阳能硅片计数仪100还具有如下技术特征所述的光源110，应该对应着双摄像头140有两个，来配套进行采集硅片150的图 像信息。所述的数据处理中心120，它还包括有用于图像识别和灰度处理的间隔灰度处理 模块122。所述的数据处理中心120，它还包括有用于把图像灰度光谱峰值信息转换为电信 号的光电器件121。所述的数据处理中心120，它还包括有用于把模拟电信号转换为数字电信号的模 数转换模块123。所述的双摄像头140，它是两个黑白摄像头，作为典型举例可选择MC15系列黑白 CCD。图1、2的说明参图1、2中所示图中展示了该太阳能硅片计数仪100的主要结构，当在光源110配套的情况下，双摄像头140采集到硅片150的图像信息，通过数据传输模块200传输给数 据处理中心120，由数据处理中心120中的间隔灰度处理模块122进行图像识别和灰度处 理，并由光电器件121将图像灰度光谱峰值信息转换为电信号，然后再通过模数转换模块 123，将模拟电信号转换为数字电信号，即得到了硅片的数量，缺陷以及厚度等信息，并由数 据输出模块300，将得到的各种数据信息，输出给显示屏130进行结果显示。 以上是对本实用新型的描述而非限定，基于本实用新型思想的其它实施方式，均 在本实用新型的保护范围之 中。
权利要求一种太阳能硅片计数仪，其特征在于，该计数仪包括有如下组成部分光源，它是用于在双摄像头采集图像信息时，能够提供单色光线的单色发光物体；数据处理中心，它是用来处理来自于双摄像头所采集的图像信息，并协调该计数仪各个模块之间正常运行的结构；双摄像头，它是分别设置在硅片两侧，能够拍摄硅片侧面图像的摄像头结构；数据传输模块，它是设置在双摄像头与数据处理中心之间，用来传输二者之间数据信息的模块结构；数据输出模块，它是设置在数据处理中心，用来将计数数据从数据处理中心输出给显示屏进行显示的模块结构；显示屏，它是用来显示硅片计数结果的显示结构。
2.根据权利要求1所述的太阳能硅片计数仪，其特征在于所述的光源，应该对应着双 摄像头有两个，来配套进行采集图像。
3.根据权利要求1所述的太阳能硅片计数仪，其特征在于所述的数据处理中心，它还 包括有用于图像识别和灰度处理的间隔灰度处理模块。
4.根据权利要求1所述的太阳能硅片计数仪，其特征在于所述的数据处理中心，它还 包括有用于把图像灰度光谱峰值信息转换为电信号的光电器件。
5.根据权利要求1所述的太阳能硅片计数仪，其特征在于所述的数据处理中心，它还 包括有用于把模拟电信号转换为数字电信号的模数转换模块。
6.根据权利要求1所述的太阳能硅片计数仪，其特征在于所述的双摄像头，它是两个 黑白摄像头。
专利摘要本实用新型提供一种太阳能硅片计数仪，属于硅片计数检测技术领域，涉及在太阳能硅片生产过程中进行硅片的快速、准确计数及边缘物理缺陷的在线检测仪器。该太阳能计数仪包括有单色光源、数据处理中心、显示屏、数据传输模块、数据输出模块以及双摄像头等结构；具体采用双单色摄像头分辨技术，通过对硅片灰度分析，进行灰度波峰波谷的采样，以达到计数目的。该太阳能计数仪可以代替人工记数，和常规的估计算法。可以帮助太阳能电池片生产单位更有效地统计电池片的生产，出货数量以及质量控制，从而提高了生产的效率和可控性。
文档编号H01L21/00GK201570508SQ20092007328
公开日2010年9月1日 申请日期2009年6月2日 优先权日2009年6月2日
发明者崔宁平 申请人:上海圣微电子科技发展有限公司